MKS GM50A マスフローコントローラ (MFC) デジタル制御、範囲 1 ~ 50 sccm、RS - 485 シリアル通信プロトコル、4 VCR オス。
MKS部品番号: GM50A015501R5M020。 MKS GM50A マスフローコントローラは、O 2または同等の物質を制御するように構成されており、フルスケールフロー範囲は 50 sccm、制御範囲は 1 ~ 50 sccm です。RS - 485 シリアル通信ポート、0 ~ 5 VDC または 4 ~ 20 mA のフロー入力/出力信号、および Swagelok® 4 VCR® オス入力および出力フィッティングを備えています。通常の応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル校正により、校正ガスの設定点精度は 1% になります。
マルチレンジ機能は、MFC をイーサネット ケーブル経由でルーターまたはコンピューターに接続してアクセスする Web ブラウザー ベースのアプリケーションを通じて設定できます。E-diagnostics アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視できるほか、データをプロットしたり変数を選択したりすることもできます。
スウェージロック、VCR-TM スウェージロック社