Edwards nEXT300Dターボ真空ポンプ（コンフラットCF 6.0インチ、DN100 CFインレットフランジ付き）、排気速度300 l/s、空冷または水冷。PN: B82200200

Edwards nEXT300Dターボ分子高真空ポンプは、DN100 CF、Conflat CF 6.0インチ入口フランジを備え、排気速度は300リットル/秒（l/s）、到達圧力は5 x 10 ^-10 mbar（3.7 x 10 ^-10 Torr）です。このnEXT300Dポンプは、ISO KF-25排気フォアラインフランジを備えています。オプションで入口スクリーン（粗目または細目）をご用意しています。nEXT300Dシリーズターボポンプは、最大200ワット（通常動作時では通常160ワット未満）の24～48 VDC入力電力を必要とします。ポンプには、DB15電源・制御ケーブルが標準で付属しています。 nEXT300Dターボポンプはすべて、RS232およびRS485インターフェース、5つのステータスLED、そして空冷ファンまたはソレノイドベントバルブを制御するための3ピンPhoenixコネクタソケットを備えたコンパクトなオンボードコントローラを搭載しています。必要なのは、適切な電源と始動/停止ロジックだけです。研究室での使用には、小型nEXTポンプの電源とリモートコントローラの両方として機能する、200ワットのEdwardsターボ計器コントローラ（TIC）またはターボアクティブゲージ（TAG）をお勧めします。TICとTAG、強制空冷キット、水冷キット、ソレノイド駆動式ベントバルブなど、様々なオプションアクセサリもご用意しています。このnEXT300DターボポンプのEdwards部品番号はB82200200です。

Edwards nEXT300Dターボポンプの仕様:

• 部品番号: B82200200
• 入口フランジ: DN100 CF、CF 6.0 インチ。
• ベース圧力: 5 x 10 ^-10 mbar (3.7 x 10 ^-10 Torr)
• 動作速度: 60,000 RPM
• 動作位置: 水平から垂直（入口上）
• ポンピング速度: 300 l/s
• 冷却：強制空冷または水冷
• 排気フランジ：KF-25
• 動作電圧: 24～48 VDC
• 最大電力: 200 ワット (通常動作時 < 160 ワット)
• 電源と通信: DB15シリアルRS232/RS485インターフェース
• アクセサリポート1つ
• 推奨粗引きポンプ: nXDS10i または RV12

nEXTターボポンプは、高い信頼性を維持しながらポンプ性能を最適化するように設計されたローターを備えています。nEXTターボポンプの「D」タイプは、ターボ分子ステージとドラッグステージの両方を備え、高いバッキングライン圧力への耐性が向上し、あらゆるガス種において優れたポンピング速度と圧縮率を実現します。優れた性能に加え、すべてのnEXTターボポンプは、現場でメンテナンス可能なオイルカートリッジとシャフトベアリングを備えており、ダウンタイムを大幅に削減します。nEXT Dターボポンプは、ポンプの動作とスタンバイ速度を制御する駆動回路、ソレノイドベントバルブ（TAV5、TAV6）と空冷ユニット（24VDCアクセサリポート経由）を操作するためのコンパクトなオンボードコントローラを搭載しています。一体型コントローラは、RS232およびRS485シリアル通信とポンプ電源供給用のDB15インターフェースを備えています。また、ポンプの一般的な状態、動作状態、およびサービス状態を示す5つのインジケータLEDも搭載しています。オプションの TIC ターボ計器コントローラ、または TAG ターボおよびアクティブ ゲージ コントローラは、ポンプへの電力供給と制御の両方を行うことができます。

CFフランジを備えたEdwards nEXTポンプは、到達圧力が10 ^-10 Torrの範囲に達する真の超高真空（UHV）ポンプです（全金属製の吸気シールガスケットを使用し、真空チャンバーを完全に洗浄およびベーキングした場合）。ISOフランジを備えたターボポンプは、ゴム/エラストマーOリングシールの透過およびガス放出により、到達圧力が10 ^-8 Torrの範囲に制限されます。Conflatフランジ付きnEXT300Dポンプの吸気は、ターボが水冷されている場合、最大120 °Cまでベーキング可能です。Conflatポンプ用のヒーターバンドは別売りです。

真空システム統合アプリケーションの場合、nEXT300D ポンプは、ユーザーが用意する適切な 24 ～ 48 VDC 電源で駆動できます。研究室アプリケーションには、200 ワットの Edwards TIC ターボ計器コントローラまたは TAG ターボ & アクティブ ゲージ コントローラをお勧めします。どちらもポンプへの電力供給と制御が可能です。TIC シリーズのコントローラは、ベンチトップまたはラックマウント可能なリモート ユーザー インターフェイス/電源で、RS232/RS485 経由で Edwards nEXT シリーズ ポンプと通信し、ターボポンプの完全な監視と制御を提供します。オプションで 1 台以上の真空ゲージ計器も監視および制御できます。Edwards リレー ボックスを追加すると、TIC コントローラと主電源バッキング ポンプ、ターボ ポンプ フランジ ヒーター バンド、およびバッキング ライン アイソレーション バルブ間の制御インターフェイスになります。TAG ターボ & アクティブ ゲージ コントローラは、nEXT300D ターボ ポンプと真空ゲージに電力を供給でき、大型 LED ディスプレイにポンプ速度や真空圧力を表示できます。

ポンプの取扱説明書と Edwards nEXT ポンプの製品パンフレットは、ダウンロード セクションで入手できます。

一般的なターボポンプの用途は次のとおりです:

• 一般的なクリーンポンプ用途
• 走査型電子顕微鏡（SEM）
• ビームラインと高エネルギー物理学
• 質量分析
• 電子顕微鏡
• サンプル準備
• 研究開発
• 高エネルギー物理学
• 産業
• 半導体
• コーティング
• 表面科学機器