Ideal Vacuum AnalyzaVAC 高圧操作用残留ガス分析装置 (RGA) キット、1 ～ 100 AMU、ファラデー カップ検出器、手動可変リーク バルブ、Agilent TPS ミニ ターボ ポンプ ステーション、AutoZ+ 基本ソフトウェアが付属。

Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA は、真空チャンバー内の残留ガスの正体と濃度の決定に役立つコンパクトな質量分析計です。リーク検出、ガス放出分析、コーティングおよびエッチング用途での供給ガスの品質管理、プロセスのトラブルシューティングなどに使用できます。

チャンバーに直接接続された RGA は、総圧力が 1×10 ^-6 Torr 未満、最適には約 2×10 ^-7 Torr で連続動作できるように設計されています。高圧で RGA を動作させると、イオナイザー、フィラメント、四重極の寿命が大幅に短縮されます。 AnalyzaVAC の内蔵圧力計は、RGA への致命的な損傷 (ほとんどの場合) を防ぐために、内部と付属の AutoZ ⁺ソフトウェアの両方で使用されます。

中真空から大気圧のチャンバー内のガスを測定するには、RGA を独自の高真空ポンプ システムを備えた別の小さなチャンバーに設置する必要があります。次に、RGA 真空システムはリーク バルブを介してチャンバーに接続され、繊細な四重極プローブの周囲の高真空を維持しながら、RGA がメイン チャンバー内のガスをサンプリングできるようになります。

このキットには、RGA を使用して高圧のガスを測定するために必要なものがすべて含まれています。

コンポーネントと機能:

• 理想的な真空分析VAC RGA。
• 1 ～ 100 AMU スキャン範囲。
• ファラデーカップ検出器。
• 内蔵のピラニゲージにより、高圧での RGA のオンを防ぎます。
• 熱陰極イオンゲージを内蔵し、高真空圧力を迅速に測定します。
• ワンスイッチ高真空動作を備えた Agilent Varian TPS-Mini TwisTorr 74 FS ターボ分子ポンプ ステーション。
• Agilent の手動可変リークバルブにより、1000 Torr から高真空までのチャンバーの RGA サンプリングが可能になります。
• 全金属シールを備えた溶接マニホールドにより、他のガス源からの測定汚染を最小限に抑えます。
• 理想的な真空 AutoZ ⁺基本版ソフトウェア。

Agilent Varian TPS-mini ポンプ ステーションと Agilent の手動可変リークバルブを組み合わせることで、少なくとも 9 桁の圧力にわたるチャンバの正確なガスサンプリングが可能になります。ただし、単一の遮断バルブ亀裂点は、範囲内のすべての圧力に適しているわけではありません。最良の結果を得るには、チャンバー圧力が変更されるたびにバルブを手動でリセットする必要があります。チャンバー圧力が現在の動作圧力と比較して 1 桁以上上昇する場合 (つまり、チャンバーベント中)、RGA とポンプ システムへの損傷を防ぐために、最初にリーク バルブを閉じる必要があります。チャンバーが安定した圧力に達したら、RGA イオナイザーをオフにし、RGA サブシステム内の希望の圧力に達するまでバルブを再度開きます。その後、RGA イオナイザーの電源を入れ直し、測定を再開します。

圧力サイクルを通じてリークバルブを特定の亀裂点に保つために、追加の CF 1.33 インチ手動ベローズバルブを使用して RGA をチャンバーから隔離できます。

理想的な真空 AnalyzaVac RGA について:

AnalyzaVAC は、フィールド交換可能なデュアル トリエーテッド イリジウム フィラメントによって熱電子的に放出される電子を使用して、プローブ先端に存在するガスをイオン化することによって動作します。結果として生じるカチオンは、四重極フィルターに適用されるさまざまな無線周波数と DC 電圧の組み合わせを使用して、質量電荷比によって分離されます。正に帯電したイオンは四重極の中心を下って移動し、電子増倍管によって増幅されるか、プローブの端にあるファラデー カップ検出器によって直接検出されます。各ガスは、その元素の自然同位体存在量と、RGA の高エネルギー電子イオン化によって引き起こされる分子断片化の組み合わせである独自のスペクトル フィンガープリントを生成します。

すべての AnalyzaVAC プローブには、1.5×10 ^-12 Torr ^*まで再現性があり、定量的で、直線性の高い検出を提供するファラデー カップ検出器が付属しています。オプションの電子増倍管により、定性測定の感度が驚異的な 6×10 ^-15 Torr ^*まで向上します。標準検出器と電子増倍管を備えた検出器は両方とも、適切に校正されている場合、10% のピーク高さ (またはそれ以上) で 0.5 AMU の分解能を備えています。

Ideal Vacuum の有効期限のない基本的な AutoZ ⁺ソフトウェアは、デスクトップまたはラップトップ コンピュータから AnalyzaVAC RGA システムを制御できる Windows 10 アプリケーションです。 AutoZ ⁺は、オペレータにすべての取得パラメータを制御する権限を与えます。 AutoZ ^{+ は}リアルタイムのデータ ストリーミングを提供し、ユーザーは収集されたデータをアナログ スペクトル、質量ヒストグラム、および経時的な傾向として表示できます。不要なピークとスペクトルの寄与を除去するために、ユーザーは以前に収集したスペクトルをベースライン データに使用できます。

Ideal Vacuum のオプションのプレミアム AutoZ ⁺ソフトウェア アップグレードには、基本ソフトウェアのすべての機能が含まれており、高度なデータ ロギング、平均化、Ideal Vacuum の物質ライブラリへのアクセスによるスペクトル フィッティング、およびライブラリに化合物を追加する機能が追加されています。 Premium AutoZ ⁺は、強力な最小二乗アルゴリズムを使用して一般的な残留ガスの分圧を計算し、現在表示されているスペクトルへのそれらの寄与を特定し、未知のピークを分離します。プレミアム ソフトウェアは毎年更新する必要があり、更新しない場合はベーシック バージョンに戻ります。

一部の RGA アプリケーション:

• リークテスト
• プロセス監視
• ポンプダウンとベークアウトのモニタリング
• 真空診断
• 原料ガスの品質管理
• ガスと汚染物質の特定

* AnalyzaVAC プローブは精密な機器です。プローブの不適切な使用、誤った取り扱い、または長時間の高圧での操作により、プローブが汚染され、損傷する可能性があります。したがって、プローブ。元のパッケージから取り出した後は保証がありません。
Agilent TPS Mini Turbo には、完全なメーカー保証が付いています。他のコンポーネントの保証は製品の欠陥に対して適用されます。

RGA の最適な全動作圧力は、ほとんどのガスに対して 2×10 ^-7 Torr です。外部圧力は、可変リークバルブとターボポンプシステムを使用して RGA システム内で減圧されている限り、はるかに高くてもかまいません。より高い RGA システム圧力で長時間動作すると、プローブの早期劣化、ゲインの損失、スペクトル ドリフト、フィラメントとイオナイザーの焼損が発生します。 RGA は、次の圧力領域で、対応する期間使用できます。
10 ^-4 Torr、数時間
10 ^-5 Torr、数日間
10 ^-6 Torr、数か月
10 ^-7トール、数年
10 ^-8トール、無期限
フィラメントやイオナイザーの煤による汚染を防ぐために、有機蒸気は大気ガスの 2 分の 1 の圧力に保つ必要があります。フィラメントやイオナイザー上にガラスが蓄積するのを防ぐために、シリコン蒸気は大気ガスの少なくとも 10 倍低い圧力に保つ必要があります。腐食性の蒸気も、通常のガスよりも RGA に大きなダメージを与えます。圧力を適切に管理することで、RGA を使用して、高価な修理をすることなくこれらのガスを測定できます。

*窒素ガス、5 秒の滞留時間、1 amu の全ピーク幅、10% の高さ、70 eV の電子エネルギー、6 eV のイオン エネルギー、および 2 mA の電子放出を使用して測定し、ベースライン ノイズから 3 つの標準偏差を計算します。