Contrôleur de débit massique (MFC) MKS GM50A à commande numérique, plage de 4 à 200 sccm, protocole de communication série RS-485, 4 VCR mâles.
Numéro de pièce MKS : GM50A004202R5M020. Le contrôleur de débit massique MKS GM50A est configuré pour contrôler l'Ar ou équivalent, avec une plage de débit à pleine échelle de 200 sccm et une plage de contrôle de 4 à 200 sccm. Cette unité Argon de 200 sccm peut être « réduite » à 141 sccm via le logiciel, ce qui porte la plage contrôlable de 4 à 200 sccm à environ 2,8 à 141 sccm d'Argon.
Il est doté d'un port de communication série RS-485, d'un signal d'entrée/sortie de débit 0-5 VCC ou 4 à 20 mA et de raccords d'entrée et de sortie mâles Swagelok® 4 VCR®. Les temps de réponse typiques sont de l'ordre de 500 millisecondes. L'étalonnage numérique donne une précision de 1 % du point de consigne sur le gaz d'étalonnage.
Les fonctions multi-gammes peuvent être configurées via une application basée sur un navigateur Web accessible en connectant le MFC à un routeur ou à un ordinateur via un câble Ethernet. L'application E-diagnostics permet à l'utilisateur de surveiller les performances du MFC en temps réel, ainsi que de tracer des données et de sélectionner des variables.
Swagelok, VCR-TM Société Swagelok