Pfeiffer CMR 365 セラミック静電容量ダイヤフラム ゲージ、KF16 フランジ、0.1 hPa (0.1 mBar/75 m Torr) フルスケール。 PN: PT R24 641 KF-16 フランジを備えた Pfeiffer CMR 365 静電容量ダイヤフラム ゲージは、フルスケール測定範囲が 0.1 hPa (0.1 mBar/75 mTorr)、最小測定値が 10 -5 mbar (7.5 x10 -2 mTorr) です。このゲージの応答時間は 130ms で、精度は測定値の 0.5% です。セラミック酸化アルミニウムの容量性センサー素子は、ガスの種類や組成に関係なく、ガスの絶対圧力を測定するために使用されます。ルックアップ テーブルやガス変換計算は必要ありません。
Pfeiffer CMR 361、362、363、364、および 365 セラミック静電容量ダイヤフラム ゲージは、TPG 361、362、および 366 Pfeiffer ゲージ コントローラと互換性があり、この Web サイトで 3 ~ 10 メートルの長さで入手できるセンサー ケーブルが必要です。コントローラーとケーブルは別売りです。
操作説明書と技術データは以下にあり、ダウンロードして入手できます。