MKS Granville Phillips 274 ヌード Bayard-Alpert イオンゲージ、2.75 インチ CF フィッティング、シングル イットリア コーティング イリジウム、電子衝撃脱ガスまたは抵抗加熱脱ガス (コントローラーによる)。
MKSグランビル・フィリップス部品番号:274128
P104513、MKS PN 274008の代替品このMKS Granville Phillips 274ヌード・ベイヤード・アルパート電離圧力計は、堅牢なオープン型圧力計で、広範囲の動作圧力に対応し、単一のイットリアコーティングされたイリジウムフィラメントと2.75 CFフランジを備えています。X線による圧力制限は4×
10⁻¹⁰ Torrで、1 mTorrから3×
10⁻¹¹ Torrまでの圧力を±20%の精度で確実に測定でき、ベーキング温度は450 °Cです。
適切に取り付けられたヌードゲージ(グリッド構造が真空チャンバー内に突き出ているタイプ)は、局所的な真空圧力とチャンバー圧力が一致するという点で、最も誤差が小さい測定が可能です。MKS Granville Phillipsゲージは、Varian社のAgilent XGS-600ゲージコントローラと容易に接続でき、様々な真空システムへの組み込みや、スタンドアロンの圧力測定ツールとして使用できます。
通常、以下の製品と連携します。- MKS Granville Phillips モデル: 260、270、280、303、306、307、330、340、350、その他。
- MKS Instruments モデル: 290、919、929
- パーキンエルマー モデル: DGC3
- Varian Agilent モデル: 831、836、842、844、845、880、971-0003、971-0014、971-1008、マルチゲージ、Varian 571 チューブ K2471301、XGS-600
- Veecoモデル:RG2、RG3、RG21、RG31、RG81、RG83、RG84、RG830、RG840、RG1000、RG1002