Agilent Varian 4UHV イオン ポンプ コントローラ (2 x 200 ワット負極性付き)
Agilent Varian 部品番号 9299020これらの Agilent Varian 4UHV イオン ポンプ コントローラ (部品番号 9299020) には、負極性で 200 ワットを供給する 2 つの高電圧 HV チャネルがあります (2 x 200 W 負極性)。注文時に、4UHV イオン ポンプ コントローラーは、最大合計電力 400 ワットの異なる出力電力定格で最大 4 つの高電圧チャネルを購入できることを知っておくことが重要です。これらの 4UHV コントローラでは出力極性が現場で調整できないことを知っておくことも重要です。必要な出力極性を備えた適切な部品番号を選択する必要があります。たとえば、(ダイオードおよび貴ダイオード) には正の電圧が必要ですが、三極管スタイルの要素 (古いスタイル) Triode および StarCell) の動作には負の電圧が必要です。 Agilent Varian 4UHV イオン ポンプ コントローラのすべての部品番号は、100 ～ 240 VAC 入力電源で動作し、Fischer HV コネクタを備えており、中型および大型のイオン ポンプ (20、40、55、75、など) で連続使用できるように設計されています。 150、300、および 500 l/s ポンプ。
新しい Agilent 4UHV イオンポンプ コントローラ
新しい最先端の Agilent 4UHV イオン ポンプ コントローラは、最大 4 つのポンプを同時に独立して動作させます。 4UHV は、あらゆるタイプ (ダイオード、ノーブル ダイオード、StarCell) およびサイズ (20 ～ 500 l/s) のイオン ポンプを起動および制御します。大きな 4 行 LCD ディスプレイにより、個々のポンプ電圧、電流、圧力を同時に読み取ることができます。可変電圧機能により、動作圧力範囲全体にわたって最適なポンピング速度と圧力測定値が保証されます。内蔵設定値、リモート操作、RS232/485 コンピュータ インターフェイスが標準装備されています (Profibus および Ethernet はオプション)。
最適化された排気速度
4UHV は、イオン ポンプのポンピング速度を最適化するために適切な動作電圧を選択します。使用圧力に応じた高電圧を印加することで排気速度性能が向上します。これは、イオンがカソードに衝突するエネルギーが公称印加 HV であり、イオン ポンプ セル内に存在する電子雲による空間電荷効果によって減少するためです。空間電荷効果は圧力に関係するため、最適な衝撃エネルギーを維持するために可変 HV が適用され、その結果、どのような圧力でも最高のポンピング性能が得られます。
多用途性
4UHV は、1 ～ 4 個のポンプ、20 ～ 500 l/s の異なるサイズの複数のポンプの任意の組み合わせを独立して電力供給、制御、監視するために、さまざまな構成で利用できます。動作するポンプの数ごとに、いくつかのオプションが利用可能です。ポンプ 1 台の場合は 120 W または 200 W、ポンプ 2 台の場合は 2 x 80 W または 2 x 200 W、ポンプ 3 台の場合は 2 x 80 + 200 W、ポンプ 4 台の場合は 4 x 80 Wパンプス。
安全性
高電圧からユーザーを保護するために、ケーブルにはインターロック システムが装備されており、プラグがポンプから取り外されると直ちに高電圧が遮断されます。保護モードは電流を制限してポンプとコントローラーを保護します。
圧力測定値
4UHV は、Vaclon Plus ポンプの電流読み取り値を圧力に自動的に変換するように事前にプログラムされています。最小 10 nA のイオン電流を検出できるため、10 ～ 10 mbar の範囲で圧力測定が可能です。 UHV 領域に至るまで信頼性の高い圧力読み取りを保証するために、4UHV は印加される高電圧を圧力の関数として最適化します。その結果、イオンポンプの漏れ電流がなくなり、より正確な圧力測定値が得られます。
知能
ユニットにアクセスするには、アナログ ポートまたは RS232/485 ポートを使用できます。このコントローラーは、当社の他のインテリジェント真空デバイス (ナビゲーター ターボ ポンプ コントローラーおよびインバーター スクロール & ロータリー ベーン ポンプ) と同じプロトコルを使用しており、真空システムのすべての要素に迅速かつ便利にアクセスできます。 Profibus および Ethernet 通信はオプションです。
低ノイズ
高電圧からユーザーを保護するために、ケーブルにはインターロック システムが装備されており、プラグがポンプから取り外されると直ちに高電圧が遮断されます。保護モードは電流を制限してポンプとコントローラーを保護します。
イオンポンプにはどのくらいの電力が必要ですか?
所要電力はポンプのサイズと開始圧力によって異なります。ポンプが大きくなり、開始圧力が高くなるほど、消費電力も高くなります。最大の標準イオン ポンプ構成である 500 l/s は、1 ～ 5 mbar までの 200 W で簡単に起動できますが、中型ポンプ (75 l/s) は同じ圧力で起動するのに 80 W 未満しか必要としません。 80 W は、一般的なイオン ポンプの動作範囲 (2 ～ 6 mbar 未満) で 500 l/s を動作させるのに十分です。
過去になぜより高い電力定格が必要だったのでしょうか?
過去には、イオン ポンプは収着ポンプを使用して開始され、10-4 mbar までしか到達できませんでした。その結果、はるかに大型で強力なイオン ポンプ コントローラーが必要になりました。その結果、このような高圧で始動したイオンポンプの寿命ははるかに短くなりました (10-4 mbar での 1 分間の動作は、10-9 mbar での 2 か月に相当します)。 今日のオイルフリー ターボ ポンプは、オイルフリーの一次ポンプによって支えられており、より低い圧力を達成し、それによってイオンポンプの開始圧力を低下させます。これにより、イオン ポンプ コントローラーの最大電力要件が低減され、イオン ポンプの寿命が延長されます。
ネガティブかポジティブか？
負または正の電位の要件は、イオン ポンプに取り付けられたポンピング要素によって異なります。ダイオード スタイルの要素 (ダイオードおよびノーブル ダイオード) は正の電圧を必要としますが、三極管スタイルの要素 (古いスタイルのトライオードおよびスターセル) は動作に負の電圧を必要とします。上で述べたように、出力電圧極性は 4UHV イオン ポンプ コントローラーでは選択可能なパラメータではないため、必要な出力極性を備えた適切な部品番号を選択する必要があります (下記のユーザー マニュアルとカタログのセクションを参照)。
