Edwards nEXT240D ターボ真空ポンプ、ISO-K 100 インレット、ポンプ速度 240 l/s、空冷または水冷。エドワーズ部品番号: B81200100。 ISO-K 100 入口フランジを備えた Edwards nEXT240D ターボ分子高真空ポンプは、排気速度 240 リットル/秒 (l/s)、到達圧力 8 x 10-8 mbar (6 x 10-8 Torr) を備えています。この nEXT240D ポンプには ISO KF-25 排気フォアライン フランジが付いています。オプションの入口スクリーン (粗目または細目) も利用できます。 nEXT240D シリーズ ターボ ポンプは、最大 200 ワットで 24 ～ 48 VDC の入力電力を必要とします (通常の動作は通常 160 ワット未満です)。ポンプには、永久的に取り付けられた DB15 電源および制御ケーブルが標準装備されています。すべての nEXT240D ターボ ポンプには、RS232 および RS485 インターフェイス、5 つのステータス LED、および空冷ファンまたはソレノイド ベント バルブのいずれかを制御するための 3 ピン Phoenix コネクタ ソケットを備えたコンパクトなオンボード コントローラーが搭載されています。必要なのは、適切な電源と開始/停止ロジックだけです。実験室での使用には、小型の nEXT ポンプの電源およびリモート コントローラーとして機能する 200 ワットの Edwards ターボ計器コントローラー (TIC) またはターボ アクティブ ゲージ (TAG) をお勧めします。また、TIC および TAG、強制空冷キットおよび水冷キット、ソレノイド駆動ベントバルブなど、さまざまなオプションのアクセサリも提供しています。この nEXT240D ターボ ポンプの部品番号は B81200100 です。Edwards nEXT240D ターボ ポンプの仕様: 部品番号: B81200100 入口フランジ: ISO-K 100 ベース圧力: 8 x 10-8 mbar (6 x 10-8 Torr) 動作速度: 60,000 RPM 動作位置: 水平から垂直 (入口が上) ポンピング速度: 240 l/s 冷却: 強制空気または水 排気フランジ: KF-25 動作電圧: 24 ～ 48 VDC 最大電力: 200 ワット (通常動作 < 160 ワット) 電力と通信: DB15 シリアル RS232/RS485 インターフェイス アクセサリ ポート 1 つ 推奨粗引きポンプ: nXDS10i または RV12 nEXT ターボ ポンプには、高レベルの信頼性を維持しながらポンプ性能を最適化するように設計されたローターが付いています。 nEXT ターボ ポンプの「D」バージョンは、より高いバッキング ライン圧力に対する耐性を向上させるためにターボ分子ステージと抗力ステージの両方を備えており、すべてのガス種にわたって優れた排気速度と圧縮を備えています。性能の向上に加えて、すべての nEXT ターボ ポンプには現場で保守可能なオイル カートリッジとシャフト ベアリングが装備されており、ダウンタイムが大幅に短縮されます。 nEXT D ターボ ポンプは、ポンプの動作とスタンバイ速度を制御し、ソレノイド ベント バルブ (TAV5、TAV6) と空冷ユニット (24 VDC アクセサリ ポート経由) を操作するための駆動電子機器を備えたコンパクトなオンボード コントローラの恩恵を受けます。統合コントローラには、RS232 および RS485 シリアル通信とポンプ電力供給用の DB15 インターフェイスが備わっています。コントローラには、ポンプの一般的なステータス、動作、およびサービス ステータスを知らせる 5 つのインジケータ LED もあります。オプションの TIC ターボ機器コントローラー、または TAG ターボおよびアクティブ ゲージ コントローラーは、ポンプへの電力供給と制御の両方を行うことができます。 CF フランジを備えた Edwards nEXT ポンプは、到達圧力が 10 ～ 10 Torr の範囲に達する真の超高真空 (UHV) ポンプです (全金属吸気シール ガスケットが使用され、真空チャンバーが完全に洗浄およびベークアウトされている場合)。 ISO フランジを備えたターボ ポンプは、(ゴム/エラストマー O リング シールの浸透とガス放出によって) 到達圧力が 10-8 Torr の範囲に制限されます。 Con flat フランジ付き nEXT240D ポンプの吸気口は、ターボが水冷される場合、最大 120 °C まで加熱される可能性があります。 Conflat ポンプ用のヒーターバンドは別売りです。真空システム統合アプリケーションの場合、nEXT240D ポンプは、ユーザーが供給する適切な 24 ～ 48 VDC 電源によって電力を供給できます。実験室用途には、200 ワットの Edwards TIC ターボ機器コントローラまたは TAG ターボ & アクティブ ゲージ コントローラをお勧めします。どちらも電力供給とポンプ制御の両方が可能です。 TIC シリーズのコントローラは、ベンチトップまたはラックに取り付け可能なリモート ユーザー インターフェイス/電源であり、RS232/RS485 を介して Edwards nEXT シリーズ ポンプと通信し、ターボ ポンプの完全な監視と制御を提供し、オプションで 1 つ以上の真空計機器の監視と制御を提供します。 。 Edwards リレー ボックスを追加すると、TIC コントローラーと主電源バッキング ポンプ、ターボ ポンプ フランジ ヒーター バンド、およびバッキング ライン分離バルブの間の制御インターフェイスになります。 TAG ターボおよびアクティブ ゲージ コントローラーは、nEXT240D ターボ ポンプと真空計に電力を供給することができ、大型 LED ディスプレイにはポンプ速度や真空圧力を表示できます。ポンプの取扱説明書と Edwards nEXT ポンプの製品パンフレットは、ダウンロード セクションから入手できます。一般的なターボ ポンプのアプリケーションには以下が含まれます。 一般的なクリーン ポンプ アプリケーション 走査型電子顕微鏡 - SEM ビーム ラインと高エネルギー物理学 質量分析 電子顕微鏡 サンプル前処理 研究開発 高エネルギー物理学 産業用半導体コーティング 表面科学機器

Edwards nEXT300D ターボ真空ポンプ、ISO-K 100 インレット、ポンプ速度 300 l/s、空冷または水冷。エドワーズ部品番号: B82200100。 ISO-K 100 入口フランジを備えた Edwards nEXT300D ターボ分子高真空ポンプは、排気速度 300 リットル/秒 (l/s)、到達圧力 8 x 10-8 mbar (6 x 10-8 Torr) を備えています。この nEXT300D ポンプには ISO KF-25 排気フォアライン フランジが付いています。オプションの入口スクリーン (粗目または細目) も利用できます。 nEXT300D シリーズ ターボ ポンプは、最大 200 ワットで 24 ～ 48 VDC の入力電力を必要とします (通常の動作は 160 ワット未満です)。ポンプには、永久的に取り付けられた DB15 電源および制御ケーブルが標準装備されています。すべての nEXT300D ターボ ポンプには、RS232 および RS485 インターフェイス、5 つのステータス LED、および空冷ファンまたはソレノイド ベント バルブのいずれかを制御するための 3 ピン Phoenix コネクタ ソケットを備えたコンパクトなオンボード コントローラーが搭載されています。必要なのは、適切な電源と開始/停止ロジックだけです。実験室での使用には、小型の nEXT ポンプの電源およびリモート コントローラーとして機能する 200 ワットの Edwards ターボ計器コントローラー (TIC) またはターボ アクティブ ゲージ (TAG) をお勧めします。また、TIC および TAG、強制空冷キットおよび水冷キット、ソレノイド駆動ベントバルブなど、さまざまなオプションのアクセサリも提供しています。この nEXT300D ターボ ポンプの部品番号は B82200100 です。Edwards nEXT300D ターボ ポンプの仕様: 部品番号: B82200100 入口フランジ: ISO-K 100 ベース圧力: 8 x 10-8 mbar (6 x 10-8 Torr) 動作速度: 60,000 RPM 動作位置: 水平から垂直 (入口が上) ポンピング速度: 300 l/s 冷却: 強制空気または水 排気フランジ: KF-25 動作電圧: 24 ～ 48 VDC 最大電力: 200 ワット (通常動作 < 160 ワット) 電力と通信: DB15 シリアル RS232/RS485 インターフェイス アクセサリ ポート 1 つ 推奨粗引きポンプ: nXDS10i または RV12 nEXT ターボ ポンプには、高レベルの信頼性を維持しながらポンプ性能を最適化するように設計されたローターが付いています。 nEXT ターボ ポンプの「D」バージョンは、より高いバッキング ライン圧力に対する耐性を向上させるためにターボ分子ステージと抗力ステージの両方を備えており、すべてのガス種にわたって優れた排気速度と圧縮を備えています。性能の向上に加えて、すべての nEXT ターボ ポンプには現場で保守可能なオイル カートリッジとシャフト ベアリングが装備されており、ダウンタイムが大幅に短縮されます。 nEXT D ターボ ポンプは、ポンプの動作とスタンバイ速度を制御し、ソレノイド ベント バルブ (TAV5、TAV6) と空冷ユニット (24 VDC アクセサリ ポート経由) を操作するための駆動電子機器を備えたコンパクトなオンボード コントローラの恩恵を受けます。統合コントローラには、RS232 および RS485 シリアル通信およびポンプ電力供給用の DB15 インターフェイスが備わっています。コントローラには、ポンプの一般的なステータス、動作、およびサービス ステータスを知らせる 5 つのインジケータ LED もあります。オプションの TIC ターボ機器コントローラー、または TAG ターボおよびアクティブ ゲージ コントローラーは、ポンプへの電力供給と制御の両方を行うことができます。 CF フランジを備えた Edwards nEXT ポンプは、到達圧力が 10 ～ 10 Torr の範囲に達する真の超高真空 (UHV) ポンプです (全金属吸気シール ガスケットが使用され、真空チャンバーが完全に洗浄およびベークアウトされている場合)。 ISO フランジを備えたターボ ポンプは、(ゴム/エラストマー O リング シールの浸透とガス放出によって) 到達圧力が 10-8 Torr の範囲に制限されます。 Con flat フランジ付き nEXT300D ポンプの吸気口は、ターボが水冷される場合、最大 120 °C まで加熱される可能性があります。 Conflat ポンプ用のヒーターバンドは別売りです。真空システム統合アプリケーションの場合、nEXT300D ポンプは、ユーザーが供給する適切な 24 ～ 48 VDC 電源によって電力を供給できます。実験室用途には、200 ワットの Edwards TIC ターボ機器コントローラまたは TAG ターボ & アクティブ ゲージ コントローラをお勧めします。どちらも電力供給とポンプ制御の両方が可能です。 TIC シリーズのコントローラは、ベンチトップまたはラックに取り付け可能なリモート ユーザー インターフェイス/電源であり、RS232/RS485 を介して Edwards nEXT シリーズ ポンプと通信し、ターボ ポンプの完全な監視と制御を提供し、オプションで 1 つ以上の真空計機器の監視と制御を提供します。 。 Edwards リレー ボックスを追加すると、TIC コントローラーと主電源バッキング ポンプ、ターボ ポンプ フランジ ヒーター バンド、およびバッキング ライン分離バルブの間の制御インターフェイスになります。 TAG ターボおよびアクティブ ゲージ コントローラーは、nEXT300D ターボ ポンプと真空計に電力を供給することができ、大型 LED ディスプレイにはポンプ速度や真空圧力を表示できます。ポンプの取扱説明書と Edwards nEXT ポンプの製品パンフレットは、ダウンロード セクションから入手できます。一般的なターボ ポンプのアプリケーションには以下が含まれます。 一般的なクリーン ポンプ アプリケーション 走査型電子顕微鏡 - SEM ビーム ラインと高エネルギー物理学 質量分析 電子顕微鏡 サンプル前処理 研究開発 高エネルギー物理学 産業用半導体コーティング 表面科学機器

Edwards TAG ターボおよびアクティブ ゲージ コントローラー キット、200W 外部 24 VDC 電源および nEXT ターボ ポンプ用の AC 電源コード付き。この Edwards TAG ターボおよびアクティブ ゲージ コントローラ キットには、TAG コントローラ、適合する 200W 電源、および電源用の長さ 2 メートルの US プラグ 5-15P to C13 コネクタ、IEC 60320 入力電源コードが含まれています。 TAG は小型、低コストの 24 VDC ポンピング システム コントローラーで、幅広い真空用途に適しています。 TAG は、ターボ ポンプの速度を表示するためのシリアル インターフェイスを提供し、nEXT85D、nEXT240D、nEXT300D、または nEXT400D ターボ ポンプに電力を供給できます。 TAG は、単一のアクティブ ゲージの真空圧を制御および表示したり、ポンプを強制空冷するためにファンを動作させたりすることもできます。 TAG コントローラは、すべての nEXT ターボ ポンプおよび APG、AIM、ASG、または WRG 真空計と互換性があります。 TAG の押しボタン インターフェイスを使用すると、大型 LED ディスプレイに表示されるポンプ速度と真空圧力を簡単に切り替えることができます。このコンパクトな 24 VDC コントローラは、ベンチトップでの使用に最適であり、スペースが限られているものの機能性と信頼性が不可欠なモバイル プラットフォームにも適しています。この TAG コントローラ キットの内容: Edwards TAG ターボおよびアクティブ ゲージ コントローラ、PN: D39592000 Edwards TAG コントローラ用 200W 外部電源、PN: D39592800 AC 電源コード、長さ 2 メートル、AC 115 V、US プラグ 5-15P ～ C13、PN: P106129

Edwards ACX RADIAL 空冷ファン、nEXT ターボ ポンプ用 Phoenix コネクタ付き。エドワーズ部品番号: B58053175。この Edwards ACX ラジアル空冷ファン ユニットは、nEXT240D、300D、および 400D シリーズ ターボ ポンプで使用され、ポンプに垂直な空気の流れを提供します。 DC24Vで動作します。これには、ポンプのフェニックス コネクタ ソケットに直接接続されるフェニックス プラグで終端された長さ 0.25 メートルのケーブルが付属しています。同様のラジアル ファン ユニット (部品番号 P106343) には、長さ 3 メートルの終端処理されていないケーブルが付属しています。これは、ポンプのコネクタから離れた、リモート TIC または TAG コントローラ、または適切なユーザー供給の 24 VDC 電源を介してファン ユニットに電力を供給するためのより良いソリューションです。ソレノイドベントバルブ (TAV5/TAV6) に電力を供給するために利用できるソケット。このキットには、ファンの 90 度取り付けブラケットをポンプの底部に取り付けるためのネジが含まれています。この ACX ラジアル空冷ファン キットには、Edwards 部品番号 B58053170 があります。強制空冷を最大限に高めるために、ラジアル空冷ファンユニットとアキシャル空冷ファンユニットの両方をポンプに取り付けて同時に使用できます。デュアルファン構成には P106343 および P105875 を使用することをお勧めします。ポンプまたは TIC コントローラーは一度に 1 つのファンにのみ電力を供給できるため、両方のファンに同時に電力を供給するには別の電源を使用する必要があることに注意してください。ユーザーの電源は、24 VDC で最小 0.25 A を供給できる必要があります。 Phoenix コネクタ付きのこの RADIAL 空冷ファン キットは、次の nEXT ポンプで使用できます: nEXT240D nEXT300D nEXT400D

nEXT240D、nEXT300D、nEXT400D ターボ ポンプ用 Edwards WCX85 水冷キット。エドワーズ部品番号: B8G200833。この Edwards 水冷ユニットは、nEXT240D、nEXT300D、および nEXT400D ターボ ポンプに適合します。付属のボルト2本でポンプ側面に取り付けます。この水冷ブロックには、供給ホースと排出ホース (外径 10 mm のプラスチック ホース) 用のプッシュフィット コネクタが付いています。ホース接続部のネジを外して取り外すと、統合された G 1/4 インチネジを使用できます。この水冷キットは、CF フランジポンプでフランジヒーターバンドを使用する場合に必要です。 Edwards nEXT ターボ ポンプは、ガスのスループットが高い場合、周期的な動作、および/または周囲温度が高い場合にも水冷の恩恵を受けます。長期間にわたってトラブルなく動作できるようにするには、冷却水が清浄で、油、グリース、浮遊物質が含まれていない必要があります。この水冷キットには Edwards 部品番号 B80000815 があります。この水冷ユニットは以下に適合します: nEXT240D ターボ ポンプ nEXT300D ターボ ポンプ nEXT400D ターボ ポンプ

Edwards ファイン センタリング リング インレット スクリーン (2.5 mm)、スプリンター ガード、ISO-K 100 フランジを備えた nEXT240D、nEXT300D ターボ ポンプに適合します。エドワーズ部品番号: B81000809。この Edwards の細かいスクリーン付きセンタリング リング (1.1 mm メッシュ) は、真空流をフィルタリングし、物体が nEXT240D または nEXT300D ターボ ポンプに吸い込まれるのを防ぎます。このスクリーンのフランジサイズは ISO-K 100 です。使用するガスによっては、このスクリーンを使用するとポンプ速度が若干低下します。この粗スクリーン センタリング リングには、Edwards 部品番号 B81000809 が付いています。このスクリーンは以下に適合します: ISO-K 100 インレット付き nEXT240D、Edwards ポンプ部品番号: B81200100 ISO-K 100 インレット付き nEXT300D、Edwards ポンプ部品番号: B82200100

ISO 100 センタリング リング アルミニウム、Viton® O リング付き、NW-100 真空フランジ サイズ、通常、外径 4 インチ (101.6 mm) チューブで使用 これらの ISO DN 100 センタリング リングは、耐久性のある Viton® (FPM) ゴム O を備えたアルミニウム製です。 ISO-K と ISO-F の両方の真空フランジをシールするために使用されます。これらのセンタリング リングは、DIN 28404 および ISO 1609 に記載されている真空技術規格に従っています。ゴム エラストマー O リングを含むセンタリング リングは、嵌合する 2 つの ISO-K または ISO-F フランジ面の間に真空シールを形成します。 ISO-K 継手は爪クランプを使用して素早く組み立てられ (図を参照 - クリックして拡大)、任意の向きで接続できます。爪クランプは、ISO-K フランジの裏側にある隆起した溝に引っ掛かります。 ISO-F 固定フランジ真空継手は異なり、ボルトが 2 つのフランジを位置合わせするボルトサークルを備えています。これらの ISO 100 センタリング リングは、工業規格および高真空用途向けのプロセス真空配管およびシステムを構築するために一般的に使用されます。大型 LF フランジの ISO 標準サイズは、ISO-F および ISO-K DN 63、80、100、160、200、250、320、400、500、630、800、1000 です。これらの真空継手は内側と外側で作られています。 FPM ゴム O リング素材を使用したアルミニウム 6082 のリング。 ISO DN 100 センタリング リング、NW-100 真空フランジのシール用、Viton® O リング (FPM) 付きアルミニウム ISO-LF フランジ サイズ: NW-100 共通寸法: A = 4.01 インチ (102.00 mm) B = 0.15 インチ ( 3.9mm)

理想的な真空 UltraLock 高真空 UHV 手動ゲート バルブ ISO-F DN 100 フランジ、ボール溝ロック、バイトン ゲートおよびボンネット シール、304 ステンレス鋼。 M8 x 1.25 ネジ付き ISO-100 ボルトダウン フランジ これらの理想的な真空 UltraLock™ 手動ゲート バルブには、M8 x 1.25 ブラインドタップ穴付きの ISO-F DN 100 真空フランジが付いています。高真空 (HV) の定格があり、DIN 28404 および ISO 1609 に記載されている真空技術規格に従っています。当社の新しい UltraLock シリーズのプレミアム手動真空ゲート バルブは、革新的なボールと溝のロック機構を使用して構築されており、典型的な保守が必要になるまでの寿命は 300,000 サイクルです。ゲートとバルブ本体は耐腐食性の 304 ステンレス鋼で作られています。当社の UltraLock シリーズの手動ゲート バルブにはすべて、目に見える外部位置インジケーター (アクチュエーターの下に便利に取り付けられた白いリング) が含まれています。 UltraLock ロック機構: 当社の UltraLock 高真空ゲート バルブは、バルブをロックするために独創的なボールと溝の機構を採用しています。バルブ本体の内部には、潤滑されたボール ベアリングを備えたローリング キャリッジがあり、その上にゲートが取り付けられています。バルブが作動すると、キャリッジがバルブ本体の端に到達するまで、キャリッジとゲートが真空ポートに向かってスライドします。これにより、ゲートがポートと同心円状に配置されます。キャリッジに継続的に圧力がかかると、一連のステンレス鋼のボールがキャリッジとゲートの間の深さの減少する溝に乗り、ゲートに外向きの圧力を加えます。この外向きの力により、ゲートが閉じた位置に押し込まれます。外向きの圧力によってゲートの O リング シールがバルブ本体のシール面に押し付けられるため、漏れのないシールが得られます。これらのバルブは、保守が必要になるまでに 300,000 サイクルの長い寿命を達成するのが一般的です。 UHV バージョンと HV バージョン: 当社の Con flat CF フランジ ゲート バルブは UHV 定格です。ベローズはボンネット プレートに溶接され、無酸素高熱伝導率 (OFHC) 銅シール ガスケットとフランジ ナイフ エッジがボンネット プレートとバルブ本体の間に必要な金属間のシールを形成します。当社の Con flat UHV UltraLock バルブは、リーク率が 3.75 x 10-10 Torr l/秒未満と低く、ゲートが開いている状態で 200 °C (ゲートが閉じている状態で 150 °C) までベーク可能です。当社の KF および ISO-F フランジ ゲート バルブは、ベローズとボンネット プレート シールにバイトン O リングを使用しているため、到達圧力が 3x10-8 Torr までの高真空 (HV) 用途に限定されます。 KF および ISO-F シリーズの UltraLock バルブのリーク量は 1.5 x 10-9 Torr l/秒で、150 °C までベーク可能です (バルブが開いているか閉じている場合)。仕様: 当社の理想真空 UltraLock ゲート バルブは、信頼性の高い高真空および超高真空 (UHV) 用途向けに設計されており、多くの場合、クライオ、ターボ、およびイオン高真空ポンプと組み合わせて使用されます。利用可能なサイズには、Conflat CF 2.75、4.5、6、8、10、および 12 インチ サイズが含まれます。 ISO-F DN -63、-100、-160、-200、-250、-320、-400、-500、および -630 サイズ。クイック フランジ サイズ KF-40 および KF-50。詳細については、ダウンロードを参照してください。

理想的な真空 UltraLock 高真空 HV 空気圧ゲート バルブ ISO-F DN 100 フランジ、ボール溝ロック、バイトン シール、304 ステンレス鋼。 ISO-100 ボルトダウン フランジ、M8 x 1.25 ネジ付き。リードスイッチ位置インジケーターが含まれています。これらの Ideal Vacuum UltraLock™ 空気圧操作ゲート バルブには、M8 x 1.25 のブラインドタップ穴が付いた ISO-F DN 100 真空フランジが付いています。これらは高真空 (HV) の定格を備えており、DIN 28404 および ISO 1609 に記載されている真空技術規格に従っています。当社の新しい UltraLock シリーズのプレミアム空気圧操作真空ゲート バルブは、バルブを保持する革新的なボールと溝のロック機構を使用して構築されています。電力または空気圧の喪失時に閉じた状態でロックされるため、磨耗が軽減され、動作寿命が延長されます。これらの UltraLock ゲート バルブは、保守が必要になるまでの標準寿命が 300,000 サイクルで、耐食性 304 ステンレス鋼のゲートとバルブ本体で作られています。簡単に見える外部位置インジケーターと位置センサー スイッチが、すべての空気圧 UltraLock ゲート バルブに標準装備されています。UltraLock ロック機構: 当社の UltraLock 高真空ゲート バルブは、バルブをロックするために独創的なボールと溝の機構を採用しています。バルブ本体の内部には、潤滑されたボール ベアリングを備えたローリング キャリッジがあり、その上にゲートが取り付けられています。バルブが作動すると、キャリッジがバルブ本体の端に到達するまで、キャリッジとゲートが真空ポートに向かってスライドします。これにより、ゲートがポートと同心円状に配置されます。キャリッジに継続的に圧力がかかると、一連のステンレス鋼のボールがキャリッジとゲートの間の深さの減少する溝に乗り、ゲートに外向きの圧力を加えます。この外向きの力により、ゲートが閉じた位置に押し込まれます。外向きの圧力によってゲートの O リング シールがバルブ本体のシール面に押し付けられるため、漏れのないシールが得られます。これらのバルブは、保守が必要になるまでに 300,000 サイクルの長い寿命を達成するのが一般的です。 UHV バージョンと HV バージョン: 当社の Con flat CF フランジ ゲート バルブは UHV 定格です。ベローズはボンネット プレートに溶接され、無酸素高熱伝導率 (OFHC) 銅シール ガスケットとフランジ ナイフ エッジがボンネット プレートとバルブ本体の間に必要な金属間のシールを形成します。当社の Con flat UHV UltraLock バルブは、リーク率が 3.75 x 10-10 Torr l/秒未満と低く、ゲートが開いている状態で 200 °C (ゲートが閉じている状態で 150 °C) までベーク可能です。当社の KF および ISO-F フランジ ゲート バルブは、ベローズとボンネット プレート シールにバイトン O リングを使用しているため、到達圧力が 3x10-8 Torr までの高真空 (HV) 用途に限定されます。 KF および ISO-F シリーズの UltraLock バルブのリーク量は 1.5 x 10-9 Torr l/秒で、150 °C までベーク可能です (バルブが開いているか閉じている場合)。位置インジケーター: 当社の UltraLock シリーズの空気圧ゲート バルブにはすべて、目に見える外部位置インジケーター (空気圧ピストンの下に便利に取り付けられた白いリング) が含まれています。空気圧 UltraLock ゲート バルブには、バルブの空気圧シリンダーに取り付けられた開閉リード センサー スイッチも含まれています。これらのスイッチは、表示灯を作動させるために使用したり、より複雑なまたは自動化された真空保護システムを制御するために使用したりできます。ソレノイド バルブ: 電圧 12 VDC、24 VDC、および 120 VAC の空気圧バルブ用のソレノイド キットを提供しています。ソレノイド キットは別売りで、ソレノイド バルブ、ソレノイドをゲート バルブのボンネット フランジに取り付けるために使用されるファスナー付き取り付けブラケット、およびゲート バルブの空気圧接続継手間を接続するための柔軟な外径 1/4 インチ エアラインが含まれています。シリンダーとソレノイドバルブです。仕様: 当社の理想真空 UltraLock ゲート バルブは、信頼性の高い高真空および超高真空 (UHV) 用途向けに設計されており、多くの場合、クライオ、ターボ、およびイオン高真空ポンプと組み合わせて使用されます。利用可能なサイズには、Conflat CF 2.75、4.5、6、8、10、および 12 インチ サイズが含まれます。 ISO-F DN -63、-100、-160、-200、-250、-320、-400、-500、および -630 サイズ。クイック フランジ サイズ KF-40 および KF-50。詳細については、ダウンロードを参照してください。

Ideal Vacuum Cube 6 x 6インチ ゲートバルブアダプタープレートキット ISO-F 100。これは、6 x 6 Ideal Vacuum Cube用のISO-F 100ゲートバルブアダプタープレートキットです。このアダプターを使用すると、追加の配管や継手なしで、ISO-F 100ゲートバルブ（取り付けタップ付き）をIdeal Vacuum Cube™にコンパクトに接続できます。アダプターは2枚のプレートで構成されています。1枚のプレートには特許取得済みのTaper-Seal™ Oリングシールが付いており、Cubeフレームに取り付けられます。もう1枚のプレートは、ゲートバルブのねじ付きフランジに取り付けられます。Oリング付きのISO 100センタリングリングが2枚のプレートの間に挟まれ、ねじ込まれてシールが行われます。このアダプターキットは、ターボ分子ポンプをチャンバーから分離するために使用できます。これにより、可能な限り最短のポンピング経路が作成され、最高の高真空性能が得られます。ゲートバルブアダプターキットのもう1つの用途は、ロードロックアプリケーションで2つのCubeを連結することです。ゲートバルブの両側に1つずつ、合計2つのアダプタキットが必要です。2つのキューブをゲートバルブで連結すると、一方のキューブを予備室として利用し、大気中の物質をもう一方のキューブ（真空状態）へ移送することができます。同様に、サイズの異なる2つのキューブをゲートバルブで連結すると、爆発減圧試験に使用できます。この場合、大きい方のキューブが小さい方のキューブを減圧します。手動式よりも素早く開く空気圧式ゲートバルブの使用が最適です。設置手順については、ゲートバルブアダプタキットのユーザーマニュアルをダウンロードしてください。特徴: 6インチ x 6インチのプレートサイズ コーティングされていない6061-T6アルミニウム ISO-F 100ゲートバルブを6 x 6キューブ面に接続 最高のパフォーマンスを得るための最短のポンピングパス 追加のチューブや継手は不要 ハードウェア付属 あらゆる方向に取り付け可能 フレームに直接取り付け可能 サイズ: 6 x 6 x 6 6 x 6 x 12 6 x 12 x 12 6 x 6 x 6 六角形 6 x 6 x 12 六角形 6 x 6 x 12 八角形

UtraLock 空気圧ゲート バルブ用ソレノイド キット、AC 110 ～ 120 V、取り付け金具が含まれています。このソレノイド キットは、Ideal Vacuum ULTRALockTM または HVA 空気圧操作ゲート バルブと併用するためのものです。ソレノイドはゲート バルブの空気圧ピストンを操作します。適切な動作を保証するには、すべてのフィッティングと接続が漏れないようにする必要があります。これらの 110 ～ 120 VAC ソレノイド キットには、AVS-5111-120A、4 方向直動ソレノイド バルブ、およびエア ライン チューブのプッシュ接続継手を含む UltraLock または HVA 空圧ゲート バルブの操作に必要なその他すべてが含まれています。より大きなゲート バルブをより速く作動させるには、より大きなチューブとさまざまなプッシュ接続継手を使用できます。キットのコンポーネント: AVS-5111-120A 4 方向ソレノイド バルブ。 Ideal Vacuum UltraLock または HVA 空気圧ゲート バルブと併用するための取り付けブラケット。 UltraLock 空気圧ゲート バルブで使用するために必要なすべての取り付けネジとハードウェア。 5 本の外径 4 mm チューブを 1/8 インチ オス ユニバーサル パイプネジ アダプタにプッシュ接続します。排気マフラー 2 本。長さ 6 フィートの 1/4 インチ外径フレキシブル ポリウレタン チューブ。ソレノイドバルブの特長：DC24V、3.5VA。 20 ～ 115 PSIG の作動入力圧力。最大入力圧力 215 PSIG。ほとんどの空気圧ゲート バルブには 80 PSIG が必要です。 5 つの 1/8 インチ NPSF ポート: A: 通常は P への出口が開いています。通電時は A に排気されます。B: 通常は R への排気が行われます。通電時は P に開きます。P: 入口。R: 通常は閉じています。からの排気A 通電時 S: 通常は B から排気 通電時閉 ロック式手動オーバーライドボタン LED インジケータ付き DIN スタイル配線コネクタ ブナゴムシール 適切に接続されている場合、ソレノイドの電力が遮断された場合、取り付けられたゲートバルブはすぐに閉じ、電力が復旧するまで閉位置を維持します。ソレノイド バルブには赤色の手動オーバーライド ボタンが付いています。正しく接続されている場合、オーバーライド ボタンを押すとゲート バルブが強制的に開きます。オーバーライド ボタンを放すと、ゲート バルブが閉じます。オーバーライド ボタンは、マイナス ドライバーを使用してボタンを 90 度回転させて、押した位置にロックできます。ボタンを元の位置に回転させると、押されていない位置に戻ります。取り付け手順: ソレノイドを次の位置に取り付けます。付属の取り付けブラケットとネジを使用して、ゲート バルブ ボンネットを取り付けます。タップ穴がない場合は、ソレノイドを離れた場所に取り付ける必要があります。ソレノイドポート B と、加圧時にゲートバルブを開くゲートバルブのポート (ボンネットに最も近いポート) の間にエアラインチューブを取り付けます。ソレノイド ポート A と、加圧時にゲート バルブを閉じるもう一方のゲート バルブ ポート (空気圧シリンダーの上部にあるポート) の間にエア ライン チューブを取り付けます。オプションでソレノイドポート R および S をハウス排気に接続します。ソレノイド ポート P を 80 psi の (ユーザーが供給した) 室内空気に接続します。ソレノイド バルブに 80 PSI の空気圧を加え、ゲート バルブが閉じ、閉じたままであることを確認します。ゲート バルブが開いたままの場合は、チューブをソレノイド出口 A および B に切り替えます。手動オーバーライド スイッチを押し、スイッチを押している間ゲート バルブが開き、開いたままであることを確認します。手動オーバーライド スイッチを放し、ゲート バルブが再び閉じることを確認します。電力が供給されていない場合、ソレノイドは自動的に閉じたロック位置になります。ソレノイドに電力が供給されると、ゲートバルブが開きます。

UtraLock 空気圧ゲート バルブ用ソレノイド キット、24 VDC、取り付け金具が含まれています。このソレノイド キットは、Ideal Vacuum ULTRALockTM または HVA 空気圧操作ゲート バルブと併用するためのものです。ソレノイドはゲート バルブの空気圧ピストンを操作します。適切な動作を保証するには、すべてのフィッティングと接続が漏れないようにする必要があります。これらの 24 VDC ソレノイド キットには、AVS-5111-24D、4 方向直動ソレノイド バルブ、およびエア ライン チューブのプッシュ接続継手を含む UltraLock または HVA 空圧ゲート バルブの操作に必要なその他すべてが含まれています。より大きなゲート バルブをより速く作動させるには、より大きなチューブとさまざまなプッシュ接続継手を使用できます。キットのコンポーネント: AVS-5111-24D 4 方向ソレノイド バルブ。 Ideal Vacuum UltraLock または HVA 空気圧ゲート バルブと併用するための取り付けブラケット。 UltraLock 空気圧ゲート バルブで使用するために必要なすべての取り付けネジとハードウェア。 5 本の外径 4 mm チューブを 1/8 インチ オス ユニバーサル パイプネジ アダプタにプッシュ接続します。排気マフラー 2 本。長さ 6 フィートの 1/4 インチ外径フレキシブル ポリウレタン チューブ。ソレノイド バルブの特徴: 24 VDC、2.5 W。20 ～ 115 PSIG の作動入力圧力。最大入力圧力 215 PSIG。ほとんどの空気圧ゲート バルブには 80 PSIG が必要です。 5 つの 1/8 インチ NPSF ポート: A: 通常は P への出口が開いています。通電時は A に排気されます。B: 通常は R への排気が行われます。通電時は P に開きます。P: 入口。R: 通常は閉じています。からの排気A 通電時 S: 通常は B から排気 通電時閉 ロック式手動オーバーライドボタン LED インジケータ付き DIN スタイル配線コネクタ ブナゴムシール 適切に接続されている場合、ソレノイドの電力が遮断されると、取り付けられたゲートがバルブはすぐに閉じ、電力が復旧するまで閉位置を維持します。ソレノイド バルブには赤い手動オーバーライド ボタンが付いています。正しく接続されている場合、オーバーライド ボタンを押すとゲート バルブが強制的に開きます。オーバーライド ボタンを放すと、ゲート バルブが閉じます。オーバーライド ボタンは、マイナス ドライバーを使用してボタンを 90 度回転させて、押した位置にロックできます。ボタンを元の位置に回転させると、押されていない位置に戻ります。取り付け手順: ソレノイドを次の場所に取り付けます。付属の取り付けブラケットとネジを使用して、ゲート バルブ ボンネットを取り付けます。タップ穴がない場合は、ソレノイドを離れた場所に取り付ける必要があります。ソレノイドポート B と、加圧時にゲートバルブを開くゲートバルブのポート (ボンネットに最も近いポート) の間にエアラインチューブを取り付けます。ソレノイド ポート A と、加圧時にゲート バルブを閉じるもう一方のゲート バルブ ポート (空気圧シリンダーの上部にあるポート) の間にエア ライン チューブを取り付けます。オプションでソレノイドポート R および S をハウス排気に接続します。ソレノイド ポート P を 80 psi の (ユーザーが供給した) 室内空気に接続します。ソレノイド バルブに 80 PSI の空気圧を加え、ゲート バルブが閉じ、閉じたままであることを確認します。ゲート バルブが開いたままの場合は、チューブをソレノイド出口 A および B に切り替えます。手動オーバーライド スイッチを押し、スイッチを押している間ゲート バルブが開き、開いたままであることを確認します。手動オーバーライド スイッチを放し、ゲート バルブが再び閉じることを確認します。電力が供給されていない場合、ソレノイドは自動的に閉じたロック位置になります。ソレノイドに電力が供給されると、ゲートバルブが開きます。

ISO-F DN 100 ゲートバルブ用ボルトキット (ねじ穴フランジ付き)、銀メッキ M8 x 1.25 x 20 mm ロングボルト 8 本とステンレス鋼ワッシャー 8 個、1.25 mm ピッチが含まれています。これらのボルト キットは、8 個の六角頭、銀メッキ M8 x 1.25 ボルト、長さ 20 mm、および 8 個のステンレス鋼平ワッシャーで構成されています。これらは、ISO-F 100 スルー フランジおよびフィッティングを ISO 100 ゲート バルブのネジ穴に接続するのに適切なサイズです。ゲートバルブには、フランジ、ねじ、ねじ深さの仕様が標準化されています。これらのボルト キットは、メーカーに関係なく、このフランジ タイプとサイズのゲート バルブを同じサイズのネジなしフランジに接続するのに適しています。 Oリングシール付きのセンタリングリングは別売りです。このキットのボルトの長さは、ISO-F 対 ISO-F フランジを完全に締め付けますが、ゲート バルブのフランジの止まりネジ穴に底がつかないように特別に測定されています。ボルトは銀メッキされており、ボルトのかじりや焼き付きを防ぎ、特にベークアウト温度まで加熱された場合に緩めやすくなっています。ターボ ポンプに見られるような ISO-K タイプのフランジにゲート バルブを接続/適合させる場合は、より長いボルトとセンタリング リングを備えた片爪クランプが必要です。これらのボルトはタップねじ穴フランジ用であり、NW-100 のフランジ サイズの ISO-LF 規格に準拠しています。 ISO フランジ付き真空継手は、産業用途向けのプロセス真空配管およびシステムの構築に一般的に使用されます。フィッティングは、二重爪クランプとセンタリング リングを使用して簡単に組み立てられます (右上の図を参照 - クリックして拡大)。 Viton® センタリング リングにはゴム/エラストマー O リングが含まれています。大型フランジの ISO 規格サイズは、NW-63、NW-80、NW-100、NW-160、NW-200、NW-250、NW-320、NW-400、NW-500、NW-630 です。これらの真空継手は耐食性ステンレス鋼で作られています。ボルト、タップねじ穴 NW-80、NW-100 用、真空フランジ、銀メッキ、数量 8ISO-LF フランジサイズ: NW-100 数量: ボルト 8 本、ワッシャー付き共通寸法:ボルトサイズ M8×20×1.25mmピッチ

ボルトなし NW-100 真空継手用回転可能ボルト リング アダプター、ISO-LF ラージ フランジ サイズ NW-100、ボルト穴 8 個、アルミニウムこれらの回転可能ボルト リング アダプターは、ボルトなし ISO-K カラー フランジを ISO-F スムーズ ボルト ホール フランジにするためのものです。 。標準ISO LF NWセンタリングリングが使用可能です。 (上の右端の図を参照)。 NW-100 ISO-KF 100 フランジには 8 つのボルト穴があります。国際標準化機構 (ISO) 規格に準拠しており、フランジ サイズは NW-100 です。 ISO フランジ付き真空継手は、産業用途向けのプロセス真空配管およびシステムの構築に一般的に使用されます。フィッティングは、二重爪クランプまたはボルトとセンタリング リングを使用して素早く組み立てられます。 Viton® センタリング リングにはゴム/エラストマー O リングが含まれています。大型フランジの ISO 規格サイズは、NW-63、NW-80、NW-100、NW-160、NW-200、NW-250、NW-320、NW-400、NW-500、NW-630 です。これらの真空フランジは非腐食性アルミニウム製です。回転可能ボルトリング、NW-100 真空継手、ISO-LF ラージフランジサイズ NW-100、アルミニウム ISO-LF フランジサイズ: NW-100、ボルト穴 8 個付き。材質: アルミニウムとスチール止め輪。

ISO-K 63、80、100 用 ISO-K シングル クロー クランプ、ISO-63K から ISO-100K 真空フランジに適合、長さ 35 mm M8-1.25 ボルト、アルミニウム。これらのアルミニウム製の片爪クランプは、サイズ NW 63 ～ 100 ISO-K 真空フランジを M8-1.25 mm タップ付きフランジに接合するために使用されます。これらのシングル クランプは、ISO-K DN 63 ～ 100 の真空フランジに適合し、DIN 28404 および ISO 1609 に記載されている真空技術規格に準拠しています。 ISO-K スタイルのフィッティングは、爪クランプを使用して素早く組み立てられます (図を参照 - クリックして拡大)。どの方向でも接続できます。爪クランプは、ISO-K 真空フランジの裏側にある隆起した溝に引っ掛かります。ユニオンには、2 つのフランジ面の間に真空シールを形成するゴム、エラストマー、O リングを含むセンタリング リングが必要です。クランプは、プロセス真空配管や工業用真空用途のシステムを構築するために一般的に使用されます。大型 LF フランジの ISO 標準サイズは、ISO-LF DN 63、80、100、160、200、250、320、400、500、630、800、および 1000 です。これらの単爪クランプはアルミニウム製で、フランジと連動します。サイズ ISO-LF 63、80、および 100。フランジ サイズごとに必要なクランプの数量は以下のとおりです。フランジごとに必要な数量 ISO-63: 4ISO-80: 8ISO-100: 8仕様: M8-1.25 ボルトボルトの長さ: 35mm 7- までのトルク10 ポンドフィート使用レンチ: ISO-K 63、80、および 100 用の 13mmISO-K シングル爪クランプ、ISO-63K から ISO-100K 真空フランジに適合、長さ 35mm M8-1.25 ボルト、アルミニウム。共通寸法:A = 1.18インチ (30mm) B = 0.39インチ (10mm) C = 0.63インチ (16mm)

Inficon MPG400 ピラニ、冷陰極、反転マグネトロン ゲージ、FPM シール、KF-ISO DN 25、KF25。 PN 351-010。この INFICON ゲージはピラニと冷陰極を組み合わせたゲージ設計で、大気から 7x10-9 Torr までの圧力を測定できます。このゲージは、2 つの別個の測定システム (ピラニ システムと反転マグネトロン原理による冷陰極システム) で構成されています。これらは、ユーザーにとって 1 つの測定システムのように動作するように組み合わされています。 KF-ISO DN 25、KF25 真空フランジ継手を備えており、以下の INFICON 圧力ゲージ コントローラと互換性があります:INFICON シングル チャネル コントローラ VGC401.INFICON 2 チャネル コントローラ VGC402.INFICON 3 チャネル コントローラ VGC403。この UHV 逆マグネトロン ゲージは、適切な INFICON 信号ケーブルと KF-ISO DN 25、KF25 コネクタフィッティングを備えた INFICON コントローラを備えたほぼすべての真空ポンプまたは真空ポンプ システムで動作します。完全な取扱説明書は、以下から PDF 形式でダウンロードできます。 INFICON 逆マグネトロン ゲージの再構築と修理も行っています。

Inficon VGC501 シングルチャンネル真空圧力計コントローラ、PN 398-481 VGC501 は、プロセス圧力の測定と制御のための完全なソリューションです。すべての INFICON アクティブ圧力計と互換性のある VGC501 コントローラーは、10-10 ～ 1500 mbar (10-10 ～ 1125 Torr) の圧力範囲全体と設定値ステータスを監視できます。機能には以下が含まれます: 接続されたINFICONゲージの自動ID、ユーザーが選択可能な測定単位(mbar、Torr、パスカル、ミクロン)、高分解能 - 16ビットA/Dコンバータ、調整可能なヒステリシスを備えた最大6つの調整可能なセットポイントを任意のチャネルに割り当てることができます(状況に応じて)モデル上)、各ゲージまたはゲージの組み合わせの対数/線形特性を備えたプログラム可能な 0 ～ 10 V チャート レコーダー出力 (VGC502/503 のみ)、ファームウェアのアップグレードはオンラインで利用可能で、RS232 インターフェイス経由で簡単にダウンロードできます、多用途でコンパクトなベンチトップモデル設計はパネルまたは 19 インチラックに簡単に取り付けることができ、90 ～ 250V、50 ～ 60Hz の広範囲電源を供給します。これはコントローラーのみであり、AC 電源コード、INFICON センサー、ゲージ、ケーブルはこの Web サイトで別売りされています。完全な取扱説明書については、(利用可能なダウンロード) まで下にスクロールし、.pdf をダウンロードしてください。

INFICON PCG、PEG、PSG、MPG ゲージ ケーブル、INFICON VGC401-501、VGC402-502、VGC403-503、真空ゲージ コントローラーへ、10 フィート (3 メートル) PN: 398-500 これは、INFICON VGC401 を接続する信号ケーブルです。 -501、VGC402-502、VGC403-503 から PCG、PEG、PSG、MPG ゲージまで。ケーブルの長さは 10 フィート (3 メートル) です。コネクタFCC/FCC。 (この価格はケーブルのみで、ポンプ、コントローラ、センサーは別売りです。) 次の INFICON ゲージに接続します: PCG ピラニ静電容量ダイヤフラム ゲージ: PCG400 • PCG410 • PCG550 • PCG552 • PCG554 • PEG ペニング ゲージ: • PEG100 •