これは、入口ポートと出口ポートに KF-16 フランジを備えた手動操作の 90°直角理想真空スーパーシール ベローズ バルブです。高真空 (10 ^-8 Torr) での使用に適しており、60 ～ 80 psig の正圧範囲まで使用できます。これらのスーパーシール バルブのリーク率は 10 ^-9 Torr l/s (He) です。すべての高真空定格スーパーシール バルブは、バルブ本体と機構に 304L ステンレス鋼を使用し、Viton® ボンネットとポペット シール O リングを使用します。これらのバルブは、低摩擦で動作し、ポリマー エラストマー表面の磨耗がゼロであるため、何千サイクルにもわたって繰り返し可能なシール動作が可能です。スーパーシールバルブは高いコンダクタンスを提供し、排気ガス流量を最大化します。これらのバルブは 150°C までベーク可能であり (バイトン O リングによって制限されます)、最大 15 psig の最大差圧に耐えることができます。どの向きでも取り付けることができます。

手動操作のスーパーシール ベローズ バルブは、自動化が必要ない場合に最適なソリューションです。これらは、同様の空気圧操作のベローズ バルブよりも大幅に安価で、迅速に展開されます。手動ベローズ バルブは粗引きや高真空のフォアラインで頻繁に使用され、優れたチャンバー ベント バルブとなります。理想的な真空手動ベローズ スーパーシール バルブは、半導体製造、プラズマ物理研究、核加速器に至るまでの用途に使用されています。

Super-Seal 高真空定格バルブ (Viton シール付き) のメジャーおよびマイナー再構築キットが在庫されており、Super-Seal 手動ベローズ バルブを最高のパフォーマンスで動作し続けるためにすぐにご利用いただけます。他の O リング シール素材 (Buna、シリコン、Kalrez) を使用したキットも特注でご利用いただけます。

仕様と寸法データについてはパンフレットを参照してください。 Ideal Vacuum Super-Seal ファミリの手動操作ベローズ バルブおよびアクセサリに関する完全な情報については、ユーザー マニュアルをダウンロードしてください。また、自動化が必要な場合に備えて、スーパーシール ソレノイド操作の空気圧ベローズ バルブのシリーズ全体も取り揃えています。