Pfeiffer CMR 364 セラミック静電容量ダイヤフラム ゲージ、KF16 フランジ、1 hPa (1 mBar/750 mTorr) フルスケール。ファイファー部品番号: PT R24 631 KF-16 フランジを備えた Pfeiffer CMR 364 静電容量ダイヤフラム ゲージは、フルスケール測定範囲が 1 hPa (1 mBar/750 mTorr)、最小測定値が 10 -4 mbar (7.5 x10 -2 mTorr) です。このゲージの応答時間は 30ms、精度は測定値の 0.2% です。セラミック酸化アルミニウムの容量性センサー素子は、ガスの種類や組成に関係なく、ガスの絶対圧力を測定するために使用されます。ルックアップ テーブルやガス変換計算は必要ありません。
Pfeiffer CMR 361、362、363、364、および 365 セラミック静電容量ダイヤフラム ゲージは、TPG 361、362、および 366 Pfeiffer ゲージ コントローラと互換性があり、この Web サイトで 3 ~ 10 メートルの長さで入手できるセンサー ケーブルが必要です。コントローラーとケーブルは別売りです。
操作説明書と技術データは以下にあり、ダウンロードして入手できます。