MKS 248D 汎用流量制御バルブ、2000 sccm、1/4 インチ Swagelok チューブ継手、Viton シール。 MKS部品番号: 0248D-02000SV
この汎用改良型ソレノイドバルブは、制御電流を供給することでガス流量を調整します。MKSコントローラーと適切なフローセンサーと併用することで、248Dバルブは正確な圧力または流量を維持しながらガス流量を調整します。用途には、流量制御、上流または下流の圧力制御が含まれます。このモデル0248D-02000SVバルブは、2000標準立方センチメートル/分(sccm)の窒素ガスをフルスケール範囲で供給可能で、Swagelok® 1/4インチチューブ継手とVitonシールを備えています。バルブ閉時のリークコンダクタンスは、He 1x10-5 scc/sec未満です。
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