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理想的な真空円形マグネトロンスパッタリングターゲット、二酸化ジルコニウム - ZrO ₂スパッタリングターゲット、直径3インチ x 厚さ0.25インチ、純度99.99パーセント、0.125インチOFHC銅バッキングプレートに金属結合

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理想的な真空円形マグネトロンスパッタリングターゲット、二酸化ジルコニウム - ZrO ₂スパッタリングターゲット、直径3インチ x 厚さ0.25インチ、純度99.99パーセント、0.125インチOFHC銅バッキングプレートに金属結合

状態：

新しい

部品番号:

P1013934

保証：

Full Manufacturer's Warranty

今すぐ利用可能 5

セール： ¥134,043.00

Tariffs: ¥37,090.14

通貨： Japanese Yen (JPY)

説明

理想的な真空円形マグネトロンスパッタリングターゲット、二酸化ジルコニウム - ZrO ₂スパッタリングターゲット、直径3インチ x 厚さ0.25インチ、純度99.99パーセント、0.125インチOFHC銅バッキングプレートに金属結合
アイディアル・バキューム・プロダクツLLC.

本製品は、直径3インチ×厚さ0.25インチの円形マグネトロンZrO ₂スパッタリングターゲットです。純度99.99%で、厚さ0.125インチのOFHC（無酸素高伝導性）銅バッキングプレートに金属接合されています。

最高品質の製品を可能な限り最高の価値でお届けするため、当社は非常に競争力のある価格戦略を採用しています。あらゆるご購入において、お求めやすい価格で優れた品質をお届けしています。すべてのお客様に大幅な割引を提供しており、大量注文のお客様には大幅な節約をお楽しみいただけます。当社は大量の製品を在庫しており、ご注文後、即日配送を保証しています。この短いリードタイムは、迅速な納期でキャッシュフローを管理したいすべてのお客様に好評です。常連のお客様は、在庫レベルを低く抑え、保管コストを削減し、陳腐化のリスクを最小限に抑えることができます。Ideal Vacuumからご購入いただくことで、お客様はより早く製品を受け取ることができ、満足度を高め、緊急のニーズにも対応できます。これにより、お客様は新しいトレンドや需要に迅速に対応し、競合他社に先んじることができます。

酸化ジルコニウム
二酸化ジルコニウム（ZrO ₂ ）は、ジルコニアとも呼ばれ、ジルコニウムと酸素からなる無機化合物です。白色の結晶性固体で、優れた硬度、化学的安定性、そして高い融点を持つことで知られています。ZrO 2 は、その堅牢な物理的特性と汎用性から、様々な産業用途や科学研究用途で広く使用されています。

二酸化ジルコニウム（ZrO ₂ ）は、その優れた熱特性、化学特性、光学特性から、薄膜コーティングに広く使用されています。高い屈折率、化学的安定性、そして機械的耐久性により、様々な高度な薄膜用途に最適な材料となっています。以下は、薄膜コーティングにおけるZrO ₂の主な用途です。

1. 光学コーティング
2. 誘電体層。
3.保護およびバリアコーティング
4. 遮熱コーティング。

二酸化ジルコニウムの薄膜は、高屈折率、誘電強度、熱安定性の独自の組み合わせにより、光学デバイス、マイクロエレクトロニクス、保護コーティング、高温システムなど、幅広い高度なアプリケーションで利用されています。

RFスパッタリングとDCスパッタリングの比較:
純粋な金属酸化物は絶縁体であり、RFスパッタリングはターゲット表面への電荷の蓄積を防ぐ交流電界を発生させるため、RFスパッタリングはしばしば好まれる手法です。この交流電界は、DCスパッタリングでアーク放電を引き起こす可能性のある電荷の蓄積を低減します。

堆積速度:
堆積速度の低下：RFスパッタリングでは、主に電界の交流特性により、DCスパッタリングに比べてプラズマへの電力伝達効率が低くなります。そのため、同等の電力条件下では、DCスパッタリングに比べて堆積速度が低下します。

対象材料:
導電性ターゲット（反応性スパッタリングにおけるチタンなど）の場合、DCスパッタリングの方が堆積速度が速くなります。一方、純金属酸化物のような絶縁性ターゲットの場合は、RFスパッタリングを使用する必要があり、堆積速度は通常低くなります。

パワーレベル:
電力を増加させると、RF スパッタリングと DC スパッタリングの両方で堆積速度を上げることができますが、導電性材料の場合は、堆積速度は依然として DC の方が高くなる傾向があります。

圧力とガス流量:
ガス圧力とガス流量を最適化することで、RF と DC の異なる最適条件を適用し、より高い堆積速度を実現できます。

注記:
誘電体ターゲット材料には、脆性や低熱伝導率など、スパッタリングに適さない特性を持つため、金属またはエラストマー製のバッキングプレート接合が推奨されます。これらのターゲットは熱伝導率が低いため、熱衝撃の影響を最も受けやすく、起動時および停止時に特別な電力上昇および下降手順が必要となる場合があります。