Ideal Vacuum AnalyzaVAC TM残留ガス分析装置 (RGA)、1 ～ 200 AMU、電子増倍管およびファラデー カップ検出器、AutoZ+ 基本ソフトウェアが付属。
このリストは、次のコンポーネントを備えた Ideal Vacuum AnalyzaVAC 残留ガス アナライザーの販売を目的としています。
- 理想真空分析VAC RGA
- 1 ～ 200 AMU スキャン範囲。
- 電子増倍信号増幅器。
- ファラデーカップ検出器。
- ピラニゲージを内蔵しており、大まかな真空測定が可能です。
- 高真空測定用の熱陰極イオンゲージを内蔵しています。
- Conflat (CF) 2.75 インチ取り付けフランジ。
以下も含まれます:- 24 VDC ユニバーサル電源 (120/240 VAC 入力) および 6 フィートのケーブル。
- USB - DB-9 オス RS-232 シリアル通信ケーブル、長さ 1 フィート。
- DB-9 オス - メス RS-232 シリアル延長ケーブル、長さ 25 フィート。
- CF 2.75 インチ銅ガスケットとボルトのキット。
- 理想的な真空 AutoZ +基本版ソフトウェア。
Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA は、真空チャンバー内の残留ガスの正体と濃度の決定に役立つコンパクトな質量分析計です。リーク検出、ガス放出分析、コーティングおよびエッチング用途での供給ガスの品質管理、プロセスのトラブルシューティングなどに使用できます。 AnalyzaVAC RGA プローブには、ピラニ ゲージとベヤード アルパート熱陰極ゲージが組み込まれており、不適切な高圧での動作からプローブを保護し、システムの複雑さを軽減し、コストのかかるメンテナンスを防ぎます。各システムには、四重極プローブ、制御および通信ユニット (CCU)、Microsoft Windows® 10 用の AutoZ
+ Basic ソフトウェア、および電源と通信に必要なすべてのケーブルが付属しています。
AnalyzaVAC は、フィールド交換可能なデュアル トリエーテッド イリジウム フィラメントによって熱電子的に放出される電子を使用して、プローブ先端に存在するガスをイオン化することによって動作します。結果として生じるカチオンは、四重極フィルターに適用されるさまざまな無線周波数と DC 電圧の組み合わせを使用して、質量電荷比によって分離されます。正に帯電したイオンは四重極の中心を下って移動し、電子増倍管によって増幅されるか、プローブの端にあるファラデー カップ検出器によって直接検出されます。各ガスは、その元素の自然同位体存在量と、RGA の高エネルギー電子イオン化によって引き起こされる分子断片化の組み合わせである独自のスペクトル フィンガープリントを生成します。
RGA は、1×10
-6 Torr 未満の全圧力、最適には約 2×10
-7 Torr での連続動作用に設計されています。高圧で RGA を動作させると、イオナイザー、フィラメント、四重極の寿命が大幅に短縮されます。内蔵圧力計は、RGA への致命的な損傷 (ほとんどの場合) を防ぐために、内部と AutoZ
+ソフトウェアの両方で使用されます。
RGA プローブは高真空チャンバーに直接取り付けることもできますが、一定の長さのチューブと遮断バルブを使用して RGA をチャンバーから隔離することがベストプラクティスです。これにより、チャンバーの通気時、または新しいサンプルや機器の導入時の汚染や偶発的な損傷が防止されます。 RGA を使用して粗真空チャンバー内のガスを測定する場合、RGA は、リークバルブを介してメインチャンバーに接続された独自の高真空ポンプシステムを備えた小さな別のチャンバー内に保管する必要があります。 Ideal Vacuum は、最大 1000 torr の圧力でガスを安全に測定するために必要なすべての機器を備えた RGA キットを提供します。
すべての AnalyzaVAC プローブには、1.5×10
-12 Torr
*まで再現性があり、定量的で、直線性の高い検出を提供するファラデー カップ検出器が付属しています。オプションの電子増倍管により、定性測定の感度が驚異的な 6×10
-15 Torr
*まで向上します。標準検出器と電子増倍管を備えた検出器はどちらも、適切に校正されている場合、10% のピーク高さ (またはそれ以上) で 0.5 AMU の分解能を備えています。
Ideal Vacuum の有効期限のない基本的な AutoZ
+ソフトウェアは、デスクトップまたはラップトップ コンピュータから AnalyzaVAC RGA システムを制御できる Windows 10 アプリケーションです。 AutoZ
+は、オペレータにすべての取得パラメータを制御する権限を与えます。 AutoZ
+ はリアルタイムのデータ ストリーミングを提供し、ユーザーは収集されたデータをアナログ スペクトル、質量ヒストグラム、および経時的な傾向として表示できます。不要なピークとスペクトルの寄与を除去するために、ユーザーは以前に収集したスペクトルをベースライン データに使用できます。
Ideal Vacuum のオプションのプレミアム AutoZ
+ソフトウェア アップグレードには、基本ソフトウェアのすべての機能が含まれており、高度なデータ ロギング、平均化、Ideal Vacuum の物質ライブラリへのアクセスによるスペクトル フィッティング、およびライブラリに化合物を追加する機能が追加されています。 Premium AutoZ
+は、強力な最小二乗アルゴリズムを使用して一般的な残留ガスの分圧を計算し、現在表示されているスペクトルへのそれらの寄与を特定し、未知のピークを分離します。プレミアム ソフトウェアは毎年更新する必要があり、更新しない場合はベーシック バージョンに戻ります。
一部の RGA アプリケーション:- リークテスト
- プロセス監視
- ポンプダウンとベークアウトのモニタリング
- 真空診断
- 原料ガスの品質管理
- ガスと汚染物質の特定
ご注文前によくお読みください:
* AnalyzaVAC プローブは精密な機器です。プローブの不適切な使用、誤った取り扱い、または長時間にわたる高圧での操作は、プローブを汚染したり損傷したりする可能性があります。したがって、プローブは元のパッケージから取り出した後は保証されません。その他のコンポーネントについては、製品の欠陥に対する保証が適用されます。
RGA の最適な全動作圧力は、ほとんどのガスに対して 2×10 -7 Torr です。高圧で長時間動作させると、プローブの早期劣化、ゲインの損失、スペクトルのドリフト、フィラメントやイオナイザーの焼損が発生します。 RGA は、次の圧力領域で、対応する期間使用できます。
10 -4 Torr、数時間
10 -5 Torr、数日間
10 -6 Torr、数か月
10 -7トール、数年
10 -8トール、無期限
フィラメントやイオナイザーの煤による汚染を防ぐために、有機蒸気は大気ガスの 2 分の 1 の圧力に保つ必要があります。フィラメントやイオナイザー上にガラスが蓄積するのを防ぐために、シリコン蒸気は大気ガスの少なくとも 10 倍低い圧力に保つ必要があります。腐食性の蒸気も、通常のガスよりも RGA に大きなダメージを与えます。圧力を適切に管理することで、RGA を使用して、高価な修理をすることなくこれらのガスを測定できます。
**窒素ガス、滞留時間 5 秒、全ピーク幅 1 amu、高さ 10%、電子エネルギー 70 eV、イオンエネルギー 6 eV、電子放出 2 mA で測定し、ベースラインノイズから 3 つの標準偏差を計算します。
