説明
iH 80 および IH 160 ドライ真空ポンプ用の Edwards HV 高真空ローター クロー。
エドワーズ部品番号: A40801723
これはHV高真空ローターで、iH80またはiH160真空ポンプに適合します。Edwards iH真空チャンバーからガスを圧縮・排出する多段ドライポンプ機構の一部です。高真空(通常10-4 Torr以下)に到達するためのガス圧縮の最終段階を担います。iHポンプ本体内にあり、高真空ステージチャンバー内の駆動シャフトに取り付けられています。HVステーターと第2ステージステーターの間に配置されています。位置については、上記の中央の図をご覧ください。
部品の分解図は、以下のダウンロードから .pdf をダウンロードすると入手できます。