Ebara ESR20N 다단계 건식 진공 펌프, 펌핑 속도 45 ~ 70 CFM(1300 ~ 2000 l/m), 세척 ~ 중간 부하 공정, 수냉식, 3상, 200 ~ 220V, 60Hz.
에바라 부품 번호: 202093. Ebara ESR 시리즈(Energy Saving Roots)는 청정 프로세스부터 중간 작업 프로세스까지 다양한 응용 분야에 맞게 설계된 다단계 건식 진공 펌프입니다. Ebara ESR 시리즈는 1.5mTorr의 낮은 최종 압력으로 45~706CFM의 넓은 펌핑 속도를 처리합니다. 이 목록은 Ebara ESR20N 다단계 건식 진공 펌프, 120cfm 2000l/m, 청정~중부하 공정, 수냉식, 200-220V / 3Ph, PN: 202093의 판매용입니다.
응용
- 스퍼터링
- PVD
- 로드 잠금 및 전송
- 애싱
- 이온 주입기
- 에칭
- 청정 가스 및 공정
Ebara EV-A 시리즈 건식 로터리 로브 펌프의 장점 및 특징.
- 낮은 소유 비용 [전력, N2, 물, 발자국, 부피, 무게]
- 깨끗한 응용 분야에서는 ESR20N에 질소 퍼지가 필요하지 않습니다.
- 응용 분야 요구 사항에 맞는 가변 펌핑 속도
- 고성능 브러시리스 DC 모터
- 최첨단 제어 및 모니터링 장치
- 유틸리티 절약을 위해 유휴 모드를 사용할 수 있습니다.
- SEMI S2 평가, NRTL 등록, CE 마크 획득