電気熱電対フィードスルー、タイプK、1.33CF、超高真空定格、1ペア、コネクタ付きK型（ニッケルクロム／ニッケルアルメル）熱電対は、その精度、信頼性、低コスト性から広く使用されています。これらの堅牢なフィードスルーは超高真空（UHV）対応で、450℃までのベーキングが可能であり、直径1.33インチのCF絶縁サブアセンブリを備えています。
熱電対とは、温度測定システムで一般的に使用される電気フィードスルーのことです。熱電対フィードスルー自体は温度を測定するものではなく、真空システム内部から外部の計測機器へ熱電対の電圧信号を伝送するために使用されます。これらのフィードスルーは、セラミックと金属の接合技術を用いて、熱電対アセンブリに使用される様々な金属を高純度アルミナセラミック絶縁体にろう付けします。熱電対フィードスルーは、超高真空用途に適しています。取り付け方法は、溶接式、KF式、CF式、ベースプレート式、NPTアダプタ式など、複数用意されています。
主な機能：共通寸法：A = 5.88インチ、B = 4.88インチ、C = 1.33インチ
フィードスルー直径: 1.33 インチ CF コンフラット
材質：ステンレス鋼、クロムメッキ、アルメルメッキ（コネクタ付き）
フィードスルー（または真空フィードスルー）は、真空チャンバーの外部（空気側）から内部（真空側）へ電流、信号、流体、ガス、または機械的な動きを伝達し、チャンバー内の機器に供給するために、さまざまな形状で使用されます。フィードスルーの入口は、適切な貫通孔を通して真空シールされている必要があります。フィードスルーは溶接式（溶接オン式）にすることも、CF、KF、またはISO真空フランジを使用して真空チャンバーに接続することもできます。
CF Conflatフランジは通常、10⁻¹² Torrまでの超高真空圧力を必要とするプロセスに使用され、銅製ガスケット付きのナットとボルトで真空シールされます。サイズは、外径1.33インチ（ミニコンフラット）、2.75、4.5、6、8、10、12、13.25、14、16.5インチがあります。
KF（クイックフランジ）は、10⁻⁹ Torrまでの高真空圧力に対応し、クランプとエラストマーOリングによって真空シールされます。サイズはKF10、KF16、KF25、KF40、KF50があります。
ISO規格または大型フランジは、10⁻⁶ Torrまでの高真空圧力に対応し、ボルト穴のあるフランジの場合はナットとボルト、ボルト穴のない滑らかな面を持つフランジの場合はクロークランプで真空シールされます。真空シールにはエラストマーOリングを使用します。サイズは63mm、80mm、100mm、160mm、200mm、250mm、320mm、400mm、500mm、630mmがあります。すべてのフランジは耐腐食性ステンレス鋼製です。
フィードスルーの種類は数千種類もあり、お客様の特定の真空プロセスに最適なものを選ぶのは非常に難しい場合があります。ご要望についてご不明な点がございましたら、弊社のエンジニアまでお気軽にお問い合わせください。お客様の真空プロセスに最適なフィードスルーを見つけるお手伝いをいたします。弊社は、特殊なカスタムフィードスルー、真空チャンバー、および関連アクセサリーを専門としております。お電話は505-872-0037までお願いいたします。
パワーフィードスルーは、大気（外部）から真空（内部）へ電気を伝送する電気フィードスルーの一種です。パワーフィードスルーには、真空装置のチャンバー壁に入る1本以上の導体があります。導体は電気絶縁体にシールされており、絶縁体は真空フランジまたはベースプレートに溶接されるか、または接続されています。導体金属は、ワイヤ、ロッド、またはチューブの形で提供されます。導体材料は、電流、耐腐食性、および磁性に基づいて選択されます。選択の際に考慮すべき事項は、動作電圧、最大電流、ベース圧力、および動作環境です。電圧または電流を過小に指定しないでください。アーク放電、溶融、または絶縁体の破損を引き起こす可能性があります。選択に迷う場合は、当社までお問い合わせください。
熱電対：熱電対フィードスルーは、幅広い温度測定プロセスで使用される、堅牢でコスト効率の高い温度センサーです。異なる金属で構成された2本のワイヤの両端を接合し、一方の端を加熱すると、熱電回路に連続電流が流れます。この回路を中央で切断すると、正味の開放電圧（ゼーベック電圧）は接合部の温度と2種類の金属の組成の関数となります。つまり、2種類の金属の接合部が加熱または冷却されると、温度と相関関係のある電圧が発生します。適切に構成すれば、熱電対は幅広い温度範囲で測定を行うことができます。
これらは1対以上の電線を収容でき、成形プラグ、プッシュオンコネクタ、分割コネクタを備え、内部（真空）または外部（大気）にラグまたはネジ式コネクタを備えている場合があります。考慮すべき事項としては、温度範囲、温度測定箇所の数、シース材質、電線径、金属の種類、および同一フィードスルー内の電力導体などが挙げられます。さまざまな金属で製造され、異なる温度範囲を持つ熱電対フィードスルーには多くの種類があります。選択に迷った場合は、当社までお問い合わせください。
計測機器：計測用フィードスルー（マルチピンフィードスルーとも呼ばれます）は、真空壁を介して電気信号や低電力アプリケーションを伝送します。電子顕微鏡、表面分析、半導体プロセス制御などの計測アプリケーションで使用されます。真空壁の両側、内側（真空）または外側（大気）に、ピン付きまたは同軸の電気コネクタを接続できます。選定前に考慮すべき事項は、ケーブルからシールドへの最大電圧、シールドから接地への最大電圧、信号電圧、接地、インピーダンス、温度範囲、接続数、コネクタの種類などです。注文時には、適切なコネクタが付属しているかどうかを確認することが非常に重要です。計測接続フィードスルーには多くの種類がありますので、ご不明な点がありましたらお問い合わせください。
液体または気体：液体またはガス供給管は、真空に取り付けられた装置またはチャンバーにガスまたは液体を供給します。このガスまたは液体は、真空チャンバー内の一定の温度を維持することができます。CFまたはKFフランジ、あるいは貫通穴に1本または複数のチューブが溶接されたベースプレートポートで注文でき、チューブはフランジ/ベースポートの両側に伸びています。チューブの直径は様々で、多くの場合、小型フランジまたはガス継手で終端処理されます。考慮すべき事項としては、装置の壁面にある未使用フランジに適合するフランジ、供給管の数、チューブの直径、供給管の入口ポートのサイズ、および両側の部品に適合する終端処理などが挙げられます。ご不明な点がありましたら、お気軽にお問い合わせください。
回転運動：ロータリーモーションフィードスルーは、空気側のシャフトが真空側のシャフトを回転させる装置です。ロータリードライブには、アクチュエータ機構、真空シール、対応圧力範囲、用途によっていくつかの種類があります。代表的なものとして、背中合わせのダブルOリングでシールするエラストマーシールタイプと、高回転数と高トルクに対応するためにフェロフルイドOリング技術を用いたフェロシールタイプがあります。フィードスルーは、繰り返し動作や粗位置決めが可能で、回転運動、直線運動、またはその両方の組み合わせを実現できます。駆動方式は、手動回転、空気圧式、電動式など、様々な種類があります。ご不明な点がございましたら、お気軽にお問い合わせください。
アクセサリー：フィードスルーには、必要な接続を行うための追加のハードウェアが必要になる場合があります。弊社では、真空チャンバーの内外で使用するケーブル、電気/同軸コネクタ、ピンを取り揃えております。どのアクセサリを購入すればよいかご不明な場合は、お気軽にお問い合わせください。
カスタムフィードスルー：真空プロセスに最適なフィードスルーを選ぶのは、非常に難しい作業です。当社はその選択をお手伝いいたします。また、お客様の特定の真空プロセスに合わせた独自のフィードスルーの設計・製造も専門としています。フィードスルーの選定支援から新規製造まで、当社の技術者・エンジニアが専門知識を駆使して、お客様の真空プロセス目標達成を迅速にサポートいたします。今すぐ505-872-0037までお電話ください。
