アネスト岩田 DVSL-100C オイルフリー ドライ スクロール ポンプ、KF-25 インレット、4.2 CFM、2.3x10 -1 Torr、単相 100-115/200-230 VAC。
アネスト岩田品番:DVSL-100C-B。アネスト岩田 DVSL-100C-B オイルフリー ドライ スクロール ポンプは、単相 100 ~ 115/200 ~ 230 VAC、50/60 Hz で動作します。このアネスト岩田 DVSL-100C-B の排気量は 60hz で 4.2 CFM、到達圧力は 3.8x10
-1 Torr です。このポンプは高性能、コンパクトな設計、非常に軽量で、経済的で操作費も安価です。日常的なメンテナンスはほとんど必要なく、オイル交換、フィルター、フォアライン トラップの交換も必要ありません。油封ロータリーベーンポンプの優れた代替品です。このポンプには単相モーターが搭載されています。取扱説明書は以下のPDF形式でダウンロードできます。
真空ポンプで湿ったガスを汲み出すと、ポンプ内に凝縮した水分が残る場合があります。この残留水分により到達圧力やポンプの故障が発生する可能性があります。ポンプ内に残った水分を汲み上げるためにエアフラッシュ操作が必要です。エアフラッシュ動作は、残留水分を排出するだけでなく、到達圧力も回復します。
アプリケーション- スパッタリング装置、真空蒸着装置、イオンプレーティング装置
- 加速器、放射光
- 表面改質、電子ビーム加工
- ガス回収装置
- 真空装置
- リークディテクタ
- デバイスハンドリングシステム
- 真空炉、熱処理炉
- 実験室での使用
- 真空包装機
アネスト岩田 ISP シリーズの真空ポンプはクリーンな真空環境を提供し、煩雑な潤滑剤のメンテナンスや封水管理の煩わしさを解消します。 ISPシリーズは空冷式のため設置制限がありません。 ISP 真空ポンプは、大気圧から最高圧力まで低消費電力を維持します。