Edwards CTI Cryo-Torr クライオポンプ 10 インチ ANSI、(外径 16 インチ) 3000 l/s 空気、9000 l/s 水、5000 l/s 水素、2500 l/s アルゴン。
エドワーズ部品番号: 8116174G001。 Edwards クライオトール ポンプ 10 は、クライオトール ポンプ システムを構成する 2 つの主要コンポーネントのうちの 1 つです。 2 番目のコンポーネントは Compressor (この Web サイトでも販売されています) です。これは Cryo-Torr CTI 10 ポンプで、10-3 ~ 10-9 Torr の範囲のすべてのガスを高速かつクリーンにポンピングします。標準的な用途には、半導体、航空宇宙、真空コーティング、研究開発などが含まれます。クライオポンプは、ガスを凝縮して極めて低い蒸気圧に保持できるという原理に基づいて動作し、高速性とスループットを実現します。この Cryo-Torr 10 ポンプは、最小限のメンテナンスで済む信頼性の高い堅牢なユニットです。クライオポンプは可動部品、作動流体、または補助ポンプを真空にさらさないため、クライオポンプ自体によるシステムまたはプロセスの汚染の可能性が排除されます。これは Cryo-Torr 10 ポンプのみです。コンプレッサー、ケーブル、粗引きポンプ、その他のアクセサリはこの Web サイトで入手できます。
説明、インストール、再生成、およびメンテナンスの手順は、ダウンロード セクションの Manual.pdf に完全に記載されています。