iQDP、iH、および iL 半導体真空ポンプ用に再構築された Edwards im インターフェイス モジュール。 PN: A528-44-463
インターフェイス モジュールを使用すると、独自の制御機器を使用して、iH、iL、または iQ ドライ ポンプ システムの動作を制御したり、その状態を監視したりできます。
Edwards インターフェース モジュールは、Edwards iQ、iH および iL ドライ ポンプ システムで使用するように設計されており、ポンプ システムを他の機器に接続できます。たとえば、プロセス ツールやその他の制御機器などです。このモジュールには、ツール インターフェイス カードと補助インターフェイス カードの 2 つのインターフェイス カードがあります。こちらはモデルA528-44-463Rです。インストール、操作、およびメンテナンスの手順については、以下の利用可能なダウンロードにある .pdf 取扱説明書を参照してください。