고전력 애플리케이션을 위한 이상적인 진공 전기 전원 피드스루, 12,000볼트, 55A 1핀 니켈 도체, KF-40, UHV 정격, 450°C까지 구울 수 있음. 이 전원 피드스루는 KF-40 타입 진공 플랜지 피팅입니다. 니켈 전기 피드스루로, 스퍼터링, 코팅 및 기타 까다로운 재료 증착 응용 분야나 실험에서 가열 코일을 작동하기 위해 고진공 환경으로 고전압, 고전류 전력을 전달합니다. 이 견고한 KF40 니켈 전원 피드스루는 UHV 등급이며 450°C까지 가열 가능합니다.
일반적인 치수:
A = 7.25인치(184mm)
B = 2.14인치(54.4mm)
C = 1.00인치(25.4mm)
D = KF-40 플랜지, 2.16인치(54.8mm) 직경
E = 도체, 0.25인치(6.3mm) 직경
도체 재질: 니켈
피드스루(또는 진공 피드스루)는 다양한 형태로 제공되며, 진공 외부(공기 측)에서 진공 챔버 내부(진공 측)로 전류, 신호, 유체, 기체 또는 기계적 운동을 챔버 내 장비로 전달합니다. 피드스루의 입구는 적절한 관통 구멍을 통해 진공 밀봉되어야 합니다. 피드스루는 용접(용접)이 가능하거나 CF, KF 또는 ISO 진공 플랜지를 사용하여 진공 챔버에 연결할 수 있습니다.
CF 컨플랫 플랜지는 일반적으로 10-12 Torr까지의 초고진공 압력이 필요한 공정에 사용되며, 구리 개스킷이 있는 너트와 볼트로 진공 밀봉됩니다. 1.33인치(미니 컨플랫), 2.75인치, 4.5인치, 6인치, 8인치, 10인치, 12인치, 13.25인치, 14인치, 16.5인치의 외경으로 제공됩니다.
KF 또는 퀵 플랜지는 10-9 Torr까지의 고진공 압력에 사용되며 클램프와 엘라스토머 O-링을 통해 진공 밀봉됩니다. KF10, KF16, KF25, KF40, KF50 크기로 제공됩니다.
ISO 또는 대형 플랜지는 10-6 Torr까지의 높은 진공 압력에 사용되며, 너트와 볼트(볼트 구멍이 있는 플랜지의 경우) 또는 클로 클램프(매끄러운 면과 볼트 구멍이 없는 플랜지의 경우)를 사용하여 진공 밀봉됩니다. 진공 밀봉에는 엘라스토머 O-링을 사용합니다. 크기는 63mm, 80mm, 100mm, 160mm, 200mm, 250mm, 320mm, 400mm, 500mm, 630mm입니다. 모든 플랜지는 내식성 스테인리스강으로 제작됩니다.
피드스루는 수천 가지 종류가 있으며, 특정 진공 공정에 맞는 피드스루를 선택하는 것은 매우 어려울 수 있습니다. 요구 사항에 대해 궁금한 점이 있으시면 저희 전담 엔지니어에게 문의하시면 진공 공정에 적합한 피드스루를 찾으실 수 있도록 도와드리겠습니다. 505-872-0037로 전화해 주세요.
전력 피드스루는 대기(외부)에서 진공(내부)으로 전기를 전달하는 전기 피드스루의 한 유형입니다. 전력 피드스루에는 진공 장치 챔버 벽에 연결되는 하나 이상의 도체가 있습니다. 도체는 전기 절연체에 밀봉되어 있으며, 이 절연체는 진공 플랜지 또는 베이스플레이트를 통해 용접되거나 연결됩니다. 도체 금속은 와이어, 막대 또는 튜브 형태로 제공됩니다. 도체 재질은 전류, 내식성 및 자성을 기준으로 합니다. 선택 시 고려해야 할 사항은 작동 전압, 최대 전류, 기저 압력 및 작업 환경입니다. 전압이나 전류를 너무 낮게 지정하지 마십시오. 아크, 용융 또는 절연체 파손이 발생할 수 있습니다. 선택에 의문이 있으시면 언제든지 문의해 주십시오.
열전대: 열전대 피드스루는 다양한 온도 측정 공정에 사용되는 견고하고 비용 효율적인 온도 센서입니다. 서로 다른 금속으로 구성된 두 와이어의 양단을 연결하고 한쪽 끝을 가열하면 열전 회로에 연속 전류가 흐릅니다. 이 회로의 중앙이 끊어지면 순 개방 회로 전압(제벡 전압)은 접합 온도와 두 금속의 구성에 따라 결정됩니다. 즉, 두 금속의 접합부가 가열되거나 냉각되면 전압이 발생하고, 이 전압을 다시 온도와 연관시킬 수 있습니다. 열전대를 적절하게 구성하면 광범위한 온도 범위에서 측정할 수 있습니다.
한 쌍 이상의 전선을 포함할 수 있으며, 성형 플러그, 푸시온, 분리형 커넥터를 갖추고 있으며, 내부(진공) 또는 외부(대기)에 러그 또는 나사 커넥터를 가질 수 있습니다. 고려해야 할 사항은 온도 범위, 온도 위치 수, 피복 재질, 와이어 직경, 금속 종류, 그리고 동일한 피드스루 내의 전원 도체입니다. 다양한 금속으로 제작되어 온도 범위가 서로 다른 여러 유형의 열전대 피드스루가 있습니다. 선택에 어려움이 있으시면 언제든지 문의해 주세요.
수단: 계측 피드스루(다중핀 피드스루라고도 함)는 진공 벽을 통해 전기 신호 및/또는 저전력 애플리케이션을 전송합니다. 전자 현미경, 표면 분석, 반도체 공정 제어와 같은 계측 분야에 사용됩니다. 진공 벽의 내부(진공) 또는 외부(대기) 양쪽에 핀 또는 동축 커넥터가 있는 전기 커넥터로 구성될 수 있습니다. 선택 전에 고려해야 할 사항은 케이블 대 차폐 최대 전압, 차폐 대 접지 최대 전압, 신호 전압, 접지, 임피던스, 온도 범위, 연결 수, 커넥터 유형 등입니다. 주문 시 적합한 커넥터가 함께 제공되는지 확인하는 것이 매우 중요합니다. 다양한 유형의 계측 연결 피드스루가 있으니 궁금한 점이 있으시면 언제든지 문의해 주세요.
액체 또는 기체: 액체 또는 가스 피드스루는 진공 장착 장치 또는 챔버에 가스 또는 액체를 공급합니다. 이 가스 또는 액체는 진공 챔버 내에서 특정 온도를 유지할 수 있습니다. CF 또는 KF 플랜지 또는 베이스플레이트 포트 형태로 주문 가능하며, 관통 구멍에 하나 또는 여러 개의 튜브가 용접되어 플랜지/베이스포트 양쪽으로 튜브가 연장됩니다. 튜브는 다양한 직경을 가지며, 종종 작은 플랜지 또는 가스 피팅으로 마감됩니다. 장치 벽면의 사용하지 않는 플랜지와 맞는 플랜지, 피드스루 수, 튜브 직경, 피드스루 입구 포트 크기, 그리고 양쪽 구성품에 맞는 마감 처리 등을 고려해야 합니다. 문의 사항이 있으시면 언제든지 연락 주십시오.
회전 운동: 회전 모션 피드스루는 진공 측 샤프트를 회전시키는 공기 측 샤프트입니다. 여러 유형의 회전 드라이브가 있으며, 액추에이터 메커니즘, 진공 밀봉, 호환 압력 범위 및 적용 분야에 따라 구분됩니다. 두 가지 유형이 있는데, 하나는 엘라스토머 밀봉으로, 이중 O-링을 사용하여 밀봉하는 방식이며, 다른 하나는 페로플루이드 O-링 기술을 사용하여 높은 RPM과 높은 토크 용량을 제공하는 페로 밀봉입니다. 피드스루는 반복적인 이동 또는 대략적인 위치 조정을 제공하며, 회전 운동, 선형 운동 또는 이 둘의 조합을 제공할 수 있습니다. 수동 회전, 공압식, 전기 모터식 등 다양한 구동 방식을 제공합니다. 궁금한 점이 있으시면 언제든지 문의해 주세요.
부속품: 피드스루에는 필요한 연결을 위해 추가 하드웨어가 필요할 수 있습니다. 저희는 케이블, 전기/동축 커넥터, 그리고 진공 챔버 내부 및 외부용 핀을 제공합니다. 어떤 액세서리를 구매해야 할지 모르시겠으면 전화 주세요.
사용자 정의 피드스루: 진공 공정에 적합한 피드스루를 선택하는 것은 매우 어려운 작업입니다. 저희가 그 선택을 도와드리겠습니다. 또한, 저희는 고객님의 특정 진공 공정에 맞는 고유한 피드스루를 설계 및 제조하는 데 특화되어 있습니다. 피드스루 선택 지원이든 새로운 피드스루 제작이든, 저희 기술자/엔지니어가 전문 지식을 활용하여 진공 공정 목표를 신속하게 달성할 수 있도록 도와드립니다. 지금 바로 505-872-0037로 전화 주세요.
