Agilent Varian TwisTorr 84-FS 터보분자 진공 펌프(ConFlat CF 2.75 흡입 플랜지 포함, 56 L/S 펌핑 속도, UHV 응용 분야용) PN: X3502-64003

이러한 Agilent Varian TwisTorr 84 FS 터보분자 진공 펌프에는 56 L/S 펌핑 속도의 Conflat CF 2.75 흡입 플랜지가 있습니다. 84 FS 터보 펌프는 74 FS의 슈퍼차지 버전으로, 1350Hz 오버클럭 구동 주파수로 펌핑 속도를 10% 높일 수 있어 초고진공(UHV)용 특수 펌프입니다. 대부분의 일반적인 고진공(HV) 응용 분야의 경우 Ideal Vacuum은 더욱 경제적으로 신뢰할 수 있는 74 FS 터보 펌프 모델을 권장합니다. 이러한 증폭된 Agilent 84 FS 터보 펌프는 수소 및 헬륨과 같은 가벼운 가스에 대해 더 높은 압축비를 생성하여 높은 처리량을 제공하고 가장 낮은 최종 압력에 도달합니다. Agilent Varian TwisTorr 84 FS 터보 펌프(conflat 흡입구 포함)는 올바르게 사용할 경우 최종 압력이 3.75x10-10 Torr만큼 낮은 진정한 초고진공(UHV) 펌프입니다. 예를 들어, 이러한 펌프의 Conflat 버전은 다음을 허용합니다. 흡입 플랜지는 섭씨 120도까지 구워집니다. 이러한 TwisTorr 84-FS 터보 펌프에는 외부 원격 랙 장착형 또는 온보드 펌프측 장착형 컨트롤러와 함께 팬 강제 공기 또는 수냉식 냉각 키트가 필요하며 모두 Ideal Vacuum에서 별도로 판매됩니다.

이러한 Agilent Varian TwistTorr 84 FS 터보 펌프에는 ConFlat CF 2.75 흡입 플랜지, 질소 펌핑 속도 56l/s, KF-16 포어라인 플랜지 및 5°C ~ +35°C의 주변 작동 온도가 있습니다. 이 84 FS 터보 펌프는 시동 시간이 2분 미만이고 회전 속도가 81,000rpm이며 건식 스크롤(IDP-3 또는 IDP7) 또는 오일 밀봉 회전 날개(DS-40M 또는 DS)의 포어라인 러핑 펌프를 권장합니다. -102). 강제 공기 냉각을 위한 냉각 요구 사항은 주변 공기 온도 5~35°C이거나 수냉식의 경우 45~75psi에서 15~25°C 사이에서 최소 유량 0.30gpm입니다.

새로운 Agilent Twistorr 84 FS는 광범위한 UHV 응용 분야에 적합한 성능과 기능의 조화를 제공합니다. 다양한 분야에서 사용될 수 있습니다:

일반적인 터보 펌프 응용 분야는 다음과 같습니다.

• 질량 분석
• 가스 크로마토그래피 질량분석법(GC/MS)
• 액체 크로마토그래피 질량분석법(LC/MS)
• 유도 결합 플라즈마 질량 분석법(ICP-MS)
• TOF(Time-of-Flight 질량분석법)

연구 및 개발의 진공:

• 고에너지 물리학
• 융합기술
• 일반 UHV 연구
• 싱크로트론 광원 입자 가속기

나노기술 기기:

• 전자현미경
• 주사전자현미경(SEM)
• 투과전자현미경(TEM)
• 집중 이온빔 시스템(FIB)
• 표면 분석
• 반도체 제조

산업용 진공 처리:
박막 증착:

• 유리 코팅 장비(건축 및 자동차 유리, 평판 디스플레이)
• 박막 태양전지 생산(광전지)
• 광 데이터 미디어(CD, DVD, 자기 광 디스크)
• 자기 저장 매체
• 표면 처리
• 광학 코팅(안과용, 정밀 광전자공학)
• 필름이나 호일에 롤/웹 코팅

장치 처리:

• TV 및 모니터 브라운관 제조
• 램프 대피(고속도로 조명, 비머)
• 엑스레이 튜브 및 전자 장치

일반 프로세스:

• 진공로
• 야금