Edwards mXDS3s 소형 건식 스크롤 진공 펌프, 흡입 밸브 및 배기 소음기가 포함되어 사전 구성됨, 단상 230VAC, 2CFM 펌핑 속도, 75mTorr 최대 압력. PN: A74402903

이 새로운 mXDS3s 건식 스크롤 펌프는 2.0 CFM(3.3 m ³ h ^-1 )의 최대 펌핑 속도와 75 mTorr의 최종 압력을 제공하여 터보분자 펌프 지원에 매우 적합합니다. 이는 mXDS3s 사전 구성 버전으로 공장에서 흡입 밸브가 장착되어 지연 개방 기능을 갖추고 배기 소음기가 함께 제공됩니다. mXDS3 버전은 흡입 밸브 없이 제공되는 표준 옵션입니다. 둘 다 동일한 진공 성능을 제공하며 주 공급 장치용 IEC 커넥터와 손쉬운 제어를 위한 켜기/끄기 스위치를 갖추고 있습니다. 이 소형 건식 펌프는 구성 요구 사항을 충족하기 위해 선택할 수 있는 다양한 액세서리를 통해 시스템 설계자와 최종 사용자에게 유연성을 제공합니다.

Edwards mXDS3은 비슷한 용량의 오일 밀봉 회전 날개 및 다이어프램 진공 펌프에 대한 소형 건식 대안입니다. mXDS3s 버전은 기본적으로 흡기 밸브 액세서리 및 배기 소음기/필터로 구성되어 있습니다. 작고 가벼운 mXDS3의 무게는 17.2파운드에 불과합니다. (7.8kg.) 운반용 손잡이가 있어 휴대성이 뛰어납니다. 시스템 빌더의 경우 펌프는 일반적으로 수평 또는 수직으로 장착할 수 있으며, 액세서리로 판매되는 푸시 핏 커넥터를 사용하여 흡입구 연결을 수직 또는 수평으로 흐르도록 재구성할 수도 있습니다.

Edwards mXDS3 및 mXDS3s 소형 건식 스크롤 펌프는 2CFM(3.3m ^{3h -1} )의 최고 펌핑 속도와 75mTorr의 최종 압력을 제공합니다. 다른 소형 펌프와 비교할 때, 높은 펌핑 속도와 우수한 최종 진공으로 인해 mXDS는 터보분자 펌프 보조에 매우 적합합니다. 이 소형 스크롤 펌프에는 수증기 처리를 위한 표준으로 설계에 통합된 가스 밸러스트 시설과 대형 nXDS 펌프와 마찬가지로 내부 배기 밸브가 있습니다. Edwards mXDS3 및 mXDS3s는 보충, 교체 또는 폐기할 오일이 없는 깨끗한 오일 프리 펌프입니다. 일반적으로 유사한 용량의 펌프에 비해 전력 요구 사항이 낮기 때문에 에너지 절약에 적합하며 탄소 배출량을 줄이는 데 이상적인 선택입니다. 최적화된 팬 냉각은 소음을 줄여 조용한 작동과 쾌적한 작업 환경을 제공합니다.