Leybold Thermovac TTR 91 N MEMS-ピラニ真空トランスデューサ NW16、3.75 x 10 -5 Torr ~大気Leybold Thermovac TTR 91 N マイクロピラニ トランスデューサには、振動や衝撃通気に強い MEMS ピラニ (マイクロ電気機械システム) センサーが搭載されています。ポンプダウン サイクルを監視する場合、91 N は 3.75 x 10 -5 ~ 750 Torr を測定します。 Thermovac トランスミッタは、アナログ電圧出力とプロセス制御を改善するための設定点リレー (特定のモデルのみ) を提供するアクティブ センサーです。対応モデルでは、内蔵リレーにより、プログラム可能な制御を必要とせずに、スイッチング機能を送信機によって直接実行できます。 Thermovac シリーズの送信機には、センサーの状態を示す LED リングが装備されています。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。