MKS 1179C マスフロー電子絶対圧力コントローラー、50 sccm N2 相当、15 ピン、Swagelok 4 VCR。
MKS インスツルメンツの部品番号: 1179C00151CR1BV。 MKS 1179C は、さまざまな用途でガスの流れを測定するために設計された全金属製マスフロー コントローラーです。入出力接続は Swagelok® 4 VCR® です。MKS 1179C マスフロー コントローラは、10 sccm ~ 20 slm のフルスケールで利用可能で、最小 0.1 sccm までの高速で再現性のある流量計量を提供します。現在市場で最も一般的な質量流量計の機能を置き換えます。標準の 3 インチの設置面積により、1179C は既存のガス ラインを変更せずに同じスペースに直接設置できます。電気コネクタは同じタイプ「D」コネクタで、業界の同等品と同様のピン配置、信号、機能を備えています。 1179C は、MKS または他のメーカーのマスフロー コントローラ電源およびディスプレイ電子機器と互換性があります。
Swagelok、VCR-TM Swagelok Company