Ewards WRG-S アクティブ広域圧力計 NW25、KF25 フランジ。大気圧から10⁻⁹ Torr まで対応。
Edwards部品番号:D3G0021100(製造中止となった部品番号:D14701000、D147-01-000の代替品)。エドワーズWRG-X-200アクティブ広域圧力計NW25、KF25は、大気圧(ATM)から
10⁻⁹ Torrの範囲で、直線出力によるシングルポート圧力測定機能を備えています。コンパクトなソリューションで、設置スペースと接続ハードウェアの要件を半減できるため、多くの用途で非常に便利です。WRGには、特許取得済みの新しいストライカー、プッシュボタンによる校正と設定点制御、包括的な診断機能など、多くの革新的な機能が搭載されています。WRGは、エドワーズ製コントローラと併用する場合でも、システム制御に直接統合する場合でも、コスト効率の高い真空管理ソリューションであり、ユーザーがセンサーチューブを交換できます。
WRGは幅広いHVおよびUHVアプリケーションに適していますが、プロセスが5x10
-4 Torrから5x10
-3 Torrの間で長時間経過する場合は、アプリケーションにおけるゲージの信頼性を向上させるため、Edwardsは独立したAPG100 PiraniおよびAIM Penningゲージの使用を推奨します。信号ケーブルとコントローラは付属していません。Edwards WRGアクティブ広域ゲージの取扱説明書(.pdf)については、DOWNLOADSを参照してください。
主な機能:- マイクロプロセッサ信号処理
- 質量分析および電子顕微鏡用の低磁場バージョン
- プログラム可能な設定値
- マグネトロンは高真空下でも非常に高い信頼性で打撃を与える。
または比較的汚染された環境 - CSA、C/US承認済み
- 圧力範囲はATM(大気圧)から10⁻⁹ Torrまでです。