Agilent Varian TwisTorr 305-FS ターボポンプ、ISO-100K 注入口、ポンプ速度 255 l/s、空冷。空冷キットは別売りです (Agilent Varian 部品番号 X3513-64008)。これらの Agilent Varian TwisTorr 305 FS ターボ分子真空ポンプは、ISO 100K 吸気フランジを備えた空冷式で、特許取得済みの TwisTorr ドラッグ ステージを備えた Agilent フローティング サスペンションを備えています。これらの Agilent Varian TwisTorr 305 FS ターボ分子高真空ポンプは、新しく設計されたラビリンス Twistor ドラッグ ステージ技術や Agilent フローティング サスペンション (AFS)、最適化された熱設計マッピングなど、新しく改良された性能を備えています。 TwisTorr ドラッグ ステージは、水素やヘリウムなどの軽ガスの高い圧縮比を生み出し、高スループットと高いフォアライン圧力耐性を実現し、それによってより小型でより経済的な補助ポンプの使用を可能にします。これらの Agilent Varian 304 FS ターボ分子高真空ポンプは、ISO-100K 吸気フランジ、到達圧力 1x10-8 Torr (吸気 ISO センタリング リングのゴム製 O リング シールからのガス放出によって制限されます) を備えています。 Agilent Varian 部品番号 X3513-64008。すべて金属で密閉されたコンフラット吸気ガスケットを備えたコンフラット バージョンは、正しく使用した場合、到達圧力が 1x10-10 Torr という真の超高真空ポンプです。必要なファン空冷キットは別売りです。この技術により、エネルギー効率が高く、低い動作温度を維持するコンパクトなローター設計が実現します。 Agilent フローティング サスペンション システム (AFS) は、騒音と振動を低減し、最適なベアリング動作条件を確保して動作寿命を延ばし、システムのダウンタイムを最小限に抑え、長期間にわたって安定したポンプ性能を保証します。永続的な潤滑を備えた独自のセラミック ボール ベアリングにより、オイルやメンテナンスが不要になり、どの方向でもポンプを操作できます。このモデルは305-FSで、操作には船外機のリモコンユニットが必要です。ポンプの側面に洗練されたオンボード統合コントローラが組み込まれた 305-IC バージョンも用意されています。Agilent ターボ ポンプは、実際のアプリケーションで最適なパフォーマンスを発揮できるように設計されており、ポンプ システムとマルチフロー ポンプの統合が含まれています。コンパクトなサイズのポンプは、スペース要件が厳しい業界のニーズを満たします。これらの新しい Agilent TwisTorr 305 FS ターボ ポンプは、メンテナンスを最小限またはまったく必要とせず、誤使用から保護します。これらのポンプは、長寿命、衝撃、振動、梱包、熱、騒音などのさまざまな品質および信頼性テストを通過します。 ISO-100K フランジを備えた Agilent Varian TwistTorr 305 FS ターボ ポンプは、窒素の排気速度 255 l/s、KF-16 フォアライン フランジ、および 5 °C ～ +35 °C の周囲動作温度を備えています。これらの 305 FS ポンプの起動時間は 3 分、回転速度は 60,000 rpm です。推奨するフォアライン ポンプは、乾式 IDP-3、IDP-7、IDP-10、または湿式 DS-102、DS-302 です。冷却要件は、周囲温度が 5 ～ 35 °C の条件の場合は最小限の強制空気、または最小流量での水冷: 50 l/h (0.22 GPM)、水温が +15 °C ～ +30 °C の場合です。最大水圧 5 bar (75 psi) このユニットは周囲空冷ですが、水冷ユニットも利用できます。新しい Agilent Twistorr 305FS は、幅広いアプリケーションに適したパフォーマンスと機能の組み合わせを提供します。非常に汎用性の高いターボであり、さまざまな分野で使用できます。 一般的なターボ ポンプのアプリケーションには以下が含まれます。 質量分析 ガスクロマトグラフィー質量分析 (GC/MS) 液体クロマトグラフィー質量分析 (LC/MS) 誘導結合プラズマ質量分析 (ICP- MS) 飛行時間型質量分析法 (TOF) 研究開発における真空: 高エネルギー物理融合技術 一般的な UHV 研究 シンクロトロン光源 粒子加速器 ナノテクノロジー機器: 電子顕微鏡 走査型電子顕微鏡 (SEM) 透過型電子顕微鏡 (TEM) 集束イオン- ビーム システム (FIB) 表面分析 半導体製造 工業用真空処理: 薄膜蒸着 ガラス コーティング装置 (建築用および自動車用ガラス、フラット パネル ディスプレイ) 薄膜太陽電池の製造 (太陽光発電) 光データ メディア (CD、DVD、光磁気)ディスク) 磁気記憶媒体 表面処理 光学コーティング (眼科用、精密オプトエレクトロニクス) フィルムまたはフォイルへのロール/ウェブ コーティング デバイス処理: テレビおよびモニター受像管の製造 ランプの真空排気 (高速道路の照明、ビーマー) X 線管および電子装置一般的なプロセス: 真空炉冶金

Agilent Varian TwisTorr 305-FS ターボポンプ、ISO-100K 注入口、ポンプ速度 255 l/s、水冷。水冷キットは別売りです (Agilent Varian 部品番号 X3513-64012)。これらの Agilent Varian TwisTorr 305 FS ターボ分子真空ポンプは、ISO 100K 入口フランジを備えた水冷式で、特許取得済みの TwisTorr ドラッグ ステージを備えた Agilent フローティング サスペンションを備えています。これらの Agilent Varian TwisTorr 305 FS ターボ分子高真空ポンプは、新しく設計されたラビリンス Twistor ドラッグ ステージ技術や Agilent フローティング サスペンション (AFS)、最適化された熱設計マッピングなど、新しく改良された性能を備えています。 TwisTorr ドラッグ ステージは、水素やヘリウムなどの軽ガスの高い圧縮比を生み出し、高スループットと高いフォアライン圧力耐性を実現し、それによってより小型でより経済的な補助ポンプの使用を可能にします。これらの Agilent Varian 305 FS ターボ分子高真空ポンプは、ISO-100K 吸気フランジ、到達圧力 1x10-8 Torr (吸気 ISO センタリング リングのゴム製 O リング シールからのガス放出によって制限されます) を備え、 Agilent Varian 部品番号 X3513-64012。すべて金属で密閉されたコンフラット吸気ガスケットを備えたコンフラット バージョンは、正しく使用した場合、到達圧力が 1x10-10 Torr という真の超高真空ポンプです。必要な水冷キットは別売りです。この技術により、エネルギー効率が高く、低い動作温度を維持するコンパクトなローター設計が実現します。 Agilent フローティング サスペンション システム (AFS) は、騒音と振動を低減し、最適なベアリング動作条件を確保して動作寿命を延ばし、システムのダウンタイムを最小限に抑え、長期間にわたって安定したポンプ性能を保証します。永続的な潤滑を備えた独自のセラミック ボール ベアリングにより、オイルやメンテナンスが不要になり、どの方向でもポンプを操作できます。このモデルは305-FSで、操作には船外機のリモコンユニットが必要です。ポンプの側面に洗練されたオンボード統合コントローラが組み込まれた 305-IC バージョンも用意されています。Agilent ターボ ポンプは、実際のアプリケーションで最適なパフォーマンスを発揮できるように設計されており、ポンプ システムとマルチフロー ポンプの統合が含まれています。コンパクトなサイズのポンプは、スペース要件が厳しい業界のニーズを満たします。これらの新しい Agilent TwisTorr 305 FS ターボ ポンプは、メンテナンスを最小限またはまったく必要とせず、誤使用から保護します。これらのポンプは、長寿命、衝撃、振動、梱包、熱、騒音などのさまざまな品質および信頼性テストを通過します。 ISO-100K フランジを備えた Agilent Varian TwistTorr 305 FS ターボ ポンプは、窒素の排気速度 255 l/s、KF-16 フォアライン フランジ、および 5 °C ～ +35 °C の周囲動作温度を備えています。これらの 305 FS ポンプの起動時間は 3 分、回転速度は 60,000 rpm です。推奨するフォアライン ポンプは、乾式 IDP-3、IDP-7、IDP-10、または湿式 DS-102、DS-302 です。冷却要件は、周囲温度が 5 ～ 35 °C の条件の場合は最小限の強制空気、または最小流量での水冷: 50 l/h (0.22 GPM)、水温が +15 °C ～ +30 °C の場合です。最大水圧 5 bar (75 psi) このユニットは周囲空冷ですが、水冷ユニットも利用できます。新しい Agilent Twistorr 305FS は、幅広いアプリケーションに適したパフォーマンスと機能の組み合わせを提供します。非常に汎用性の高いターボであり、さまざまな分野で使用できます。 一般的なターボ ポンプのアプリケーションには以下が含まれます。 質量分析 ガスクロマトグラフィー質量分析 (GC/MS) 液体クロマトグラフィー質量分析 (LC/MS) 誘導結合プラズマ質量分析 (ICP- MS) 飛行時間型質量分析法 (TOF) 研究開発における真空: 高エネルギー物理融合技術 一般的な UHV 研究 シンクロトロン光源 粒子加速器 ナノテクノロジー機器: 電子顕微鏡 走査型電子顕微鏡 (SEM) 透過型電子顕微鏡 (TEM) 集束イオン- ビーム システム (FIB) 表面分析 半導体製造 工業用真空処理: 薄膜蒸着 ガラス コーティング装置 (建築用および自動車用ガラス、フラット パネル ディスプレイ) 薄膜太陽電池の製造 (太陽光発電) 光データ メディア (CD、DVD、光磁気)ディスク) 磁気記憶媒体 表面処理 光学コーティング (眼科用、精密オプトエレクトロニクス) フィルムまたはフォイルへのロール/ウェブ コーティング デバイス処理: テレビおよびモニター受像管の製造 ランプの真空排気 (高速道路の照明、ビーマー) X 線管および電子装置一般的なプロセス: 真空炉冶金

ISO-160K 注入口を備えた Agilent Varian TwisTorr 305-FS ターボ ポンプ、排気速度 255 l/s、空気冷却付き。 Agilent Varian 部品番号: X3513-64010 Agilent Varian TwisTorr 305-FS ターボ分子高真空ポンプは、以前の 304-FS ターボ ポンプに比べて性能が向上しています。これらの改善には、新しいラビリンス設計の TwisTorr ドラッグ ステージ テクノロジー、Agilent Floating Suspension (AFS)、および最適化された熱設計マッピングが含まれます。 TwisTorr ドラッグ ステージは、水素やヘリウムなどの軽質ガスの高い圧縮比を生み出し、高スループットとフォアライン圧力の高い耐性を実現するため、より小型でより経済的な補助ポンプの使用が可能になります。 Drag Stage テクノロジーにより、エネルギー効率が高く、低い動作温度を維持するコンパクトなローター設計が実現します。 Agilent フローティング サスペンション システム (AFS) は、騒音と振動を低減し、最適なベアリング動作条件を確保して動作寿命を延ばし、システムのダウンタイムを最小限に抑え、長期間にわたって安定したポンプ性能を保証します。永続的な潤滑を備えた独自のセラミック ボール ベアリングにより、オイルやメンテナンスが不要になり、どの方向でもポンプを操作できます。モデル305-FSの操作には船外機のリモコンユニットが必要です。 305-IC バージョンには、ポンプの側面に洗練されたオンボード統合コントローラーが組み込まれています。 Agilent ターボ ポンプは、実際のアプリケーションで最適なパフォーマンスを発揮できるように設計されており、ポンプ システムとマルチフロー ポンプの統合が含まれています。コンパクトなサイズのポンプは、スペース要件が厳しい業界のニーズを満たします。これらの新しい Agilent TwisTorr 305-FS ターボ ポンプは、メンテナンスを最小限またはまったく必要とせず、誤使用から保護します。これらのポンプは、長寿命、衝撃、振動、梱包、熱、静音、騒音などのさまざまな品質および信頼性テストを通過します。これらのテストの詳細な説明については、以下のパンフレットのダウンロードを参照してください。 CF 6 インチフランジを備えた Agilent Varian TwistTorr 305-FS ターボポンプは、窒素排気速度 255 l/s、KF-16 フォアラインフランジ、周囲動作温度 5 °C ～ 35 °C を備えています。起動時間は3分です。回転数60,000rpm。推奨するフォアライン ポンプは、乾式 IDP-3、IDP-7、IDP-10、または湿式 DS-102、DS-302 です。冷却要件は、周囲温度が 5 ～ 35 °C の条件の場合は最小限の強制空気、または最小流量での水冷: 50 l/h (0.22 GPM)、水温が +15 °C ～ +30 °C の場合です。最大水圧 5 bar (75 psi.) このユニットは周囲空冷ですが、水冷ユニットも利用できます。これらのポンプは新しい真空リンク アプリを使用できます。 Bluetooth、USB、または NFC 通信を介して、Apple または Android スマートフォンで利用できます。このアプリを使用すると、選択したパラメータをリアルタイムで監視でき、記録機能や表示および共有のためにコンピュータにデータをエクスポートできます。このアプリは、Agilent の Web サイトからダウンロードできます。 305-FS の技術情報の詳細については、以下のパンフレットと操作説明書のダウンロードを参照してください。 Agilent Twistorr 305-FS は、幅広いアプリケーションに適したパフォーマンスと機能の組み合わせを提供します。非常に汎用性の高いターボであり、さまざまな分野で使用できます。 一般的なターボ ポンプのアプリケーションには以下が含まれます。 質量分析 ガスクロマトグラフィー質量分析 (GC/MS) 液体クロマトグラフィー質量分析 (LC/MS) 誘導結合プラズマ質量分析 (ICP- MS) 飛行時間型質量分析法 (TOF) 研究開発における真空: 高エネルギー物理融合技術 一般的な UHV 研究用シンクロトロン光源 粒子加速器 ナノテクノロジー機器: 電子顕微鏡 走査型電子顕微鏡 (SEM) 透過型電子顕微鏡 (TEM) 集束イオン- ビーム システム (FIB) 表面分析 半導体製造 産業用真空処理: 薄膜蒸着 ガラス コーティング装置 (建築用および自動車用ガラス、フラット パネル ディスプレイ) 薄膜太陽電池の製造 (太陽光発電) 光データ メディア (CD、DVD、光磁気)ディスク) 磁気記憶媒体 表面処理 光学コーティング (眼科用、精密オプトエレクトロニクス) フィルムまたはフォイルへのロール/ウェブ コーティング デバイス処理: テレビおよびモニター受像管の製造 ランプの真空排気 (高速道路の照明、ビーマー) X 線管および電子装置一般的なプロセス: 真空炉冶金 お客様の真空用途やニーズに役立つ追加のアクセサリについては、以下の関連セクションを参照してください。このウェブサイトでは、別売りのさまざまな真空継手、ホース、真空計、センサー/トランスデューサー、アクセサリーを提供しています。見積もりについては、(505) 872-0037 までお電話ください。パンフレットおよび取扱説明書は下記よりダウンロードしてご覧ください。

Agilent Varian TwisTorr 305-FS ターボ ポンプ、Conflat 6 インチ入口、排気速度 255 l/s、水冷。水冷キットは別売りです (Agilent Varian 部品番号 X3513-64013)。これらの Agilent Varian TwisTorr 305 FS ターボ分子真空ポンプは水冷式で、Conflat CF 6 インチ吸気フランジを備え、特許取得済みの TwisTorr ドラッグ ステージを備えた Agilent フローティング サスペンションを備えています。これらの Agilent Varian TwisTorr 305 FS ターボ分子高真空ポンプは、新しく設計されたラビリンス Twistor ドラッグ ステージ技術や Agilent フローティング サスペンション (AFS)、最適化された熱設計マッピングなど、新しく改良された性能を備えています。 TwisTorr ドラッグ ステージは、水素やヘリウムなどの軽ガスの高い圧縮比を生み出し、高スループットと高いフォアライン圧力耐性を実現し、それによってより小型でより経済的な補助ポンプの使用を可能にします。コンフラット吸気を備えた Agilent Varian TwisTorr 305 FS ターボ ポンプは、正しく使用した場合、到達圧力が 1x10-10 Torr という真の超高真空 (UHV) ポンプです。たとえば、これらのポンプのコンフラット バージョンでは、吸気を行うことができます。フランジは100℃まで焼きます。必要な水冷キットは別売りです。この技術により、エネルギー効率が高く、低い動作温度を維持するコンパクトなローター設計が実現します。 Agilent フローティング サスペンション システム (AFS) は、騒音と振動を低減し、最適なベアリング動作条件を確保して動作寿命を延ばし、システムのダウンタイムを最小限に抑え、長期間にわたって安定したポンプ性能を保証します。永続的な潤滑を備えた独自のセラミック ボール ベアリングにより、オイルやメンテナンスが不要になり、どの方向でもポンプを操作できます。このモデルは305-FSで、操作には船外機のリモコンユニットが必要です。ポンプの側面に洗練されたオンボード統合コントローラが組み込まれた 305-IC バージョンも用意されています。Agilent ターボ ポンプは、実際のアプリケーションで最適なパフォーマンスを発揮できるように設計されており、ポンプ システムとマルチフロー ポンプの統合が含まれています。コンパクトなサイズのポンプは、スペース要件が厳しい業界のニーズを満たします。これらの新しい Agilent TwisTorr 305 FS ターボ ポンプは、メンテナンスを最小限またはまったく必要とせず、誤使用から保護します。これらのポンプは、長寿命、衝撃、振動、梱包、熱、騒音などのさまざまな品質および信頼性テストを通過します。 ISO-100K フランジを備えた Agilent Varian TwistTorr 305 FS ターボ ポンプは、窒素の排気速度 255 l/s、KF-16 フォアライン フランジ、および 5 °C ～ +35 °C の周囲動作温度を備えています。これらの 305 FS ポンプの起動時間は 3 分、回転速度は 60,000 rpm です。推奨するフォアライン ポンプは、乾式 IDP-3、IDP-7、IDP-10、または湿式 DS-102、DS-302 です。冷却要件は、周囲温度が 5 ～ 35 °C の条件の場合は最小限の強制空気、または最小流量での水冷: 50 l/h (0.22 GPM)、水温が +15 °C ～ +30 °C の場合です。最大水圧 5 bar (75 psi) このユニットは周囲空冷ですが、水冷ユニットも利用できます。新しい Agilent Twistorr 305FS は、幅広いアプリケーションに適したパフォーマンスと機能の組み合わせを提供します。非常に汎用性の高いターボであり、さまざまな分野で使用できます。 一般的なターボ ポンプのアプリケーションには以下が含まれます。 質量分析 ガスクロマトグラフィー質量分析 (GC/MS) 液体クロマトグラフィー質量分析 (LC/MS) 誘導結合プラズマ質量分析 (ICP- MS) 飛行時間型質量分析法 (TOF) 研究開発における真空: 高エネルギー物理融合技術 一般的な UHV 研究 シンクロトロン光源 粒子加速器 ナノテクノロジー機器: 電子顕微鏡 走査型電子顕微鏡 (SEM) 透過型電子顕微鏡 (TEM) 集束イオン- ビーム システム (FIB) 表面分析 半導体製造 工業用真空処理: 薄膜蒸着 ガラス コーティング装置 (建築用および自動車用ガラス、フラット パネル ディスプレイ) 薄膜太陽電池の製造 (太陽光発電) 光データ メディア (CD、DVD、光磁気)ディスク) 磁気記憶媒体 表面処理 光学コーティング (眼科用、精密オプトエレクトロニクス) フィルムまたはフォイルへのロール/ウェブ コーティング デバイス処理: テレビおよびモニター受像管の製造 ランプの真空排気 (高速道路の照明、ビーマー) X 線管および電子装置一般プロセス: 真空炉冶金 お客様の真空用途やニーズに役立つ追加のアクセサリについては、以下の「関連」セクションを参照してください。このウェブサイトでは、別売りのさまざまな真空継手、ホース、真空計、センサー/トランスデューサー、アクセサリーを提供しています。パンフレットと取扱説明書については、横にある .PDF のダウンロードをご覧ください。

Agilent Varian TwisTorr 305-IC 統合コントローラ ターボ ポンプ、ISO-100K インレット、ポンプ速度 255 l/s、RS-232、空冷。空冷キットは別売りです。Agilent Varian 部品番号: X3513-64024。これらの Agilent Varian TwisTorr 305-IC (統合コントローラおよび RS232 通信プロトコル シリアル ポート付き) ターボ分子真空ポンプは、ISO-100K 吸気フランジを備えた空冷式で、特許取得済みの TwisTorr ドラッグ ステージを備えた Agilent フローティング サスペンションを備えています。これらの Agilent Varian TwisTorr 305-IC ターボ分子高真空ポンプは、新しく設計されたラビリンス Twistor ドラッグ ステージ テクノロジーや Agilent フローティング サスペンション (AFS)、最適化された熱設計マッピングなど、新しく改良された性能を備えています。 TwisTorr ドラッグ ステージは、水素やヘリウムなどの軽ガスの高い圧縮比を生み出し、高スループットと高いフォアライン圧力耐性を実現し、それによってより小型でより経済的な補助ポンプの使用を可能にします。これらの Agilent Varian 305-IC ターボ分子高真空ポンプは、ISO-100K 吸気フランジ、到達圧力 1x10-8 Torr (吸気 ISO センタリング リングのゴム製 O リング シールからのガス放出によって制限されます) を備えています。 Agilent Varian 部品番号 X3513-64024。すべて金属で密閉されたコンフラット吸気ガスケットを備えたコンフラット バージョンは、正しく使用した場合、到達圧力が 1x10-10 Torr という真の超高真空ポンプです。必要な空冷キットは別売りです。この技術により、エネルギー効率が高く、低い動作温度を維持するコンパクトなローター設計が実現します。 Agilent フローティング サスペンション システム (AFS) は、騒音と振動を低減し、最適なベアリング動作条件を確保して動作寿命を延ばし、システムのダウンタイムを最小限に抑え、長期間にわたって安定したポンプ性能を保証します。永続的な潤滑を備えた独自のセラミック ボール ベアリングにより、オイルやメンテナンスが不要になり、どの方向でもポンプを操作できます。このモデルは 305-IC で、コントローラが統合されています。別途外部リモートコントローラーが必要な 305-FS ターボポンプも利用できます。 Agilent ターボ ポンプは、実際のアプリケーションで最適なパフォーマンスを発揮できるように設計されており、ポンプ システムとマルチフロー ポンプの統合が含まれています。コンパクトなサイズのポンプは、スペース要件が厳しい業界のニーズを満たします。これらの新しい Agilent TwisTorr 305 IC ターボ ポンプは、メンテナンスを最小限またはまったく必要とせず、誤使用から保護します。これらのポンプは、長寿命、衝撃、振動、梱包、熱、騒音などのさまざまな品質および信頼性テストを通過します。 ISO-100K フランジを備えた Agilent Varian TwistTorr 305IC ターボ ポンプは、窒素の排気速度 255 l/s、KF-16 フォアライン フランジ、周囲動作温度 5 °C ～ +35 °C を備えています。これらの 305 FS ポンプの起動時間は 3 分、回転速度は 60,000 rpm です。推奨するフォアライン ポンプは、乾式 IDP-3、IDP-7、IDP-10、または湿式 DS-102、DS-302 です。冷却要件は、周囲温度が 5 ～ 35 °C の条件の場合は最小限の強制空気、または最小流量での水冷: 50 l/h (0.22 GPM)、水温が +15 °C ～ +30 °C の場合です。最大水圧 5 bar (75 psi)。 このユニットはファンなしで周囲空冷されます。付属のファンが利用可能です。また、水冷ポンプ バージョンも利用できます。新しい Agilent Twistorr 305IC は、幅広いアプリケーションに適したパフォーマンスと機能の融合を提供します。非常に汎用性の高いターボであり、さまざまな分野で使用できます。 一般的なターボ ポンプのアプリケーションには以下が含まれます。 質量分析 ガスクロマトグラフィー質量分析 (GC/MS) 液体クロマトグラフィー質量分析 (LC/MS) 誘導結合プラズマ質量分析 (ICP- MS) 飛行時間型質量分析法 (TOF) 研究開発における真空: 高エネルギー物理融合技術 一般的な UHV 研究 シンクロトロン光源 粒子加速器 ナノテクノロジー機器: 電子顕微鏡 走査型電子顕微鏡 (SEM) 透過型電子顕微鏡 (TEM) 集束イオン- ビーム システム (FIB) 表面分析 半導体製造 工業用真空処理: 薄膜蒸着 ガラス コーティング装置 (建築用および自動車用ガラス、フラット パネル ディスプレイ) 薄膜太陽電池の製造 (太陽光発電) 光データ メディア (CD、DVD、光磁気)ディスク) 磁気記憶媒体 表面処理 光学コーティング (眼科用、精密オプトエレクトロニクス) フィルムまたはフォイルへのロール/ウェブ コーティング デバイス処理: テレビおよびモニター受像管の製造 ランプの真空排気 (高速道路の照明、ビーマー) X 線管および電子装置一般プロセス: 真空炉冶金 お客様の真空用途やニーズに役立つ追加のアクセサリについては、以下の「関連」セクションを参照してください。このウェブサイトでは、別売りのさまざまな真空継手、ホース、真空計、センサー/トランスデューサー、アクセサリーを提供しています。パンフレットとユーザーマニュアルについては、以下の PDF ダウンロードセクションをご覧ください。

Agilent Varian TwisTorr 305-IC 統合コントローラ ターボ ポンプ、Conflat CF 6 インチ インレット、ポンプ速度 255 l/s、RS-232、空冷。空冷キットは別売りです。Agilent Varian 部品番号: X3513-64025。これらの Agilent Varian TwisTorr 305-IC (統合コントローラおよび RS232 通信プロトコル シリアル ポート付き) ターボ分子真空ポンプは空冷式で、Conflat CF 6 インチ吸気フランジを備え、特許取得済みの TwisTorr ドラッグ ステージを備えた Agilent フローティング サスペンションを備えています。これらの Agilent Varian TwisTorr 305 FS ターボ分子高真空ポンプは、新しく設計されたラビリンス Twistor ドラッグ ステージ技術や Agilent フローティング サスペンション (AFS)、最適化された熱設計マッピングなど、新しく改良された性能を備えています。 TwisTorr ドラッグ ステージは、水素やヘリウムなどの軽ガスの高い圧縮比を生み出し、高スループットと高いフォアライン圧力耐性を実現し、それによってより小型でより経済的な補助ポンプの使用を可能にします。コンフラット吸気を備えた Agilent Varian TwisTorr 305 FS ターボ ポンプは、正しく使用した場合、到達圧力が 1x10-10 Torr という真の超高真空 (UHV) ポンプです。たとえば、これらのポンプのコンフラット バージョンでは、吸気を行うことができます。フランジは100℃まで焼きます。必要な空冷キットは別売りです。この技術により、エネルギー効率が高く、低い動作温度を維持するコンパクトなローター設計が実現します。 Agilent フローティング サスペンション システム (AFS) は、騒音と振動を低減し、最適なベアリング動作条件を確保して動作寿命を延ばし、システムのダウンタイムを最小限に抑え、長期間にわたって安定したポンプ性能を保証します。永続的な潤滑を備えた独自のセラミック ボール ベアリングにより、オイルやメンテナンスが不要になり、どの方向でもポンプを操作できます。このモデルは 305-IC で、コントローラが統合されています。別途外部リモートコントローラーが必要な 305-FS ターボポンプも利用できます。 Agilent ターボ ポンプは、実際のアプリケーションで最適なパフォーマンスを発揮できるように設計されており、ポンプ システムとマルチフロー ポンプの統合が含まれています。コンパクトなサイズのポンプは、スペース要件が厳しい業界のニーズを満たします。これらの新しい Agilent TwisTorr 305 IC ターボ ポンプは、メンテナンスを最小限またはまったく必要とせず、誤使用から保護します。これらのポンプは、長寿命、衝撃、振動、梱包、熱、騒音などのさまざまな品質および信頼性テストを通過します。 ISO-100K フランジを備えた Agilent Varian TwistTorr 305IC ターボ ポンプは、窒素の排気速度 255 l/s、KF-16 フォアライン フランジ、周囲動作温度 5 °C ～ +35 °C を備えています。これらの 305 FS ポンプの起動時間は 3 分、回転速度は 60,000 rpm です。推奨するフォアライン ポンプは、乾式 IDP-3、IDP-7、IDP-10、または湿式 DS-102、DS-302 です。冷却要件は、周囲温度が 5 ～ 35 °C の条件の場合は最小限の強制空気、または最小流量での水冷: 50 l/h (0.22 GPM)、水温が +15 °C ～ +30 °C の場合です。最大水圧 5 bar (75 psi)。 このユニットはファンなしで周囲空冷されます。付属のファンが利用可能です。また、水冷ポンプ バージョンも利用できます。新しい Agilent Twistorr 305IC は、幅広いアプリケーションに適したパフォーマンスと機能の融合を提供します。非常に汎用性の高いターボであり、さまざまな分野で使用できます。 一般的なターボ ポンプのアプリケーションには以下が含まれます。 質量分析 ガスクロマトグラフィー質量分析 (GC/MS) 液体クロマトグラフィー質量分析 (LC/MS) 誘導結合プラズマ質量分析 (ICP- MS) 飛行時間型質量分析法 (TOF) 研究開発における真空: 高エネルギー物理融合技術 一般的な UHV 研究 シンクロトロン光源 粒子加速器 ナノテクノロジー機器: 電子顕微鏡 走査型電子顕微鏡 (SEM) 透過型電子顕微鏡 (TEM) 集束イオン- ビーム システム (FIB) 表面分析 半導体製造 工業用真空処理: 薄膜蒸着 ガラス コーティング装置 (建築用および自動車用ガラス、フラット パネル ディスプレイ) 薄膜太陽電池の製造 (太陽光発電) 光データ メディア (CD、DVD、光磁気)ディスク) 磁気記憶媒体 表面処理 光学コーティング (眼科用、精密オプトエレクトロニクス) フィルムまたはフォイルへのロール/ウェブ コーティング デバイス処理: テレビおよびモニター受像管の製造 ランプの真空排気 (高速道路の照明、ビーマー) X 線管および電子装置一般プロセス: 真空炉冶金 お客様の真空用途やニーズに役立つ追加のアクセサリについては、以下の「関連」セクションを参照してください。このウェブサイトでは、別売りのさまざまな真空継手、ホース、真空計、センサー/トランスデューサー、アクセサリーを提供しています。パンフレットとユーザーマニュアルについては、以下の PDF ダウンロードセクションをご覧ください。

Agilent Varian TwisTorr 305-FS ラックマウントターボ分子真空ポンプコントローラ、RS232/485 AG リモート付き。 Agilent Varian 部品番号 PN: X3506-64130。 RS232/485 インターフェイスを備えたこれらの Agilent Varian TwisTorr AG ラックマウント コントローラは、Agilent TwisTorr 305 FS ターボ分子真空ポンプと併用します。 TwisTorr 305 FS コントローラは、自己診断機能と自己保護機能を備えたマイクロプロセッサ制御のソリッドステート周波数コンバータです。機能: フロント / リモート / シリアル操作 232/485 24VDC ポンプ ファン冷却ドライブ ベント バルブ ドライブ 停止コマンド後のポンプ速度読み取り (停止速度読み取り) 圧力読み取り 入力電圧の自動設定 有益な追加アクセサリについては、以下の「関連製品」セクションを参照してください。真空アプリケーションのニーズに対応します。このウェブサイトでは、別売りのさまざまな真空継手、ホース、真空計、センサー/トランスデューサー、アクセサリーを提供しています。パンフレットとユーザーマニュアルについては、以下のドキュメントダウンロードセクションをご覧ください。

Agilent Varian TwisTorr 305 FS オンボード 100 ～ 240 VAC ナビゲータ コントローラ。アジレント部品番号: X3507-64131。 TwisTorr305-FS シリーズ ターボ ポンプ用のこの Agilent Varian オンボード ナビゲータ コントローラには、100 ～ 240 VAC 入力が必要です。これはマイクロプロセッサ制御の周波数コンバータで、PC ソフトウェアで完全に制御可能で、最高レベルの信頼性を保証する自己診断機能と保護機能を備えています。このオンボード ナビゲータは、ポンプの底面または側面のいずれかにボードに取り付けることができ、優れた柔軟性とシンプルさを提供します。仕様や使い方についてはダウンロードをご覧ください。この Agilent Varian 305FS オンボード コントローラには次の機能があります: 100 ～ 240 VAC 入力。 TwisTorr 305FS ファミリのポンプを駆動します。ポンプ冷却ファンに電力を供給します。ベントバルブを駆動します。ワイドレンジゲージの圧力を提供、取得します。リモートI/Oは前バージョンと互換性があります。 Navigator のデフォルトのシリアルは、以前の RS 232 および 485 バージョンと互換性があります。これらのコントローラには RS-232/485 シリアル ポートがあり、ポンプをシステム制御と接続し、T-Plus ソフトウェア (別売り、部品番号 P104164) を備えた PC 経由でポンプを操作できます。これらの Agilent 305FS コントローラは新品で、完全なメーカー保証が付いています。

Agilent Varian TwisTorr 305 FS オンボード 24 VDC ナビゲータ ターボ ポンプ コントローラ。アジレント部品番号: X3507-64130。 TwisTorr305-FS シリーズ ターボ ポンプ用のこの Agilent Varian OnBoard Navigator コントローラには、24 VDC 入力が必要です。これはマイクロプロセッサ制御の周波数コンバータで、PC ソフトウェアで完全に制御可能で、最高レベルの信頼性を保証する自己診断機能と保護機能を備えています。このオンボード ナビゲータは、ポンプの底面または側面のいずれかにボードに取り付けることができ、優れた柔軟性とシンプルさを提供します。仕様や使い方についてはダウンロードをご覧ください。この Agilent Varian 305FS オンボード コントローラには、次の機能があります。 24 VDC 入力。 TwisTorr 305FS ファミリのポンプを駆動します。ポンプ冷却ファンに電力を供給します。ベントバルブを駆動します。ワイドレンジゲージの圧力を提供、取得します。リモートI/Oは前バージョンと互換性があります。 Navigator のデフォルトのシリアルは、以前の RS 232 および 485 バージョンと互換性があります。これらのコントローラには RS-232/485 シリアル ポートがあり、ポンプをシステム制御と接続し、T-Plus ソフトウェア (別売り、部品番号 P104164) を備えた PC 経由でポンプを操作できます。これらの Agilent 305FS コントローラは新品で、完全なメーカー保証が付いています。

Varian Agilent AC 主電源ケーブル NEMA プラグ、ターボ ポンプ コントローラ用、3 メートル。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699958。この Agilent ターボ分子真空ポンプ AC 主電源ケーブルは、NEMA 5-15 プラグ壁コンセント接続を備えており、ほとんどの Agilent ターボポンプ コントローラで動作します。長さは 3 メートル、Agilent Varian 部品番号は 9699958 で、次のターボ ポンプ モデルで動作します: TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent Varian TwisTorr 305 FS ターボ分子真空ポンプからコントローラへの延長ケーブル、5 メートル。 Agilent Varian 部品番号 PN 9699942M007。これらの Agilent Varian TwisTorr 305 FS ターボ分子真空ポンプからラックマウント コントローラへの延長ケーブルは、ポンプとその電子機器の距離を延長するために使用されます。このターボ延長ケーブルは 5 メートルで、Agilent Varian 部品番号 PN 9699942M007 です。

Agilent Varian ISO-100 インレットスクリーン、スプリンターシールド、ターボポンプを異物から保護するために使用されます。 Agilent Varian 部品番号 PN: X3500-68000。これらの Agilent Varian インレットスクリーンは、ISO-100 吸気フランジを備えた TwisTorr 305 FS および 305-IC (統合コントローラ) ターボ分子真空ポンプを保護するように設計されています。これらのターボ吸気破片シールドは、ポンプを異物から保護するのに役立ちます。Agilent Varian の部品番号は X3500-68000 です。

Agilent Varian Con flat Turbo CF 6 インチインレットスクリーン、スプリンターシールド、ターボポンプを異物から保護するために使用されます。 Agilent Varian 部品番号 PN 9699302。これらの Agilent Varian インレット スクリーンは、Conflat CF 6 インチ吸気フランジを備えた TwisTorr 305 FS および 305-IC (統合コントローラ) ターボ分子真空ポンプを保護するように設計されています。これらのターボ吸気破片シールドは、ポンプを異物から保護するのに役立ちます。Agilent Varian の部品番号は 969-9302 です。

Agilent Varian ターボ水冷キット、金属ホースバーブ付き、6x8 mm チューブサイズ用に設計されたほとんどの Agilent ターボ分子ポンプに適合、Agilent Varian 部品番号 PN: 9699337 これらの金属水冷キットは、Agilent Varian TwisTorr 305 FS、750 の水冷を提供するように設計されています。 FS、および 850 FS ターボ分子真空ポンプ。高品質ポリウレタン (PUR) などの内径 6 mm x 外径 8 mm のプラスチック ホースに簡単に接続できるように設計されており、Agilent Varian の部品番号は PN 9699337 です。モデル: TwisTorr 305 FS TwisTorr を含む、ほとんどの Agilent Varian ターボ ポンプに適合します。 305 IC ツイトール 404 FS ツイトール 704 FS ツイトール 804 FS チューブロ V 1001

Agilent Varian ターボ水冷キット (プラスチックホース継手付き) は、ほとんどの Agilent ターボ分子ポンプに適合します。内径 4 mm x 外径 6 mm プラスチック ホース用、Agilent Varian 部品番号 PN: 9699347。 これらのプラスチック チューブ水冷キットは、Agilent Varian TwisTorr 305 FS、750 FS、および 850 FS ターボ分子真空ポンプを水冷するように設計されています。内径 4 mm x 外径 6 mm のプラスチック ホースに簡単に接続できるように設計されており、Agilent Varian 部品番号は PN 9699347 です。以下のモデルを含むほとんどの Agilent Varian ターボ ポンプに適合します。 TwisTorr 305 FS TwisTorr 305 IC TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS ターボ-V 1001

ラックマウントコントローラ付き TwisTorr 305 FS ターボ分子ポンプ用 Agilent Varian ファン空冷キット。 Agilent Varian 部品番号 PN: X3500-68011。この Agilent Varian エアファン冷却キットは、TwisTorr 305 FS ターボ分子真空ポンプ用で、305 FS 冷却ファンはラックマウントコントローラの背面に接続されます (横の中央の写真を参照)。ファン ケーブルは、ラック マウント コントローラの背面にある J6 FAN に差し込みます。また、5 メートルのファン延長ケーブル (PN: 9699940) も販売しています。真空アプリケーションのニーズに役立つ追加アクセサリについては、以下の関連製品セクションを参照してください。このウェブサイトでは、別売りのさまざまな真空継手、ホース、真空計、センサー/トランスデューサー、アクセサリーを提供しています。取扱説明書については、以下の「ダウンロード」セクションをご覧ください。次の Agilent Varian ターボ ポンプで動作します:305 FS

TwisTorr 305-IC (内部コントローラ付き) ターボ分子ポンプ用の Agilent Varian ファン空冷キット。 Agilent 真空部品番号 PN: X3500-68010この Agilent Varian 305-IC (統合コントローラ付き) ファン空冷キットは、24V DC によって直接電力を供給するか、統合コントローラからのファン出力を使用して電力を供給できます。このファン キットは、305-IC ターボの統合コントローラによって駆動される場合、305-IC ターボ ポンプの統合コントローラに接続するアダプタ キット Agilent PN (X3514-68001、横の中央の図を参照) とも使用する必要があります。ファンの取り付け手順については、以下の PDF 形式の Agilent 305-IC TwisTorr ターボ分子ユーザーマニュアルの 250 ～ 254 ページを参照してください。

Agilent Varian TwisTorr 305-IC (統合コントローラ) 用空冷ファン延長ケーブル、5 メートル。これらのファン延長ケーブルは、Agilent Varian TwisTorr 305-IC (統合コントローラ) ターボ ポンプで使用されます。 TwisTorr 305 FS は、卓越したパフォーマンスをもたらした革新的な画期的な技術を備えた、コンパクトで信頼性が高くエネルギー効率の高い 300 l/s ターボ ドラッグ ポンプです。これらは信頼性を重視して設計されており、新しい Agilent フローティング サスペンションを備えています。これにより、ターボは低振動、低音響ノイズ、ベアリングの最適な動作条件を実現し、動作寿命が延長され、要求の厳しい SEM アプリケーション向けに優れた安定性を実現します。 TwisTorr 305 FS のベース圧力は、推奨される粗引きポンプを使用した場合、1x10-10 Torr と低くなります。ターボには KF-16 荒削りフランジがあり、KF-25 荒削りフランジ (部品番号: X3513-68000) と交換するオプションもあります。以下の PDF ダウンロードセクションで利用可能な取扱説明書をご覧ください。

IVP 空冷ファン延長ケーブル Agilent Varian TwisTorr ターボ分子ポンプ用ラックマウントコントローラ付き、長さ 5 M、PN: 9699940 と交換。この理想的な真空空冷ファン延長ケーブルは、ターボポンプの空冷ファンをリモートのラックマウントコントローラに接続するために使用します。 。これは、Agilent Varian 部品番号 9699940 を直接置き換えるものです。Agilent Varian TwisTorr 74FS、84FS、304FS、305FS、Turbo-V 81、および V301 ターボ ポンプで使用できます。このケーブルは長さ 5 メートルで、一方の端にオス USB-B、もう一方の端にメス USB-B が付いています。ファンの電源ケーブルはケーブルの一端に差し込まれます。もう一方の端は、ラック マウント コントローラーの背面にある J6 メス USB-B コネクタに差し込みます。

Agilent Varian ベントバルブおよび空冷アダプタキットは、冷却ファンまたはベントバルブを TwistTorr 305-IC ターボポンプに接続します。 Agilent Varian 部品番号 PN: X3514-68001。この Agilent Varian ベント バルブおよび空冷コネクタ キットは、TwisTorr 305-IC の統合コントローラから電力を供給される冷却ファンまたはベント バルブを取り付けるときに必要です。中央の写真は、このアダプタがターボ ポンプ入力電力、シリアル通信、リモート入出力制御を処理する 305-IC の DB-15 ポートにどのように接続されているかを示しています。取り付け手順は、以下の PDF 形式の Agilent 305-IC TwisTorr ターボ分子ユーザーマニュアルの 250 ～ 254 ページに記載されています。真空アプリケーションのニーズに役立つ追加のアクセサリについては、このページの下部にある「関連製品」セクションをご覧ください。このウェブサイトでは、別売りのさまざまな真空継手、ホース、真空計、センサー/トランスデューサー、アクセサリーを提供しています。取扱説明書については、以下の「ダウンロード」セクションをご覧ください。

Agilent Varian ターボポンプベントバルブキット、遅延ベント、通常開 (NO)、0.5 mm オリフィス、TwisTorr ラックマウントコントローラ用。 Agilent Varian 部品番号 PN 9699844。これらの Agilent Varian ターボ ポンプ ベント バルブ キットには 0.5 mm のオリフィスがあり、通常は開いており (NO)、ターボ コントローラの電源がオンになると閉じられます。電源が失われた場合、このベントバルブが開き、ターボを安全に停止させる速度でターボに空気を導入し始めます。これは、ポンプのベアリングに負担をかける共振周波数を通過する間にターボが費やす時間を制限することで、ターボの寿命を延ばすのに役立ちます (これらの共振を通過すると、ポンプの音が実際に大きくなるのが聞こえるでしょう)。停電後の排気は、補助ポンプからの逆流を防ぐためにも重要です。停電後にターボに真空が残っていると、補助ポンプからの油や破片がターボ ポンプに吸い戻される可能性があります。停電時にターボを保護するために、ベントバルブまたは粗引きライン常閉 (NC) 遮断バルブの使用をお勧めします。このキットには、Agilent Varian ターボ ポンプの側面に取り付けるために必要なハードウェアが含まれています。これは、Agilent Varian ラックマウント ターボ ポンプ コントローラに接続するように設計されています。中央の写真の J7 を参照、Agilent Varian 部品番号 9699844 です。ベント バルブ延長ケーブル 5 メートル (Agilent Varian 部品番号 9699941) も販売しています。取扱説明書は以下の PDF ダウンロードセクションにあります。以下のターボポンプモデルで動作します:TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS

Agilent Varian ターボベントバルブ、ノーマルオープン (NO)、オリフィス 1.2 mm、TwisTorr または Turbo-V (統合コントローラまたはオンボードナビゲータ) ターボポンプ用。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699834。これらの Agilent Varian ベント バルブは、TwisTorr FS および Turbo-V (統合コントローラまたはオンボード ナビゲータ付き) ターボ ポンプ用に設計されています。ベントバルブが統合コントローラから電力とロジックを取得できるようにするためのアダプタも必要です。必要なアダプタの Agilent Varian 部品番号 X3514-68001 (中央の写真を参照)。これらの Agilent Varian ターボ ポンプ ベント バルブ キットには 1.2 mm のオリフィスがあり、通常は開いており (NO)、ターボ コントローラの電源がオンになると閉じられます。電源が失われた場合、このベントバルブが開き、ターボを安全に停止させる速度でターボに空気を導入し始めます。これにより、ポンプのベアリングに負担をかける共振周波数を通過する時間を制限することで、ターボの寿命を延ばすことができます (これらの共振を通過すると、ポンプの音が実際に大きくなるのが聞こえます)。停電後の排気は、補助ポンプからの逆流を防ぐためにも重要です。停電後にターボに真空が残っていると、補助ポンプからの油や破片がターボ ポンプに吸い戻される可能性があります。停電時にターボを保護するために、ベントバルブまたは粗引きライン常閉 (NC) 遮断バルブの使用をお勧めします。このキットには、Agilent Varian ターボ ポンプの側面に取り付けるために必要なハードウェアが含まれています。これらの 305-IC ベント バルブ用の 5 メートルのベント バルブ延長ケーブル (Agilent Varian 部品番号 9699949) も販売しています。これは、ローカル ツールまたは実験室機器からのロジックによってベントを制御するために使用されます。以下の PDF ダウンロード セクションで入手可能な取扱説明書をご覧ください。以下の Agilent Varian ターボ ポンプで動作します: TwisTorr 305-IC TwisTorr 404 FS オンボード ナビゲータ TwisTorr 704 FS オンボード ナビゲータ TwisTorr 804 FS オンボード ナビゲータ Turbo-V 1001 オンボード ナビゲータ

Agilent Varian ターボポンプベントバルブ延長ケーブル、ラックマウントコントローラで使用、長さ 5 メートル。 Agilent Varian 部品番号 9699941。これらの Agilent Varian ベント バルブ延長ケーブルは、ベント バルブとターボ コントローラ間の距離を延長するために使用されます。長さは 5 メートルで、ラック マウント コントローラの背面にある J7 に差し込みます (「中央の写真）。このベント バルブ延長ケーブルは Agilent Varain 部品番号 9699941 で、当社のベント バルブ Agilent Varian 部品番号 PN 9699844 と一緒によく使用されます。以下のダウンロード セクションで入手可能な取扱説明書を参照してください。以下のターボ ポンプ モデルで動作します: TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS

Agilent Varian ターボパージバルブ、10 SCCM KF-16 x M12、ほとんどの中型 Agilent ターボ分子真空ポンプに適合します。 Agilent Varian 部品番号 PN: 969-9239。これらの Agilent Varian ターボパージ バルブは、10 SCCM の固定流量、KF-16 フランジ付きガス供給フィッティングを備え、M12 ベントポートネジを備えたほとんどの中型ターボ分子真空ポンプで動作するように設計されています。ベントポートの 2 番目と 3 番目の写真と、取り付けを示す漫画を参照してください。手順は、TwisTorr 305 FS マニュアルの 247 ページにも記載されています。 ガスパージバルブは、ポンプベアリングを粒子状ガスや腐食性ガスから保護するための保護装置です。ポンプ内に移動します。すべてのバルブは、カートリッジに取り付けられた薄い校正サファイアオリフィスで作られており、正確な小さなリーク率を提供し、チューブの各側面に 2 つの特別な PTFE 膜が付いています。これは、微粒子、粉末、液体が細い穴に入り込んで閉塞するのを避けるためです。バルブの各バージョンは、特定の用途に適しています。 - 腐食性ガスの分圧が最大 10-5 mbar (分析機器、イオン注入装置) の場合の穏やかな腐食性動作向けの小さなリーク (1000 mbar で ~ 10 sccm)。 - 腐食性ガスの分圧が >10-5 mbar の場合、重度の腐食性操作 (エッチング、CVD) での大リーク (1000 mbar で約 20 sccm)。別の流量を使用したい場合は、供給圧力を変更してください。特定の供給圧力に対して、ガス パージ バルブは固定流量値を提供します。流量はバルブの真空側圧力には依存しませんのでご注意ください。これらのターボパージバルブには、アジレントバリアン部品番号PN 969-9239。

Agilent Varian ターボパージ バルブ、20 SCCM KF-16 x M12、ほとんどの中型 Agilent ターボ分子真空ポンプに適合します。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699241。これらの Agilent Varian ターボ パージ バルブは、20 SCCM の固定流量、KF-16 ガス供給フィッティングを備え、M12 ベント ポートネジを備えたほとんどの中型ターボ分子真空ポンプで動作するように設計されています。ベントポートの 2 番目と 3 番目の写真と、取り付けを示す漫画を参照してください。手順は、TwisTorr 305 FS マニュアルの 247 ページにも記載されています。 ガスパージバルブは、ポンプベアリングを粒子状ガスや腐食性ガスから保護するための保護装置です。ポンプ内に移動します。すべてのバルブは、カートリッジに取り付けられた薄い校正サファイアオリフィスで作られており、チューブの各側面に 2 つの特別な PTFE 膜があり、正確な小さなリーク率を提供します。これは、微粒子、粉末、液体が細い穴に入り込んで閉塞するのを避けるためです。バルブの各バージョンは、特定の用途に適しています。 - 腐食性ガスの分圧が最大 10-5 mbar の場合の穏やかな腐食性動作用の小さなリーク (1000 mbar で約 10 sccm) (分析機器、イオン注入機)。 - 腐食性ガスの分圧が >10-5 mbar の場合、重度の腐食性操作 (エッチング、CVD) での大リーク (1000 mbar で約 20 sccm)。別の流量を使用したい場合は、供給圧力を変更してください。特定の供給圧力に対して、ガス パージ バルブは固定流量値を提供します。流量はバルブの真空側圧力には依存しませんのでご注意ください。これらのターボパージバルブには、アジレントバリアン部品番号PN 969-9241があります。

Agilent Varian ターボパージ バルブ、10 SCCM 1/4 Swagelok x M12、ほとんどの中型 Agilent ターボ分子真空ポンプに適合します。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699240。これらの Agilent Varian ターボ パージ バルブは、10 SCCM の固定流量、1/4 Swagelok ガス供給フィッティングを備え、M12 ベント ポートネジを備えたほとんどの中型ターボ分子真空ポンプで動作するように設計されています。 。ベントポートの 2 番目と 3 番目の写真と、取り付けを示す漫画を参照してください。手順は、TwisTorr 305 FS マニュアルの 247 ページにも記載されています。 ガスパージバルブは、ポンプベアリングを粒子状ガスや腐食性ガスから保護するための保護装置です。ポンプ内に移動します。すべてのバルブは、カートリッジに取り付けられた薄い校正サファイアオリフィスで作られており、チューブの各側面に 2 つの特別な PTFE 膜があり、正確な小さなリーク率を提供します。これは、微粒子、粉末、液体が細い穴に入り込んで閉塞するのを避けるためです。バルブの各バージョンは、特定の用途に適しています。 - 腐食性ガスの分圧が最大 10-5 mbar の場合の穏やかな腐食性動作用の小さなリーク (1000 mbar で約 10 sccm) (分析機器、イオン注入機)。 - 腐食性ガスの分圧が >10-5 mbar の場合、重度の腐食性操作 (エッチング、CVD) での大リーク (1000 mbar で約 20 sccm)。別の流量を使用したい場合は、供給圧力を変更してください。特定の供給圧力に対して、ガス パージ バルブは固定流量値を提供します。流量はバルブの真空側圧力には依存しませんのでご注意ください。これらのターボパージバルブには、アジレントバリアン部品番号PN 969-9240があります。

Agilent Varian ターボパージ バルブ、20 SCCM 1/4 Swagelok x M12、ほとんどの中型 Agilent ターボ分子真空ポンプに適合します。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699242。これらの Agilent Varian ターボ パージ バルブは、20 SCCM の固定流量、1/4 Swagelok ガス供給フィッティングを備え、M12 ベント ポートネジを備えたほとんどの中型ターボ分子真空ポンプで動作するように設計されています。 。ベントポートの 2 番目と 3 番目の写真と、取り付けを示す漫画を参照してください。手順は、TwisTorr 305 FS マニュアルの 247 ページにも記載されています。 ガスパージバルブは、ポンプベアリングを粒子状ガスや腐食性ガスから保護するための保護装置です。ポンプ内に移動します。すべてのバルブは、カートリッジに取り付けられた薄い校正サファイアオリフィスで作られており、チューブの各側面に 2 つの特別な PTFE 膜があり、正確な小さなリーク率を提供します。これは、微粒子、粉末、液体が細い穴に入り込んで閉塞するのを避けるためです。バルブの各バージョンは、特定の用途に適しています。 - 腐食性ガスの分圧が最大 10-5 mbar の場合の穏やかな腐食性動作用の小さなリーク (1000 mbar で約 10 sccm) (分析機器、イオン注入機)。 - 腐食性ガスの分圧が >10-5 mbar の場合、重度の腐食性操作 (エッチング、CVD) での大リーク (1000 mbar で約 20 sccm)。別の流量を使用したい場合は、供給圧力を変更してください。特定の供給圧力に対して、ガス パージ バルブは固定流量値を提供します。流量はバルブの真空側圧力には依存しませんのでご注意ください。これらのターボパージバルブには、アジレントバリアン部品番号PN 969-9242。

Agilent Varian ターボパージ バルブ、10 SCCM には 7/16 および 1/4 Swagelok 継手が付いており、ほとんどの中型 Agilent ターボ分子真空ポンプに適合します。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699232。これらの Agilent Varian ターボ パージ バルブは、固定流量 10 SCCM を備え、7/16 および 1/4 Swagelok ガス供給フィッティングを備え、ほとんどの中型のパージ ガス供給ラインに挿入できるように設計されています。ターボ分子真空ポンプ。ベントポートの 2 番目と 3 番目の写真と、取り付けを示す漫画を参照してください。手順は、TwisTorr 305 FS マニュアルの 247 ページにも記載されています。 ガスパージバルブは、ポンプベアリングを粒子状ガスや腐食性ガスから保護するための保護装置です。ポンプ内に移動します。すべてのバルブは、カートリッジに取り付けられた薄い校正サファイアオリフィスで作られており、チューブの各側面に 2 つの特別な PTFE 膜があり、正確な小さなリーク率を提供します。これは、微粒子、粉末、液体が細い穴に入り込んで閉塞するのを避けるためです。バルブの各バージョンは、特定の用途に適しています。 - 腐食性ガスの分圧が最大 10-5 mbar の場合の穏やかな腐食性動作用の小さなリーク (1000 mbar で約 10 sccm) (分析機器、イオン注入機)。 - 腐食性ガスの分圧が >10-5 mbar の場合、重度の腐食性操作 (エッチング、CVD) での大リーク (1000 mbar で約 20 sccm)。別の流量を使用したい場合は、供給圧力を変更してください。特定の供給圧力に対して、ガス パージ バルブは固定流量値を提供します。流量はバルブの真空側圧力には依存しませんのでご注意ください。これらのターボパージバルブには、アジレントバリアン部品番号PN 969-9232があります。

Agilent Varian ターボ分子真空ポンプ、20 SCCM には 7/16 および 1/4 Swagelok 継手が付いており、ほとんどの中型 Agilent ターボ分子真空ポンプに適合します。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699236。これらの Agilent Varian ターボ パージ バルブは、20 SCCM の固定流量を備え、7/16 および 1/4 Swagelok ガス供給フィッティングを備え、ほとんどの中型のパージ ガス供給ラインに挿入できるように設計されています。ターボ分子真空ポンプ。ベントポートの 2 番目と 3 番目の写真と、取り付けを示す漫画を参照してください。手順は、TwisTorr 305 FS マニュアルの 247 ページにも記載されています。 ガスパージバルブは、ポンプベアリングを粒子状ガスや腐食性ガスから保護するための保護装置です。ポンプ内に移動します。すべてのバルブは、カートリッジに取り付けられた薄い校正サファイアオリフィスで作られており、チューブの各側面に 2 つの特別な PTFE 膜があり、正確な小さなリーク率を提供します。これは、微粒子、粉末、液体が細い穴に入り込んで閉塞するのを避けるためです。バルブの各バージョンは、特定の用途に適しています。 - 腐食性ガスの分圧が最大 10-5 mbar の場合の穏やかな腐食性動作用の小さなリーク (1000 mbar で約 10 sccm) (分析機器、イオン注入機)。 - 腐食性ガスの分圧が >10-5 mbar の場合、重度の腐食性操作 (エッチング、CVD) での大リーク (1000 mbar で約 20 sccm)。別の流量を使用したい場合は、供給圧力を変更してください。特定の供給圧力に対して、ガス パージ バルブは固定流量値を提供します。流量はバルブの真空側圧力には依存しませんのでご注意ください。これらのターボパージバルブには、アジレントバリアン部品番号PN 969-9236があります。