Pfeiffer CMR 364 セラミック静電容量ダイヤフラム ゲージ、1/2 インチ チューブ継手、1 hPa (1 mBar/750 mTorr) フルスケール。 PN: PT R24 630 Pfeiffer CMR 364 静電容量ダイヤフラム ゲージは 1/2 インチ チューブ継手を備えており、フルスケール測定範囲は 1 hPa (1 mBar/750 mTorr)、最小測定値は 10 -4 mbar (7.5 x10 -2 mTorr) です。ゲージの応答時間は 30ms で、精度は測定値の 0.2% です。セラミック酸化アルミニウム容量性センサー要素は、ガスのタイプや組成に関係なく、ガスの絶対圧力を測定するために使用されます。ルックアップ テーブルとガス変換計算は使用されません。必要です。
Pfeiffer CMR 361、362、363、364、および 365 セラミック静電容量ダイヤフラム ゲージは、TPG 361、362、および 366 Pfeiffer ゲージ コントローラと互換性があり、この Web サイトで 3 ~ 10 メートルの長さで入手できるセンサー ケーブルが必要です。コントローラーとケーブルは別売りです。
操作説明書と技術データは以下にあり、ダウンロードして入手できます。