理想的な真空キューブ 6 x 6 真空キューブ XY ステージ プレート、位置決めマイクロメータ付き。 6 x 6の真空キューブステージプレートは、真空状態にある真空キューブ内で試験片の位置を動的に微調整することを可能にします。これらのプレートは、硬化鋼製のリニアベアリングを介してX軸とY軸を0.50インチ(13mm)移動させ、精密な動作と長寿命を実現します。
ステージプレート自体は両軸ともスプリングテンションで固定されており、移動方向反転時のバックラッシュを排除しています。ミツトヨ製の高品質マイクロメータヘッドは、ヘッドが1回転するごとにターゲットを水平方向に0.025インチ移動させ、高性能バイトンシャフトシールにより0.001インチの繰り返し位置決め精度を実現します。必要に応じて、ヘッドは高精度モーターアクチュエーターと互換性があります(詳細についてはお問い合わせください)。
真空側では、プレートと可動ブロックは6061-T6アルミニウムから削り出され、通気孔付きのステンレス鋼304または316の留め具が取り付けられているため、実質的な漏れは発生しません。真空側の金属面は青色の粉体塗装が施されています。セルフテンションシステムにより、このプレートはどの方向にも取り付けることができますが、最適な荷重方向は、重力によってマイクが荷重を支える方向です。平面取り付け時の荷重制限は4ポンド(約1.8kg)、垂直取り付け時の荷重制限は2ポンド(約1.9kg)です。