Pfeiffer CMR 361 セラミック静電容量ダイヤフラム ゲージ、CF 1-1/3 (DN 16 CF-R) フランジ、1000 hPa (1000 mBar/750 Torr) フルスケール。 PN: PT R24 602 Pfeiffer CMR 361 静電容量ダイヤフラム ゲージは、CF 1-1/3 (DN 16 CF-R) フランジを備え、フルスケール測定範囲は 1000 hPa (1000 mBar/750 Torr)、最小測定値は 10 -1 mbar ( 75ミリトール)。このゲージの応答時間は 30ms、精度は測定値の 0.2% です。セラミック酸化アルミニウムの容量性センサー素子は、ガスの種類や組成に関係なく、ガスの絶対圧力を測定するために使用されます。ルックアップ テーブルやガス変換計算は必要ありません。
Pfeiffer CMR 361、362、363、364、および 365 セラミック静電容量ダイヤフラム ゲージは、TPG 361、362、および 366 Pfeiffer ゲージ コントローラと互換性があり、この Web サイトで 3 ~ 10 メートルの長さで入手できるセンサー ケーブルが必要です。コントローラーとケーブルは別売りです。
操作説明書と技術データは以下にあり、ダウンロードして入手できます。