Pompa per vuoto a secco multistadio Ebara ESR20N, velocità di pompaggio da 45 a 70 CFM (1300 - 2000 l/m), processi da puliti a medi, raffreddata ad acqua, trifase, 200-220 V, 60 Hz.
Codice articolo Ebara: 202093. La serie Ebara ESR (Energy Saving Roots) è costituita da pompe per vuoto a secco multistadio progettate per applicazioni che vanno dai processi puliti a quelli medi. La serie Ebara ESR copre un'ampia velocità di pompaggio da 45 a 706 CFM con una pressione finale di soli 1,5 mTorr. Questo elenco riguarda la vendita della pompa per vuoto a secco multistadio Ebara ESR20N, 120 cfm 2000 l/m, processi da puliti a medi, raffreddata ad acqua, 200-220 V/3 fasi, PN: 202093.
Applicazioni
- Sputacchiamento
- PVD
- Carica blocco e trasferimento
- Incenerimento
- Impiantatore ionico
- Acquaforte
- Gas e processi puliti
Vantaggi e caratteristiche delle pompe a lobi rotativi a secco Ebara serie EV-A.
- Basso costo di proprietà [Energia, N2, Acqua, Impronta, Volume, Peso]
- Non è necessario lo spurgo dell'azoto per ESR20N in applicazioni pulite
- Velocità di pompaggio variabile per soddisfare i requisiti dell'applicazione
- Motori DC brushless ad alte prestazioni
- Dispositivi di controllo e monitoraggio all'avanguardia
- La modalità inattiva può essere utilizzata per un maggiore risparmio di energia
- Valutato SEMI S2, certificato NRTL, marchio CE