MKS HPS シリーズ 979B 大気~真空 MicroPirani、KF-16。 MKS 部品番号: 979B-31 MKS HPS® シリーズ 979B 大気圧 - 真空 (ATV) トランスデューサは、10 ~ 10 トール (UHV) から大気圧までの広い測定範囲を提供する汎用真空トランスデューサです。 979B は、MEMS ベースの MicroPirani™ と小型熱陰極センサーの両方を単一のハウジングに組み合わせ、ゲージの統合を簡素化します。 979B は、デジタル通信 (RS232 または RS485) 経由で、または自律アナログ ユニットとして操作できます。脱ガスとフィラメントの選択は、デジタル通信、トップパネルからの押しボタン制御、またはアナログ接続を介して制御できます。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズ コントローラ PN P102879 とともに 979B を使用できます。完全な仕様と操作情報については、「ダウンロード」セクションを参照してください。
特徴と利点。真空センサーと広い測定範囲を組み合わせることで、複雑なマニホールド、配線、制御の要件が不要になります。 MicroPirani™ はポンプダウンサイクル中に自動的にゼロ調整され、精度が向上します。制御を容易にする特許取得済みのガス抜き機能と、プロセス制御用の 3 つのユーザー設定可能なリレー。