Ewards WRG-S 액티브 광범위 압력계 NW25, KF25 플랜지. 대기압 ~ 10⁻⁹ Torr.
에드워즈 부품 번호: D3G0021100 (단종된 부품 번호: D14701000, D147-01-000을 대체합니다). Edwards WRG-X-200 액티브 광역 압력계(NW25, KF25)는 ATM(대기압)부터
10⁻⁹ Torr 범위의 단일 포트 압력 측정을 선형 출력으로 제공합니다. 컴팩트한 설계로 설치 공간과 연결 하드웨어 요구 사항을 절반으로 줄여주므로 다양한 응용 분야에서 중요한 이점을 제공합니다. WRG는 새로운 특허받은 스트라이커, 푸시 버튼 교정 및 설정값 제어, 포괄적인 진단 기능 등 여러 혁신적인 기능을 갖추고 있습니다. Edwards 컨트롤러와 함께 사용하거나 시스템 제어 시스템에 직접 통합하여 사용할 수 있는 비용 효율적인 진공 관리 솔루션이며, 센서 튜브는 사용자가 교체할 수 있습니다.
WRG는 다양한 고전압(HV) 및 초고전압(UHV) 응용 분야에 적합하지만, 공정에서
5x10⁻⁴ Torr와
5x10⁻³ Torr 사이의 압력 범위에서 상당한 시간을 보내는 경우 Edwards는 독립형 APG100 Pirani 및 AIM Penning 게이지를 사용하는 것을 권장합니다. 이렇게 하면 응용 분야에서 게이지의 신뢰성이 향상됩니다. 신호 케이블과 컨트롤러는 제공되지 않습니다. Edwards WRG 능동형 광역 압력계에 대한 사용 설명서(PDF)는 다운로드에서 확인할 수 있습니다.
주요 기능은 다음과 같습니다:- 마이크로프로세서 신호 처리
- 질량 분석법 및 전자 현미경용 저자기장 버전
- 프로그래밍 가능한 설정값
- 마그네트론은 고진공 상태에서도 매우 안정적인 타격을 제공합니다.
또는 상대적으로 오염된 환경에서 - CSA, C/US 승인
- 압력 범위는 ATM(대기압)부터 10⁻⁹ Torr까지입니다.
