Ebara EV-A03-2 공냉식 건식 진공 펌프 208-240VAC, 단상, 9cfm, 가스 밸러스트 포트. PN: 202549

Ebara EV-A 03 시리즈 건식 로터리 로브 진공 펌프는 공냉식이며 경량 건식 진공 응용 분야용으로 설계되었습니다. EV-A 03 펌프 건식 펌프는 9cfm(250L/Min)의 큰 펌핑 속도, KF-25 흡입구 및 배출구 포트, 56dB(A) 작동 소음 수준에서 매우 조용하게 작동하고 가스 밸러스트는 7.5mTorr(가스 밸러스트를 켠 상태에서는 75mTorr)입니다. 최종 압력에서 1.1kW만큼 낮은 작동 전력 소비로 비용을 절약합니다. 이 장치에는 수직 배기 방향, 외부 소음기 및 내장 체크 밸브와 같은 표준 액세서리가 포함된 Ebara 참조 번호 EV-A03-2가 있으며 단상 200-240VAC에서 작동하고 선택적인 가스 밸러스트용 포트가 있습니다. Ebara 모델 EV-A03-2 및 부품 번호 202549가 있습니다.

Ebara EVA 03 건식 펌프는 완전히 깨끗한 건식 진공을 달성하기 위한 다단계 루츠 러핑 펌프 기술을 사용하며 6개의 내부 펌핑 단계를 포함합니다. 펌프는 입구에서 출구 배기 포트로 가스를 전달하는 동안 주어진 간격을 유지하기 위해 동시에 회전하는 한 쌍의 하이브리드 루트에서 작동합니다. 윤활유가 사용되는 로터의 반대쪽에 기어가 설치됩니다. 이는 건식 진공 펌프이며, 오일은 펌프의 진공 용량 내부에 있지 않고 기어 섹션 내부에만 있습니다. EV-A 03 및 EV-A 06 모델은 미네랄 기어 오일을 사용하고 EV-A 10 모델은 Fomblin PFPE 기어 오일을 사용합니다.

Ebara EV-A 펌프는 마찰 없는 설계, 비접촉, 다단계 루트, 신뢰성 및 입자 없는 진공 생성 덕분에 깨끗한 건식 진공을 생성합니다. 스크롤 펌프와 달리 EV-A 펌프에는 흡입 문제가 발생하는 동안 황삭 라인과 공정 챔버의 오염 물질이 될 수 있는 미립자 먼지를 마모 및 생성하는 팁 씰이 없습니다. Ebara EV-A 진공 펌프의 신뢰성이 높은 설계 덕분에 낮은 소유 비용으로 건식 진공이 가능합니다. 이 펌프는 팁 씰 및 베어링 교체의 번거로움을 없애고 건식 스크롤 펌프에서 팁 씰이 마모되어 발생하는 기본 압력 드리프트가 없습니다. 개선된 로터리 로브 펌프 설계는 펌프의 전체 수명 동안 일정한 최종 압력(7mTorr 기본 압력)을 제공합니다.

Ebara EV-A 펌프는 팬 냉각식이지만 더 높은 내부 온도에서 작동하도록 설계되어 EV-A 03 모델의 경우 시간당 물 250g의 큰 응축 가능한 증기 펌핑 용량을 가질 수 있습니다. 가스가 압축될 때 발생하는 열과 함께 샤프트 씰과 베어링의 마찰은 진공 펌프의 내부 작동 온도를 높이는 데 도움이 됩니다. 응축성 증기를 펌핑하는 경우 펌프 내부의 응축을 방지하기 위해 옵션인 가스 밸러스트를 설치해야 합니다. 가스 밸러스트에 의해 도입된 공기 또는 질소는 펌핑된 가스의 부분 압력을 감소시켜 포화 증기압을 초과합니다(증기 상태로 유지). 불연성 증기 및 응축성 용제를 펌핑할 때는 대기 공기 가스 밸러스트를 사용하는 것이 좋습니다. 가연성 용제의 가스 증기를 펌핑할 때 N ₂ 밸러스트는 작동 설명서에 따라 올바르게 사용해야 합니다. 수증기 등 응축성 가스를 펌핑할 때에는 공정 완료 후 약 1시간 정도 가스 밸러스트 밸브를 열어둔 채 펌프를 가동시키는 것이 효과적입니다. 이는 펌프가 꺼지기 전에 물의 흔적을 모두 제거하는 데 도움이 됩니다.

Ebara EV-A 설계의 주요 개선 사항은 첫 번째 진공 스테이지가 로터의 두 번째 위치에 위치한다는 것입니다. 펌핑 단계 설계의 이러한 방향은 로터 베어링이 고진공에 노출되는 것을 방지하여 작동 수명을 증가시킵니다. 개선된 펌프 설계에는 경질 양극 산화 알루미늄 본체, 스테인레스 스틸 로터 및 내부 배기 체크 밸브도 포함되어 있어 Ebara EV-A 펌프가 응축성 증기 펌핑을 처리하는 데 도움이 됩니다. 옵션인 가스 밸러스트는 펌프 기본 압력에 미치는 영향을 제한하면서 펌프 증기 처리 용량을 늘리기 위해 최적의 위치에서 3단계 및 4단계로 주입하도록 설계되었습니다. Ebara EV-A 펌프의 견고한 설계는 응용 분야와 펌프 사용 방법에 따라 일반적으로 3~5년의 서비스 수명을 제공합니다.

Ebara EV-A 건식 로터리 로브 진공 펌프에는 작동 패널과 LED 디스플레이가 포함되어 있어 펌프 조건을 조정하고 작동 빈도, 전류, 작동 시간 및 오류 모니터링과 같은 펌프 설정을 제어합니다. 이러한 펌프 모터에는 펌프를 정지 상태에서 최대 속도까지 천천히 시동하여 소음과 진동을 줄이는 동시에 낮은 시동 전류를 제공하는 가변 주파수 드라이브(VFD)가 포함되어 있습니다. 펌프에는 원격 시작 및 경보 상태 모니터링과 같은 건식 접촉기 기능을 제공하는 I/O 커넥터 D-sub 포트도 포함되어 있습니다.

Ebara EV-A 03 시리즈 건식 진공 펌프는 사용이 간편합니다. 플러그를 꽂고 켜기만 하면 됩니다(매우 간단합니다). 단상 115VAC, 단상 208VAC 또는 3상 208VAC에서 작동하도록 주문할 수 있습니다. 현재 여기에서 판매되는 부품 번호 202549는 1상 200-240VAC 펌프용입니다. Ebara EV-A 펌프는 과열이나 잠김 없이 대기압에서 지속적으로 작동할 수 있습니다. Ebara EV-A 진공 펌프는 소형이며 작동 중 <56dB(A)입니다. 옵션으로 제공되는 롤링 캐스터를 사용하여 시설 내에서 쉽게 이동할 수 있습니다. 자세한 내용은 아래의 사용설명서 및 제품 브로셔 다운로드를 참조하세요.

Ebara EV-A 시리즈 건식 로터리 로브 펌프의 장점 및 특징.


• 공냉식
• 작고 컴팩트한 크기
• 비접촉식 설계
• 일정한 최종 압력
• 팁 씰 먼지 발생 없음
• 높은 대기 펌핑 속도
• CE 및 NRTL 등급
• 단상 및 3상 모델 이용 가능
• 낮은 진동
• 작은 소음
• 유지보수가 필요 없음
• 공기 냉각식 건식 펌프 중 가장 높은 수증기 펌핑 성능(가스 밸러스트가 열린 상태)

응용


• 로드락
• 분석 기기(LCMS 액체 크로마토그래피-질량 분석법, GCMS 가스 크로마토그래피 질량 분석법)
• 계측학 - SEM(주사전자현미경), TEM(투과전자현미경)
• PVD(물리적 기상 증착) 스퍼터 시스템
• 건조용 진공 오븐
• 산소 플라즈마 시스템
• 습식 펌프 교체
• 스크롤 펌프 교체
• 클린 애플리케이션
• 글러브 박스
• 동결건조(동결건조)
• 멸균기(병원용 기화 과산화수소 멸균기 의료 기기 진공 증기 멸균기).
• 누출 감지기
• 빔 라인 및 싱크로트론
• 고에너지 물리학(연구 개발 연구소 – R&D)
• 우주 시뮬레이션 챔버
• 터보 펌프 백업
• 유연한 LED 비디오 디스플레이 제조
• 의료 기기 및 PCB 보드 제조를 위한 완전 청정 건조 진공
• 중간 부하, PFPE 로터리 베인 펌프, 펌핑 산소 애플리케이션과 경쟁합니다. 플라즈마 O2 CF4