Agilent Varian TwisTorr 84-FS ターボ真空ポンプ、Conflat CF 2.75 インレットフランジ付き、排気速度 56 L/S、UHV アプリケーション用。
冷却キットが必要です。Agilent Varian 部品番号 X3502-64003。これらの Agilent Varian TwisTorr 84 FS ターボ分子真空ポンプには、Conflat CF 2.75 インレット フランジが備わっており、排気速度は 56 L/S です。 84 FS ターボ ポンプは 74 FS の過給バージョンで、1350 Hz のオーバークロックされた駆動周波数により排気速度が 10% 向上し、超高真空 (UHV) に特化したポンプとなっています。ほとんどの一般的な高真空 (HV) アプリケーションには、Ideal Vacuum は、より経済的で信頼性の高い 74 FS ターボ ポンプ モデルを推奨します。これらの強化された Agilent 84 FS ターボ ポンプは、水素やヘリウムなどの軽質ガスの圧縮比を高め、高いスループットを実現し、最低到達圧力に達します。コンフラット吸気を備えた Agilent Varian TwisTorr 84 FS ターボ ポンプは、正しく使用した場合、到達圧力が 3.75x10-10 Torr という真の超高真空 (UHV) ポンプです。たとえば、これらのポンプの Conflat バージョンでは、インテークフランジは120℃までベークしてください。これらの TwisTorr 84-FS ターボ ポンプには、ファン強制空冷または水冷のいずれかの冷却キットと、船外リモート ラックマウントまたはオンボード ポンプ側マウント コントローラーが必要です。これらはすべて Ideal Vacuum によって別売りされています。
これらの Agilent Varian TwistTorr 84 FS ターボ ポンプは、Conflat CF 2.75 インレット フランジを備え、窒素の排気速度 56 l/s、KF-16 フォアライン フランジ、周囲動作温度 5 °C ~ +35 °C を備えています。これらの 84 FS ターボ ポンプは、起動時間が 2 分未満、回転速度が 81,000 rpm で、ドライ スクロール (IDP-3 または IDP7) またはオイル シール ロータリー ベーン (DS-40M または DS) のいずれかのフォアライン粗引きポンプを推奨します。 -102)。強制空冷の冷却要件は周囲温度 5 ~ 35 °C、水冷の場合は最小流量 0.30 gpm、15 ~ 25 °C、45 ~ 75 psi です。
新しい Agilent Twistorr 84 FS は、幅広い UHV アプリケーションに適したパフォーマンスと機能の融合を提供します。さまざまな分野で使用できます。
一般的なターボ ポンプの用途には次のものがあります。- 質量分析法
- ガスクロマトグラフィー質量分析 (GC/MS)
- 液体クロマトグラフィー質量分析 (LC/MS)
- 誘導結合プラズマ質量分析 (ICP-MS)
- 飛行時間型質量分析法 (TOF)
研究開発における真空:- 高エネルギー物理学
- 融合技術
- 一般的な UHV 研究
- シンクロトロン光源 粒子加速器
ナノテクノロジー機器:- 電子顕微鏡法
- 走査型電子顕微鏡 (SEM)
- 透過型電子顕微鏡 (TEM)
- 集束イオンビームシステム (FIB)
- 表面分析
- 半導体製造
工業用真空処理:薄膜堆積:- ガラスコーティング装置(建築用・自動車用ガラス、フラットパネルディスプレイ)
- 薄膜太陽電池の製造(太陽光発電)
- 光データメディア (CD、DVD、光磁気ディスク)
- 磁気記憶媒体
- 表面処理
- 光学コーティング (眼科用、精密オプトエレクトロニクス)
- フィルムまたはフォイルへのロール/ウェブコーティング
デバイスの処理:- テレビおよびモニター受像管の製造
- ランプの避難(高速道路の照明、ビーマー)
- X線管と電子機器
一般的なプロセス: