MKS マスフロー コントローラ ケーブルは、246 または 247 コントローラを 179 または GM50A マスフロー コントローラに接続、15 ピン タイプ D コネクタ、長さ 10 フィート (3m)。
MKS 部品番号: RCBDMFC-1-10。 MKS マスフロー コントローラー ケーブルは、179、258、358、558、1159、1162、1179、1259、1261、1359、1449、1459、1479、1559、1562、1679、2159、2162、2259、GE50A を接続します。 、GM50A、GM100A 、IE50A、IM50A、P250A、IM250A、M10B、M100 マスフロー コントローラから 15 ピン タイプ D 高密度サブミニチュアから 15 ピン標準サブミニチュア コネクタを備えた 246、247 または 660 コントローラ。こちらはケーブルのみです。
MKS 946 は、多用途のハーフラック真空計測定および制御システムで、圧力制御のオプションを備えた、最大 6 つの異なる真空計および/またはマスフロー コントローラに電力と同時読み取りを提供します。
電源/読み出しは、あらゆる流量トランスデューサーを制御および表示するように設計されています。流量設定値は、フロントパネルのコントロールを介して、またはリアパネルのアナログインターフェイスを介してリモートで調整できます。 946 真空システム コントローラーは、6 チャンネルの連続選択可能な単一読み出しです。マスフローコントローラーおよびマスフロー読み出しと互換性があります。 MKS 946 用の信号ケーブルは、この Web サイトで入手できます。