Sifone di scarico raffreddato ad acqua modello 250 Edwards.
Numero parte Edwards: A53114000. Lo scaricatore di scarico raffreddato ad acqua Edwards modello 250 raffredda i gas di scarico dalla pompa e fa sì che le particelle si raccolgano nello scaricatore. Ciò impedisce la raccolta di particolato nel sistema di scarico. La trappola di scarico è progettata per il collegamento a una pompa utilizzata in un processo di nitruro LPCVD che utilizza diclorosilano o esaclorodisilano e ammoniaca.
La trappola di scarico non è adatta per il collegamento a una pompa utilizzata in altri processi. Lo scaricatore Edwards modello 250 è progettato per adattarsi alle pompe a secco BOC Edwards CDP e QDP e ai sistemi di pompaggio a secco Drystar MKI, MKII e QMKII. Il sistema deve incorporare un pressostato per arrestare la pompa se il sistema di scarico si blocca.
La trappola di scarico ha un corpo esterno principale che è montato su un telaio di base. L'altezza del corpo dello scaricatore può essere regolata nel telaio di base per adattare lo scaricatore a diverse pompe. Il telaio di base è dotato di ruote per facilitarne lo spostamento e di piedini di livellamento in modo che possa essere posizionato in modo sicuro nella sua posizione operativa. Lo scaricatore di scarico raffreddato ad acqua modello 250 ha il numero di parte EdwardsA53114000.
Specifiche del sifone di scarico raffreddato ad acqua Edwards modello 250:- Adatto alle pompe a secco Edwards: pompe a secco CDP e QDP e sistemi di pompaggio a secco Drystar MKI, MKII e QMKII
- Materiale: il corpo della trappola è in acciaio inossidabile AIS 304L e le serpentine di raffreddamento ad acqua sono in rame
- Il numero di parte di ricambio della fodera è A53115020
Per le specifiche complete, scaricare il manuale di istruzioni.