Agilent Varian IDP-07 IDP07 IDP7 ドライ スクロール真空ポンプ、単相、PN X3807-64000

Agilent Varian IDP-7 ドライ スクロール真空ポンプは、55 dBA 未満の極めて静かな動作と低振動動作を実現するように設計されており、60 Hz で 5.4 cfm (9.1 m3/h) のピーク排気速度を実現し、20 mTorr の到達圧力を生成します。これらの Agilent IDP-7 ドライ スクロール ポンプは密閉されており、ヘリウム再循環、真空オーブン、およびバッキング ポンプのアプリケーションに適しています。密閉設計により、ポンプを通るクリーンなガス経路が提供され、オイルやグリースによる汚染のリスクが排除され、モーターとベアリングが大気圧で動作し、真空プロセスガスや水蒸気への曝露から隔離されます。 Agilent IDP-7 は、動作電圧範囲を 50/60Hz で 100 ～ 120V または 200 ～ 230 VAC の間で簡単に切り替えられるグローバル単相モータをサポートしています。

この IDP-7 モデル (Agilent テクノロジー部品番号 X3807-64000) には、IDP-7 の電源が失われた場合にスクロール ポンプ入口を通る空気の逆流を防ぐ、オプションの統合入口隔離バルブは含まれていません。この隔離バルブは、システムの電源喪失時に顧客のチャンバーまたは機器が突然排気されるのを防ぎます。

ターボ分子ポンプなどの高真空ポンプは、ドライバッキングポンプ技術と組み合わせて使用されることが増えています。スクロール技術に基づくポンプは、ターボ分子高真空ポンプを支援するために最適なドライポンプ技術となっています。これらの Agilent Varian IDP-7 スクロール テクノロジーがドライ ポンプの優れた選択肢となる理由には、クリーンで予測可能なパフォーマンス、低い振動と騒音、長い耐用年数などのいくつかの要因があります。

最新の Agilent IDP-7 スクロール テクノロジーは、スムーズな軌道動作に基づいています。ガスの圧縮と排出の真空ポンプサイクルは、最小限の脈動と非常に低い振動で発生します。アプリケーションによっては、振動が悪影響を与える可能性があり、防振装置などの追加コンポーネントの使用が必要になる場合があります。新しい Agilent IDP-7 は、過度の振動が許容されないさまざまなアプリケーションに最適なドライ ポンプです。

現在のスクロール ポンプ技術とチップ シール設計は、低いベース圧力を提供し、耐用年数にわたってベース圧力を徐々に増加させるために連携して機能する要素です。このベース圧力の段階的な増加により、真空レベルが許容できなくなる前にメンテナンスを行うことができ、予定外のダウンタイムが削減されます。 Agilent IDP-7 のような一般的なスクロール ポンプは、20 mTorr のベース圧力を達成します。

これらの Agilent IDP-7 ドライ スクロール ポンプは、ネストされたスクロールの 1 つがもう 1 つのスクロールの周囲を周回するシンプルなデュアル スクロール メカニズムを使用して真空を生成し、捕捉されたガスの移動ゾーンを作成します。ガスは外周に設置されたスクロールに入り、ハブの中心に向かって移動および圧縮され、そこで排出されます。単純なデュアル スクロール設計は、騒音と振動のレベルが低いこと、メンテナンスが簡単で頻度が低いこと、致命的な故障モードがなくなることなど、多くの利点をもたらします。

これらの新しい Agilent Technologies IDP-7 には、チップ シールの寿命とサービス間隔を長くするために改良されたソリッド チップ シールが含まれています。固体チップシール材料は、凝縮性蒸気用途に優れた性能を発揮します。 IDP-07のチップシール交換がこれまでより簡単になりました。チップ シール キット (X3807-67000) に加えて、摩耗したチップ シールを交換するには、マイナス ドライバー、4 mm および 5 mm の六角レンチ、イソプロピル アルコール、糸くずの出ないものなど、いくつかの簡単な工具が必要です。ワイプ。チップシールの交換手順は取扱説明書の18～20ページをご覧ください。新しい Agilent IDP-7 密閉型ドライ スクロール真空ポンプの PDF 形式の取扱説明書とパンフレットは、以下のダウンロード セクションからダウンロードできます。