Contrôleur de débit massique (MFC) MKS GM50A à commande analogique, plage de 0,4 à 20 sccm, D-subminiature 15 broches, 4 VCR mâles.
Numéro de pièce MKS : GM50A013201RMM020. Le contrôleur de débit massique MKS GM50A peut être configuré pour contrôler le N2 ou équivalent, avec une plage de débit à pleine échelle de 20 sccm et une plage de contrôle de 0,4 à 20 sccm. Il est doté d'un connecteur analogique D-subminiature à 15 broches avec mise à la terre, d'un signal d'entrée/sortie de débit de 0 à 5 VCC et de raccords d'entrée et de sortie mâles Swagelok® 4 VCR®. Les temps de réponse typiques sont de l'ordre de 500 millisecondes.
Swagelok, VCR-TM Société Swagelok