MKS Granville Phillips 274 ホットカソードヌード Bayard-Alpert イオンゲージ、2.75 インチ CF、デュアルトリウムコーティングイリジウム、電子衝撃脱ガス、ピンガード。
MKSグランビル・フィリップス部品番号：274023 MKS社による製造中止製品です。後継製品はP1014159、MKS品番：274123です。
MKS Granville Phillips 274 ヌード Bayard-Alpert イオン化ゲージは、広範囲の動作圧力機能を備えた頑丈なオープンゲージです。トリウムコーティングされたイリジウムフィラメント、2.75 ConFlat フランジ、1×10 -3 ～ 2×10 -11 Torr の圧力範囲、最大ベークアウト温度: 450 °C。
MKS Granville Phillips 274 電離圧力計は、2x10 -11 Torr の X 線限界を持ち、1 mTorr から 2x10 -10 Torr までの圧力を確実に測定できますが、2x10 -10 Torr 未満の圧力では性能が低下します。MKS Granville Phillips 274 は、非常に薄いコレクターを使用することで、X 線限界を 5x10 -12 Torr まで下げています。その結果、1m Torr から 5x10 -11 Torr までの圧力を測定できますが、5x10 -11 Torr 未満の圧力では性能が低下します。
グリッド構造が真空チャンバー内に突き出るように適切に取り付けられたヌードゲージは、局所真空圧とチャンバー圧力が一致するという点で、最も誤差が小さくなります。グランビル・フィリップスゲージは、バリアン社のAgilent XGS-600ゲージコントローラと容易に接続でき、様々な真空システムに組み込んだり、スタンドアロンの圧力測定ツールとして使用したりできます。
通常、以下の製品と連携します。- MKS Granville Phillips モデル: 260、270、280、303、306、307、330、340、350、その他。
- MKS Instruments モデル: 290、919、929
- パーキンエルマー モデル: DGC3
- Varian Agilent モデル: 831、836、842、844、845、880、971-0003、971-0014、971-1008、マルチゲージ、Varian 571 チューブ K2471301、XGS-600
- Veecoモデル：RG2、RG3、RG21、RG31、RG81、RG83、RG84、RG830、RG840、RG1000、RG1002
