Edwards STP-451 Pompa turbomolecolare ultra alta con cuscinetto magnetico a 3 assi, ingresso ISO-160K, B74840030

Questo elenco è per la nuova pompa turbomolecolare ultra alta Edwards STP-451 a 3 assi con cuscinetti magnetici. Da utilizzare con l'unità di controllo Edwards SCU-350, velocità di pompaggio di 480 litri al secondo (l/s) di azoto, flangia di ingresso ISO-160K, flangia della linea principale di scarico ISO KF-25 e porta di spurgo KF-10 con protezione anticorrosione modello. Un sistema di pompaggio di base richiederebbe una pompa Edwards STP-451, un controller SCU-350, un accessorio per il raffreddamento ad acqua e una pompa per vuoto primaria adatta. La pompa turbomolecolare Edwards STP-451 offre un'affidabilità comprovata sul campo per l'uso in microscopi elettronici, strumenti scientifici e applicazioni di semiconduttori.

L'STP-451 è una serie di pompe turbomolecolari a levitazione magnetica. La pompa STP è configurata in modo che la pala del rotore e la pala dello statore siano allineate alternativamente nella direzione assiale. Le molecole di gas vengono pompate dalla porta di ingresso alla porta di uscita dalla rotazione ad alta velocità del rotore. La pala del rotore è supportata dal cuscinetto magnetico senza contatto meccanico. Pertanto la pompa STP non richiede olio di lubrificazione a differenza delle tradizionali pompe turbomolecolari che utilizzano cuscinetti a sfera. Il cuscinetto magnetico è composto da 3 coppie di cuscinetti magnetici attivi. Il rotore è supportato in direzione radiale da 2 coppie di cuscinetti magnetici attivi in direzione radiale costituiti da sensore radiale ed elettromagnete radiale. Una coppia di cuscinetti magnetici attivi in direzione assiale è costituita da un sensore assiale e un elettromagnete assiale per supportare il rotore in direzione assiale. Poiché il rotore è così supportato senza contatto meccanico, può ruotare con vibrazioni molto basse.

C'è meno calore generato dai cuscinetti magnetici perché non c'è attrito. Pertanto la pompa STP non necessita di raffreddamento. Tuttavia, la pompa STP richiede il raffreddamento ad acqua o ad aria durante la cottura, il pompaggio del gas o qualsiasi altro processo. Prendendo in considerazione una rottura dei cuscinetti magnetici, sono stati installati cuscinetti touch down e rivestiti con lubrificazione solida. Non entrano in contatto con il rotore durante il funzionamento nominale. Un sensore radiale, un sensore assiale, un sensore di velocità di rotazione e un sensore di temperatura controllano sempre il cuscinetto magnetico e il rotore. Se si verifica un'anomalia/errore, il rotore si arresta.

Per garantire un elevato livello di resistenza alla corrosione, i modelli resistenti alla corrosione STP (C) hanno rotori/statori rivestiti in nichel e parti interne della pompa adatte per impiantazione ionica e incisione al plasma. Queste pompe resistenti alla corrosione sono dotate di un impianto di spurgo dell'azoto KF10, un flusso costante di azoto attraverso la pompa diluisce i gas corrosivi riducendo al minimo i danni al motore della pompa e alle bobine del sensore. Tutti gli accessori per questa pompa sono disponibili su questo sito Web o chiamare il numero 505-872-0037 per i dettagli. Per le specifiche complete, vedere il grafico di seguito o scaricare il manuale STP.pdf in DOWNLOAD DISPONIBILI di seguito.