Agilent Varian TwisTorr 84-FS ターボ真空ポンプ、Conflat CF 4.5 インレットフランジ付き、排気速度 67 L/S、UHV アプリケーション用。 PN: X3502-64002

これらの Agilent Varian TwisTorr 84 FS ターボ分子真空ポンプには、Conflat CF 4.5 インレット フランジが備わっており、排気速度は 67 L/S です。 84 FS ターボ ポンプは 74 FS の過給バージョンで、1350 Hz のオーバークロックされた駆動周波数により排気速度が 10% 向上し、超高真空 (UHV) に特化したポンプとなっています。ほとんどの一般的な高真空 (HV) アプリケーションには、Ideal Vacuum は、より経済的で信頼性の高い 74 FS ターボ ポンプ モデルを推奨します。これらの強化された Agilent 84 FS ターボ ポンプは、水素やヘリウムなどの軽質ガスの圧縮比を高め、高いスループットを実現し、最低到達圧力に達します。コンフラット吸気を備えた Agilent Varian TwisTorr 84 FS ターボ ポンプは、正しく使用した場合、到達圧力が 3.75x10-10 Torr という真の超高真空 (UHV) ポンプです。たとえば、これらのポンプの Conflat バージョンでは、インテークフランジは120℃までベークしてください。これらの TwisTorr 84-FS ターボ ポンプには、ファン強制空冷または水冷のいずれかの冷却キットと、船外リモート ラックマウントまたはオンボード ポンプ側マウント コントローラーが必要です。これらはすべて Ideal Vacuum によって別売りされています。

これらの Agilent Varian TwistTorr 84 FS ターボ ポンプは、Conflat CF 4.5 インレット フランジ、67 L/S の窒素排気速度、KF-16 フォアライン フランジを備え、周囲動作温度は 5 °C ～ +35 °C です。これらの 84 FS ターボ ポンプは、起動時間が 2 分未満、回転速度が 81,000 rpm で、ドライ スクロール (IDP-3 または IDP7) またはオイル シール ロータリー ベーン (DS-40M または DS) のいずれかのフォアライン粗引きポンプを推奨します。 -102)。強制空冷の冷却要件は周囲温度 5 ～ 35 °C、水冷の場合は最小流量 0.30 gpm、15 ～ 25 °C、45 ～ 75 psi です。

新しい Agilent Twistorr 84 FS は、幅広い UHV アプリケーションに適したパフォーマンスと機能の融合を提供します。さまざまな分野で使用できます。

一般的なターボ ポンプの用途には次のものがあります。

• 質量分析法
• ガスクロマトグラフィー質量分析 (GC/MS)
• 液体クロマトグラフィー質量分析 (LC/MS)
• 誘導結合プラズマ質量分析 (ICP-MS)
• 飛行時間型質量分析法 (TOF)

研究開発における空白:

• 高エネルギー物理学
• 融合技術
• 一般的な UHV 研究
• シンクロトロン光源 粒子加速器

ナノテクノロジー機器:

• 電子顕微鏡法
• 走査型電子顕微鏡 (SEM)
• 透過型電子顕微鏡 (TEM)
• 集束イオンビームシステム (FIB)
• 表面分析
• 半導体製造

工業用真空処理:
薄膜堆積:

• ガラスコーティング装置（建築用・自動車用ガラス、フラットパネルディスプレイ）
• 薄膜太陽電池の製造（太陽光発電）
• 光データメディア (CD、DVD、光磁気ディスク)
• 磁気記憶媒体
• 表面処理
• 光学コーティング (眼科用、精密オプトエレクトロニクス)
• フィルムまたはフォイルへのロール/ウェブコーティング

デバイスの処理:

• テレビおよびモニター受像管の製造
• ランプの避難（高速道路の照明、ビーマー）
• X線管と電子機器

一般的なプロセス:

• 真空炉
• 冶金