MKS GM50A Regolatore di flusso di massa (MFC) a controllo digitale, intervallo da 1 a 50 sccm, connettore a 15 pin, 4 VCR maschio. Codice: GM50A013501RMM020.
Codice articolo MKS: GM50A013501RMM020. Il controller del flusso di massa MKS GM50A può essere configurato per controllare un'ampia gamma di gas di origine sicura (SDS). I raccordi di ingresso e uscita sono Swagelok® 4 VCR® maschio. Ha un intervallo di flusso su scala completa di 50 sccm e un intervallo di controllo da 1 a 50 sccm, un connettore D-subminiaturizzato a 15 pin con messa a terra collegata e un segnale di ingresso/uscita del flusso da 0-5 V CC. I tempi di risposta tipici sono dell'ordine di 500 millisecondi. La calibrazione digitale produce l'1% della precisione del setpoint sul gas di calibrazione.
Le funzionalità multi-intervallo possono essere configurate tramite un'applicazione basata su browser Web a cui si accede collegando l'apparecchio MFC a un router o a un computer tramite cavo Ethernet. L'applicazione E-diagnostics consente all'utente di monitorare le prestazioni dell'MFC in tempo reale, nonché di tracciare dati e selezionare variabili.
Swagelok, società VCR-TM Swagelok