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理想的な真空円形マグネトロンスパッタリングターゲット、フッ化マグネシウム - MgF ₂スパッタリングターゲット、直径3インチ x 厚さ0.25インチ、純度99.9パーセント、0.125インチOFHC銅バッキングプレートに金属結合

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理想的な真空円形マグネトロンスパッタリングターゲット、フッ化マグネシウム - MgF ₂スパッタリングターゲット、直径3インチ x 厚さ0.25インチ、純度99.9パーセント、0.125インチOFHC銅バッキングプレートに金属結合

状態：

新しい

部品番号:

P1013936

保証：

Full Manufacturer's Warranty

今すぐ利用可能 7

セール： ¥133,159.20

Tariffs: ¥36,845.62

通貨： Japanese Yen (JPY)

説明

理想的な真空円形マグネトロンスパッタリングターゲット、フッ化マグネシウム - MgF ₂スパッタリングターゲット、直径3インチ x 厚さ0.25インチ、純度99.9パーセント、0.125インチOFHC銅バッキングプレートに金属結合
アイディアル・バキューム・プロダクツLLC.

本製品は、直径3インチ×厚さ0.25インチの円形マグネトロンマグネシウム（MgF _{2 ）}スパッタリングターゲットです。純度99.9%で、厚さ0.125インチのOFHC（無酸素高伝導性）銅バッキングプレートに金属接合されています。

最高品質の製品を可能な限り最高の価値でお届けするため、当社は非常に競争力のある価格戦略を採用しています。あらゆるご購入において、お求めやすい価格で優れた品質をお届けしています。すべてのお客様に大幅な割引を提供しており、大量注文のお客様には大幅な節約をお楽しみいただけます。当社は大量の製品を在庫しており、ご注文後、即日配送を保証しています。この短いリードタイムは、迅速な納期でキャッシュフローを管理したいすべてのお客様に好評です。常連のお客様は、在庫レベルを低く抑え、保管コストを削減し、陳腐化のリスクを最小限に抑えることができます。Ideal Vacuumからご購入いただくことで、お客様はより早く製品を受け取ることができ、満足度を高め、緊急のニーズにも対応できます。これにより、お客様は新しいトレンドや需要に迅速に対応し、競合他社に先んじることができます。

フッ化マグネシウム - MgF ₂
フッ化マグネシウム（MgF _{2 ）}は、優れた透過特性と耐久性により、光学用途で広く使用されている材料です。主な特性を以下にまとめます。
屈折率: ~1.38 (550 nm 時)、低屈折率材料になります。
透明範囲: MgF ₂は、深紫外線 (~120 nm) から中赤外線 (~7 µm) まで透過する広い透過ウィンドウを備えているため、紫外線、可視光線、赤外線の用途に適しています。
光学コーティング: レンズ、フィルター、その他の光学部品の反射防止コーティングや多層光学コーティングによく使用されます。
耐久性: MgF ₂は硬く、化学的に安定しており、環境劣化に耐性があり、過酷な条件での使用に適しています。
堆積方法: 通常は絶縁性のため、RF スパッタリングによって堆積されます。
MgF _{2 は}、広い光透過性と低い屈折率を備えているため、さまざまな光学システムで反射率を低減するのに最適です。

RFスパッタリングとDCスパッタリングの比較:
純粋な金属酸化物は絶縁体であり、RFスパッタリングはターゲット表面への電荷の蓄積を防ぐ交流電界を発生させるため、RFスパッタリングはしばしば好まれる手法です。この交流電界は、DCスパッタリングでアーク放電を引き起こす可能性のある電荷の蓄積を低減します。

堆積速度:
堆積速度の低下：RFスパッタリングでは、主に電界の交流特性により、DCスパッタリングに比べてプラズマへの電力伝達効率が低くなります。そのため、同等の電力条件下では、DCスパッタリングに比べて堆積速度が低下します。

対象材料:
導電性ターゲット（反応性スパッタリングにおけるチタンなど）の場合、DCスパッタリングの方が堆積速度が速くなります。一方、純金属酸化物のような絶縁性ターゲットの場合は、RFスパッタリングを使用する必要があり、堆積速度は通常低くなります。

パワーレベル:
電力を増加させると、RF スパッタリングと DC スパッタリングの両方で堆積速度を上げることができますが、導電性材料の場合は、堆積速度は依然として DC の方が高くなる傾向があります。

圧力とガス流量:
ガス圧力とガス流量を最適化することで、RF と DC の異なる最適条件を適用し、より高い堆積速度を実現できます。

注記:
誘電体ターゲット材料には、脆性や低熱伝導率など、スパッタリングに適さない特性を持つため、金属またはエラストマー製のバッキングプレート接合が推奨されます。これらのターゲットは熱伝導率が低いため、熱衝撃の影響を最も受けやすく、起動時および停止時に特別な電力上昇および下降手順が必要となる場合があります。