MKS Granville Phillips 274 ヌード ベイヤード・アルパート イオンゲージ、2.75 インチ CF、シングル イットリアコーティング イリジウム、ピンガード、衝撃脱ガスまたは抵抗加熱脱ガス(コントローラーによる)
MKSグランビル・フィリップス部品番号:274143
P104516、MKS PN 274043の代替品このMKS Graville Phillips 274ヌード・ベイヤード・アルパート電離圧力計は、堅牢なオープン型圧力計で、広範囲の動作圧力に対応し、単一のイットリアコーティングされたイリジウムフィラメント、2.75インチCFフランジ、コネクタロックリング付きピンガードを備えています。圧力測定範囲は1×
10⁻³ Torrから3×
10⁻¹¹ Torrまでで、精度は±20%、X線限界は2×
10⁻¹¹ Torr、ベークアウト温度は450℃です。
グリッド構造が真空チャンバー内に突き出るように適切に取り付けられたヌードゲージは、局所真空圧とチャンバー圧力が一致するという点で、最も誤差が小さくなります。グランビル・フィリップスゲージは、バリアン社のAgilent XGS-600ゲージコントローラと容易に接続でき、様々な真空システムに組み込んだり、スタンドアロンの圧力測定ツールとして使用したりできます。
通常、以下の製品と連携します。- MKS Granville Phillips モデル: 260、270、280、303、306、307、330、340、350、その他。
- MKS Instruments モデル: 290、919、929
- パーキンエルマー モデル: DGC3
- Varian Agilent モデル: 831、836、842、844、845、880、971-0003、971-0014、971-1008、マルチゲージ、Varian 571 チューブ K2471301、XGS-600
- Veecoモデル:RG2、RG3、RG21、RG31、RG81、RG83、RG84、RG830、RG840、RG1000、RG1002