Regolatore di flusso di massa (MFC) MKS GM50A a controllo analogico, intervallo da 0,4 a 20 sccm, D-subminiatura a 15 pin, 4 VCR maschio.
Numero parte MKS: GM50A013201RMM020. Il regolatore di portata di massa MKS GM50A può essere configurato per controllare N2 o equivalente, con un intervallo di portata su scala completa di 20 sccm e un intervallo di controllo da 0,4 a 20 sccm. Ha un connettore analogico D-subminiaturizzato a 15 pin con masse collegate, un segnale di ingresso/uscita del flusso da 0-5 VDC e raccordi di ingresso e uscita Swagelok® 4 VCR® maschio. I tempi di risposta tipici sono nell'ordine di 500 millisecondi.
Swagelok, VCR-TM Azienda Swagelok