Agilent Varian TPS-Mini、TwisTorr 74 FS ターボ分子真空ポンプ システム、CF 4.5 インレット フランジ、PC 接続、ユニバーサル電圧 (90V/240V)。
製品番号 G8703A 022 (交換品番: X3502-64000) Agilent Varian TPS-Mini は、ドライ高真空ターボ分子ポンプ システムです。TPS-Mini は、74 FS Turbo (最大排気速度 67 l/s)、または最新の Twistorr 技術を採用した 304FS Turblo (最大排気速度 250 l/s) で注文できます。TPS-Mini システムは、その名のとおり小型でコンパクト、使いやすい、完全に統合された真空ポンプ システムです。TPS-Mini は、到達圧力が 1x10-7 Torr の完全ドライ高真空ポンプ システムです。TPS-Mini 内の補助ポンプは、10 l/分のドライ ダイヤフラム ポンプです。Varian TPS-Mini は、コスト効率に優れながら、要求の厳しいアプリケーションにも対応できるように設計されています。これらのユニットは、KF 40、ISO 63、CF 4.5 インチ構成で注文できます。 1 相または 3 相 90V ~ 240V AC、50Hz / 60Hz で動作するように注文できます。
オプションの Agilent Varian FRG-700 フルレンジ (アクティブピラニおよび逆マグネトロンゲージ) は、大気圧から 3.8x10-9 Torr までの真空圧を測定できます。Varian MiniTask、TPS Compact、および Varian AG ターボポンプコントローラは、FRG-700 ゲージを制御し、圧力の読み取り値がデバイスの前面に表示されます。これらのゲージは、TPS-Compact ユニット前面の内蔵ディスプレイとインターフェイスし、圧力の読み取り値は mbar、Torr、または Pascal で表示できます。これらのシステムのコントローラディスプレイは、RS-232 またはアナログ通信と互換性があります。当社では、Agilent Varian FRG-700 アクティブピラニおよび逆マグネトロンゲージ、ゲージ接続用ケーブル、接続ハードウェア付き真空 T 字継手を含むフルレンジゲージキットも提供しています。
すべてのTPS-Miniユニットは、PC(付属していません)経由でT-Plusソフトウェアを使用して操作できます。詳細な仕様とアプリケーションパンフレット(PDF形式)は以下からダウンロードできます。CF 4.5インチ吸気口を備えたTPS Mini 74FSの部品番号はAgilent Varian G8703A-022(X3502-64000)で、現在販売中止となっているVarian Mini Task V81M(部品番号9699182)の後継機種です。