MKS タイプ 247 4 チャンネル マスフロー コントローラーの電源と読み出し。
MKS 部品番号: 247D。 MKS タイプ 247 電源/読み出しは、あらゆる流量トランスデューサーを制御および表示するように設計されています。流量設定値は、フロントパネルのコントロールを通じて、またはリアパネルのアナログインターフェイスを通じてリモートで調整できます。 247 は、4 チャネル/連続的に選択可能な単一読み出しです。マスフローコントローラーおよびマスフロー測定値 179、180、579、1179、1479、1480、1559、1579、2179、M10M、M100 と互換性があります。 MKS 247 用の信号ケーブルは、この Web サイトで入手できます。この MKS 247 の仕様については、「ダウンロード」を参照してください。