MKS 248D汎用流量制御バルブ、2000 sccm、1/4インチSwagelok®チューブ継手、Vitonシール。MKS部品番号：0248D-02000SV。制御電流を供給すると、この汎用改良型ソレノイドバルブはガス流量を調整します。MKSコントローラーと適切なフローセンサーと組み合わせて使用すると、248Dバルブは正確な圧力または流量を維持しながらガス流量を調整します。用途には、流量制御、上流または下流の圧力制御が含まれます。このモデル0248D-02000SVバルブは、2000標準立方センチメートル/分（sccm）の窒素ガスフルスケール範囲、Swagelok 1/4インチチューブ継手、およびVitonシールを備えています。バルブ閉時の漏れコンダクタンスは、He 1x10-5 scc/秒未満です。

MKS 248D汎用流量制御弁、5000 sccm、1/4インチSwagelokチューブ継手、Vitonシール。MKS部品番号：0248D-05000RV。制御電流を供給すると、この汎用改良型ソレノイドバルブはガス流量を調整します。MKSコントローラーと適切なフローセンサーと併用することで、248Dバルブは正確で精密な圧力または流量を維持しながらガス流量を調整します。用途には、流量制御、上流または下流の圧力制御が含まれます。このモデル0248D-05000RVバルブは、5,000標準立方センチメートル/分（sccm）の窒素ガスをフルスケール範囲で供給し、Swagelok® 1/4インチチューブ継手とVitonシールを備えています。バルブ閉時のリークコンダクタンスは、Heガスで1x10-5 scc/秒未満です。Swagelok-TM Swagelok Company

MKS 248D汎用流量制御弁、10000 sccm、1/4インチSwagelokチューブ継手、Vitonシール。MKS部品番号：0248D-10000SV。制御電流を供給すると、この汎用改良型ソレノイドバルブはガス流量を調整します。MKSコントローラーと適切なフローセンサーと併用することで、248Dバルブは正確で精密な圧力または流量を維持しながらガス流量を調整します。用途には、流量制御、上流または下流の圧力制御が含まれます。このモデル0248D-10000SVバルブは、10000標準立方センチメートル/分（sccm）の窒素ガスをフルスケール範囲で供給し、Swagelok® 1/4インチチューブ継手とVitonシールを備えています。バルブ閉時のリークコンダクタンスは、He <1x10-5 scc/secです。Swagelok-TM Swagelok Company

MKS マスフロー コントローラー ケーブルは、946 コントローラーを 248D フロー コントロール バルブに接続し、長さ 10 フィート (3m) です。 MKS 部品番号: 100018192。MKS マス フロー コントローラー ケーブルは、946 コントローラーを 248D フロー コントロール バルブに接続します。こちらはケーブルのみです。 MKS 946 は多用途のハーフラック真空計測定および制御システムで、圧力制御のオプションを備えた、最大 6 つの異なる真空計および/またはマスフロー コントローラに電力と同時読み取りを提供します。電源/読み出しは、あらゆる流量トランスデューサーを制御および表示するように設計されています。流量設定値は、フロントパネルのコントロールを通じて、またはリアパネルのアナログインターフェイスを通じてリモートで調整できます。 946 真空システム コントローラーは、6 チャンネルの連続選択可能な単一読み出しです。マスフローコントローラーおよびマスフロー読み出しと互換性があります。 MKS 946 用の信号ケーブルは、この Web サイトで入手できます。

MKS マスフロー コントローラー ケーブルは、946 コントローラーを 248D フロー コントロール バルブに接続し、長さ 25 フィート (7.5 m) です。 MKS 部品番号: 100018192-25。 MKS マス フロー コントローラー ケーブルは、946 コントローラーを 248D フロー コントロール バルブに接続します。こちらはケーブルのみです。 MKS 946 は多用途のハーフラック真空計測定および制御システムで、圧力制御のオプションを備えた、最大 6 つの異なる真空計および/またはマスフロー コントローラに電力と同時読み取りを提供します。電源/読み出しは、あらゆる流量トランスデューサーを制御および表示するように設計されています。流量設定値は、フロントパネルのコントロールを通じて、またはリアパネルのアナログインターフェイスを通じてリモートで調整できます。 946 真空システム コントローラーは、6 チャンネルの連続選択可能な単一読み出しです。マスフローコントローラーおよびマスフロー読み出しと互換性があります。 MKS 946 用の信号ケーブルは、この Web サイトで入手できます。