リビルド Agilent Varian TwisTorr 704 FS ターボ分子高真空ポンプ、CF 8 インチ インレット

この再構築された Agilent Varian TwisTorr 704 FS ターボ分子高真空ポンプは、入口フランジに CF-8 を備え、到達圧力は 1x10 ^-10 Torr で、Agilent Varian 部品番号 X3511-64002 です。 TwisTorr 704 ターボ分子ポンプは、窒素 (N2) の排気速度 660 l/s により、最小限のコストで最大限の性能を発揮します。 TwisTorr 704 は、水素やヘリウムなどの軽ガスの高い圧縮比を生み出す TwisTorr ドラッグ ステージを利用して、高スループットと高いフォアライン圧力耐性を実現し、それにより小型でより経済的な補助ポンプの使用を可能にします。すべての排気プロファイルで TwisTorr 704 FS を動作させるために使用できる、8 CFM 程度の小さなプライマリ ポンプ サイズ (Agilent Varian TriScroll 300 および IDP-15 ドライ スクロール真空ポンプ、または DS302 ロータリー ベーン真空ポンプなど) を推奨します。 ISO および Con flat 入口フランジを備えた TwisTorr 704 ターボ ポンプはベーク可能で、入口フランジでの最大ベークアウト温度は 80 °C (ISO) および 120 °C (Conflat) です。このユニットは水冷ではありませんが、空冷キットを別途購入することができます。

Agilent Varian TwisTorr 704 ターボ分子高真空ポンプは、電子顕微鏡 (SEM、TEM)、集束イオンビーム システム (FIB)、表面分析などの多くの分析機器アプリケーションに統合されています。SEM、TEM、FIB などの最新の集束ビーム システムではカラムが使用されます。詳細な分析のために電子またはイオンを顕微鏡サンプルに投影します。エンドユーザーは、有機化合物から半導体ウェーハに至るまで、あらゆる種類の物質を分析します。特に半導体業界では、より優れたサンプル分解能を得るためにより高い感度が必要です。もう 1 つの重要な要件は、これらの機器の所有コストを下げるための高いサンプル スループットです。 Agilent Varian TwisTorr 704 ターボ分子高真空ポンプは、大きなサンプル チャンバのオイルフリーの高速排気を実現するため、最新の集束ビーム システムの重要なコンポーネントでもあります (オイルフリー動作は、次のような多くの最新の分析アプリケーションの重要な要件です)。半導体製造）。

すべてのオプションのアクセサリ、コントローラ、およびさまざまな構成は、Ideal Vacuum Products から入手できます。ユーザーマニュアルとデータシートは、ダウンロードセクションから PDF 形式でダウンロードできます。ターボ ポンプのニーズについては、(505) 872-0037 までお電話ください。