Edwards nXDS 排気およびガスバラストキット、マイナー再構築サービス用、すべての nXDS シリーズポンプに適合します。
Edwards 掃除機の部品番号 PN: A735-01-803。これらの Edwards nXDS シリーズ ドライ スクロール ポンプ排気バルブとガス バラスト キットは、小規模な再構築サービスが必要な場合によく使用されます。これは通常、ポンプが稼働してから 2 年後に必要となり、多くの場合、12,000 ~ 16,000 の運転時間が必要になります。多くの場合、チップ シールの交換と同時に取り付けられます。Edwards チップ シール キット部品番号 A735-01-801 を参照してください。チップシールが磨耗すると、ポンプは最低到達圧力に到達する能力を失い始めます。新しい nXDS ポンプのベース圧力は、清潔で漏れのない真空チャンバーを排気する場合、多くの場合 10 mTorr 以下と測定されます。ベース圧力が 25 mTorr にしか達していないことに気付いた場合は、チップ シールを交換する必要がある可能性があります。以下のダウンロードセクションのチップシール交換マニュアルに記載されている手順を参照してください。
すべての Edwards nXDs シリーズ ドライ スクロール真空ポンプで動作します- エドワーズ nXDS6i
- エドワーズ nXDS10i
- エドワーズ nXDS15i
- エドワーズ nXDS20i
- エドワーズ nXDS6ic
- エドワーズ nXDS10ic
- エドワーズ nXDS15ic
- エドワーズ nXDS20ic
- エドワーズ nXDS6ir
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- エドワーズ nXDS15ir
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